國內潔凈室檢測值得推薦

9.2.1潔凈室的照明一般要求照度高，但燈具安裝的數量受到送風風口數量和位置等條件的限制，這就要求在達到同一照度值情況下，安裝燈具的個數極少。熒光燈的發光效率一般是白熾燈的3倍~4倍，而且發熱量小，有利于空調節能。此外，潔凈室天然采光少，在選用光源時還需考慮它的光譜分布盡量接近于天然光，熒光燈基本能滿足這一要求。因此，目前國內外潔凈室一般均采用熒光燈作為照明光源。當有些潔凈室層高較高，采用一般熒光燈照明很難達到設計照度值，在此情況下，可采用其他光色好、光效更高的光源。由于某些生產工藝對光源光色有特殊要求，或熒光燈對生產工藝和測試設備有干擾時，也可采用其他形式光源。送風、回風和排風系統的啟閉宜聯鎖。國內潔凈室檢測值得推薦

3.1.1電子工業潔凈廠房生產環境的設計應根據生產工藝的要求控制微粒和對產品質量有害的雜質，同時還應提出溫度、濕度、壓差、噪聲、振動、靜電防護、照度等參數要求。3.1.2生產環境設計應根據產品品種及生產工藝要求，對電子產品生產過程需用的包括化學品、常用氣體和特種氣體、純水等各種介質的質量進行控制。3.1.3潔凈室（區）內產品生產過程所使用的工具、器具和物料儲運裝置，其制作的材質和清潔方式應按生產工藝要求選擇。。。江蘇實驗室潔凈室檢測頻率充分利用回風量；選擇低阻力高效率的空調和凈化設備和可變風量的風機等入手。

D.3.2靜壓差測試，應符合下列規定：1靜壓差的測定應在所有的門關閉時進行。2儀器宜采用各種型式的微壓計，儀表靈敏度應小于1.0Pa。3潔凈廠房有多個潔凈室（區)時，應從極里面的房間與相鄰房間的壓差測試開始，并應按順序向外進行檢測。D.3.3已安裝的空氣過濾器泄漏測試，應符合下列規定：1儀器應使用采樣量大于11/mn的光學粒子計數器。2應在過濾器上風側引入大于等于0.1pm(0.5um)粒子，粒子濃度應大于3.5×10P/m3的大氣塵或其他氣溶膠；在過濾器下風側應用粒子計數器的等動力采樣頭放在距離被檢過濾器表面20～30mm處，并應以5～20mm/s速度移動。應檢測包括過濾器的整個面和過濾器周邊、過濾器框架及其密封處的掃描。

6.3.1潔凈廠房的建筑圍護結構和室內裝修，應選用氣密性良好，且在溫度和濕度變化時變形小的材料。潔凈室裝飾材料及其密封材料不得采用釋放對電子產品品質有影響物質的材料。裝修材料的燃燒性能應符合現行國家標準《建筑內部裝修設計防火規范》GB50222的有關規定。裝修材料的煙密度等級不應大于50，材料的煙密度等級應符合現行國家標準《建筑材料燃燒或分解的煙密度試驗方法》GB/T8627的有關規定。6.3.2潔凈室內墻壁和頂棚的裝修應符合下列要求：1應滿足使用功能的要求，且表面應平整、光滑、不起塵、避免眩光、便于清潔，并應減少凹凸面，2當采用踢腳時，踢腳不宜突出墻面。空氣過濾器的處理風量應小于或等于額定風量。

10.2.3氣體純化裝置的設置，應符合下列要求：1氣體純化裝置應根據氣源和產品生產工藝對氣體純度、容許雜質含量要求選擇；2氣體純化裝置宜設置在氣體純化間（站）內。當潔凈廠房設有氣體入口室時，氣體純化間宜與氣體入口室合建；3各類氣體純化裝置宜設置在同一氣體純化間（站）內。若有特殊要求時，也可根據具體要求分別設置在各自的氣體純化間內；4氣體終端純化裝置宜設置在鄰近用氣點處。10.2.4進入潔凈廠房的氣體管道控制閥門、氣體過濾器、調壓裝置、壓力表、流量計、在線分析儀等，宜集中設置在氣體入口室。干管應敷設在上、下技術夾層或技術夾道內。北京半導體凈化車間潔凈室檢測服務

設置在同一潔凈室內的高效（亞高效、超高效)空氣過濾器的阻力、效率應相近。國內潔凈室檢測值得推薦

D.3.5氣流流型的檢測，應符合下列規定：1氣流流型的檢測，宜采用氣流目測法。2氣流目測法有示蹤線法、示蹤劑注人法，并應用圖像處理技術記錄和處理。示蹤線法所用纖維或示蹤劑的微粒都不應成為潔凈室(區)的一種污染源。3示蹤線法應為通過觀察放置在測試桿末端或氣流中細鋼絲格柵上的絲線或單根尼龍纖維等，直接目測得到氣流方向或因干擾引起的波動。4示蹤劑注入法，可采用純水噴霧或化學法生成的乙醇/正二醇等示蹤劑粒子的特性，在**度光源下進行觀察或做成圖像。5應采用圖像處理技術進***流目測，本法一般是與示蹤法結合，將在攝像機或膜上的粒子圖像等經技術處理得到氣流特性。6氣流目測的測點位置、儀器等，應根據潔凈室(區)的具體條件洽商確定。國內潔凈室檢測值得推薦