安徽半導(dǎo)體凈化車間潔凈室檢測分析

5.5.2當(dāng)設(shè)備安裝在跨越不同空氣潔凈度等級的潔凈室(區(qū))時(shí)，宜采取密封隔斷措施。5.5.3潔凈室（區(qū))內(nèi)的設(shè)備宜選用低噪聲產(chǎn)品。當(dāng)所選設(shè)備超過潔凈室噪聲容許值時(shí)，應(yīng)采取隔聲措施。5.5.4潔凈室(區(qū))應(yīng)設(shè)置對電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程所使用的工器具進(jìn)行凈化處理的設(shè)施。5.5.5潔凈室（區(qū)）內(nèi)，電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程中各種零、部件存放和傳送，宜采用容器。用于存放和傳送的**容器，應(yīng)符合下列規(guī)定：1制作材料應(yīng)光潔、不吸濕、不銹蝕、不散發(fā)污染物、防靜電，并在空氣中不應(yīng)被氧化；2應(yīng)密封性能好；3當(dāng)存放物有嚴(yán)格的潔凈度要求時(shí)，宜充填高純度或干燥氮?dú)猓?構(gòu)造、外形應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝要求，并應(yīng)方便操作和運(yùn)送。為了達(dá)到規(guī)定的潔凈度級別，有效地控制微粒的污染。安徽半導(dǎo)體凈化車間潔凈室檢測分析

5.1.3主體結(jié)構(gòu)要具備同建筑處理及其室內(nèi)裝備和裝修水平相適應(yīng)的等級水平。若室內(nèi)裝備與裝修水平高，而主體結(jié)構(gòu)為臨時(shí)的，就會(huì)形成嚴(yán)重的浪費(fèi)。本條規(guī)定著重于使?jié)崈魪S房在耐久性、裝修與裝備水平、耐火能力等幾個(gè)方面相互協(xié)調(diào)，使投資長期發(fā)揮作用。此外，溫度或沉陷不但可能影響安全，而且還會(huì)破壞建筑裝修的完整性及圍護(hù)結(jié)構(gòu)的氣密性，故須對主體結(jié)構(gòu)采取相應(yīng)措施。5.1.5對兼有一般生產(chǎn)和潔凈生產(chǎn)的綜合性廠房，在考慮其平面布局和構(gòu)造處理時(shí)，應(yīng)合理組織人流、物流運(yùn)輸及消防疏散線路，避免一般生產(chǎn)對潔凈生產(chǎn)帶來不利的影響。當(dāng)防火方面與潔凈生產(chǎn)要求有***時(shí)，應(yīng)采取措施，在確保消防疏散的前提下，減少對潔凈生產(chǎn)的不利影響。北京靜電潔凈室檢測方法負(fù)壓潔凈室聯(lián)鎖程序應(yīng)與上述正壓潔凈室相反。

C.1.3已裝過濾系統(tǒng)其過濾器檢漏C.1.3.1**的檢測項(xiàng)目，對安裝的過濾器進(jìn)行檢漏。C.1.3.2調(diào)試過程中承建商的檢測已獲得業(yè)主認(rèn)可，在緊接著的潔凈度項(xiàng)目檢測過程中，可進(jìn)行抽檢或免檢。C.1.3.3有條件時(shí)，宜將過濾系統(tǒng)安裝調(diào)試過程的檢漏與檢測項(xiàng)目中**的過濾系統(tǒng)檢漏合并；過濾系統(tǒng)檢漏費(fèi)時(shí)、費(fèi)人力，整個(gè)潔凈室建造過程中只給出一定的作業(yè)時(shí)間周期。C.1.4檢漏方法檢漏方法通常有“氣溶膠光度計(jì)法”和“離散粒子計(jì)數(shù)器（DPC)法”。氣溶膠光度計(jì)是測量空氣中懸浮粒子的質(zhì)量濃度，而離散粒子計(jì)數(shù)器是測量空氣中懸浮粒子的數(shù)量和粒徑，2種方法獲得的結(jié)果不能進(jìn)行直接比較。

5.1.1隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，電子產(chǎn)品的更新?lián)Q代、產(chǎn)品生產(chǎn)技術(shù)的發(fā)展十分迅速，以集成電路為**的微電子產(chǎn)品尤為***，集成電路產(chǎn)品基本上是2~3年或更短的時(shí)間就會(huì)提升一代產(chǎn)品；以TFT-LCD為**的顯示器件正在取代彩色顯像管的顯示器件生產(chǎn)；微型計(jì)算機(jī)的迅速發(fā)展，使各種元器件生產(chǎn)發(fā)展十分迅速。因此，電子工業(yè)潔凈廠房的設(shè)計(jì)、建造必須適應(yīng)這種快速發(fā)展的需要，從潔凈廠房的規(guī)劃開始，對于電子工廠、潔凈廠房的工藝設(shè)計(jì)、工藝布局應(yīng)充分考慮電子產(chǎn)品發(fā)展的靈活性，以滿足電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝改造和擴(kuò)大生產(chǎn)的需求。工業(yè)潔凈室--以無生命的微粒作為控制對象。

4.4.3~4.4.6控制設(shè)備噪聲首先要從聲源上考慮，設(shè)計(jì)時(shí)應(yīng)選用低噪聲設(shè)備。在某些情況下，由于技術(shù)或經(jīng)濟(jì)上的原因而難以做到時(shí)，則應(yīng)從噪聲傳播途徑上采取降噪措施，如把高噪聲工藝設(shè)備遷出潔凈室或隔離布置于隔聲間內(nèi)。有些由于與生產(chǎn)聯(lián)系密切，必須置于潔凈區(qū)內(nèi)的高噪聲設(shè)備，亦可采用隔聲罩隔絕噪聲。國內(nèi)現(xiàn)有潔凈廠房中，不少潔凈室將機(jī)械泵一類高噪聲設(shè)備置于潔凈室外套間或技術(shù)夾道內(nèi)，潔凈室內(nèi)噪聲有明顯降低。潔凈室的靜態(tài)噪聲主要來源于凈化空調(diào)系統(tǒng)和局部凈化設(shè)備運(yùn)行噪聲，靜態(tài)噪聲的大小與潔凈室氣流流型、換氣次數(shù)等因素有關(guān)。但關(guān)鍵在于凈化空調(diào)系統(tǒng)的布置及合理的降噪措施，不合理的設(shè)計(jì)方案必然導(dǎo)致較高的靜態(tài)噪聲。潔凈室（區(qū))與周圍的空間必須維持一定的壓差，并應(yīng)按工藝要求決定維持正壓差或負(fù)壓差。浙江靜電潔凈室檢測服務(wù)商

潔凈室的發(fā)展與現(xiàn)代工業(yè)、高新技術(shù)密切聯(lián)系在一起。安徽半導(dǎo)體凈化車間潔凈室檢測分析

4.2.2因生產(chǎn)工藝的不同，潔凈廠房內(nèi)常有多種氣體、液體供應(yīng)管道，如氫、氧、氮、氬、壓縮空氣和純水、上水等管道，以及電氣管線、凈化空調(diào)系統(tǒng)的送回風(fēng)管和局部排風(fēng)管等，管線交叉復(fù)雜。因此，在進(jìn)行管線綜合布置時(shí)，必須在平面和標(biāo)高上密切配合，綜合考慮，才能做到安裝、調(diào)試、清掃、使用和維修的方便及整齊美觀。對國內(nèi)已建成的潔凈廠房調(diào)研中，了解到為布置各種管道和高效過濾器等一般均設(shè)置了技術(shù)夾層或技術(shù)夾道，大多使用效果良好，但有的新建工程把技術(shù)夾層設(shè)計(jì)得過高是不經(jīng)濟(jì)的。改建工程由于空間較小，管線布置比較緊湊，但如果布置合理，效果也是不錯(cuò)的。因此，在進(jìn)行管線綜合布置設(shè)計(jì)和確定技術(shù)夾層層高時(shí)，應(yīng)進(jìn)行技術(shù)經(jīng)濟(jì)比較，做到技術(shù)上可靠，經(jīng)濟(jì)上合理。安徽半導(dǎo)體凈化車間潔凈室檢測分析