潔凈室是空氣懸浮粒子濃度受控的房間。它的建造和使用應減少室內誘入、產生及滯留粒子。室內其它有關參數如溫度、濕度、壓力等要求進行控制。潔凈區是空氣懸浮粒子濃度受控的限定空間。它的建造和使用應減少空間內誘入、產生及滯留粒子?？臻g內其它有關參數如溫度、濕度、壓力等要...

潔凈室在現代工業中早已被廣泛應用于半導體生產、液晶螢幕生產、生化技術、生物技術、精密器械、制藥、醫院等行業之中，尤其以半導體晶圓制程對無塵等級的要求比較高，因為現今的晶圓已經發展到奈米級的水準，隨便一粒灰塵掉落在晶圓上都可能造成整個晶圓線路的毀損，甚至導致這個...

潔凈室檢測標準是指對潔凈室進行檢測和評估時所遵循的一系列標準和規范。以下是一些常見的潔凈室檢測標準：ISO14644系列標準：這是國際標準化組織（ISO）制定的一系列標準，用于評估潔凈室的空氣潔凈度。其中ISO14644-1是**常用的標準，定義了潔凈室中空氣...

7.4.5干表冷器的設置應符合下列要求：1安裝位置、外形尺寸應根據潔凈廠房的平面和空間布置確定；2迎面風速、結構形式應根據潔凈室（區)冷負荷、風機過濾器機組所提供的機外余壓確定；3冷凍水進水溫度，宜高于潔凈室（區)內空氣的**溫度；4應設置排水設施。7.4.6...

1)單層潔凈室，在單向流潔凈生產區的上部、下部設有上下技術夾層，上技術夾層內設置空氣過濾裝置、風管和公用動力管線；下技術夾層為回風道。這種形式適用于規模較小的潔凈室。2)多層潔凈室，在單向流潔凈生產區吊頂格柵以上設有送風靜壓箱或循環空氣處理設備或空氣過濾單元機...

近年來，國內外一些潔凈廠房中一級用電負荷因雷擊及電源瞬時變動而引起停電事故頻繁發生，造成了較大的經濟損失，其原因不是主電源斷電，而是控制電源失電造成保護系統失靈而造成事故。電氣照明在潔凈廠房設計中也很重要。從工藝性質來看，潔凈廠房內一般從事精密視覺工作，需要高...

1管道連接應采用焊接，熱鍍鋅鋼管應采用螺紋連接。2不銹鋼管應采用氬弧焊，以對接焊或承接焊連接；高純氣體管道宜采用內壁***痕的對接焊。8.3.2管道與設備的連接應符合設備的連接要求。當采用軟管連接時宜采用金屬軟管。8.3.3管道與管道、管道與閥門連接的密封材料...

8.1.1潔凈室(區)工業管道的敷設應符合下列規定：1潔凈室(區)內工業管道不應穿越無關的房間。2干管應敷設在上、下技術夾層或技術夾道內。3易燃、易爆、有毒物質管道應明敷。4當易燃、易爆、有毒物質管道敷設在技術夾層或技術夾道內時，必須采取可靠的濃度檢測報警...

隨著生產工藝對純水水質的不斷提高，甚至到了理論純水的程度，尤其是集成電路的發展不但對水中電解質的含量要求極其嚴格，而且對細菌、微粒、有機物及溶解氧等都有極其嚴格的要求；醫藥工業中要求供應的注射用水，對水中含菌量、熱源均有嚴格要求。除了嚴格的純水制造過程外，純水...

B.1自凈檢測是測定潔凈室設施***空氣懸浮粒子的能力。潔凈室污染潔凈度的恢復性能是設施**重要的能力之一。自凈檢測*對非單向流系統重要并推薦采用，因為自凈性能與受控區內循環空氣比例（換氣次數)、送風與出風的幾何位置、熱條件和空氣分布特性因素相關，而單向流系統...

7.1.1潔凈廠房內各潔凈室（區）的空氣潔凈度等級，應根據電子產品生產工藝特點和潔凈室型式確定。7.1.2氣流流型應根據各潔凈室(區）空氣潔凈度等級和電子產品工藝特點的不同要求選用。7.1.3有下列情況之一者，凈化空調系統宜分開設置：1運行班次或使用時間不同；...

11.3.6安裝空調設備四周的設備層地面應作防水處理，并應平整、無麻面、不起塵。該處地面應設擋水線，不應設排水溝。擋水線范圍之內設地漏，地漏水封高度應符合設備技術文件要求。當無明確要求時，不應小于70mm。冷凝水出水管應有閥門，無冷凝水排出季節閥門應關閉，并應...

近年來，國內設計、建造的潔凈廠房，一般是根據產品生產工藝要求或潔凈廠房的布局情況按相鄰潔凈室（區）的潔凈度等級確定潔凈工作服更衣室的空氣潔凈度等級，還有一些潔凈廠房雖然沒有對潔凈工作服更衣室、潔凈工作服洗滌室提出空氣潔凈度等級要求，但室內采用高效空氣過濾送風系...

7.1.1潔凈廠房內各潔凈室（區）的空氣潔凈度等級，應根據電子產品生產工藝特點和潔凈室型式確定。7.1.2氣流流型應根據各潔凈室(區）空氣潔凈度等級和電子產品工藝特點的不同要求選用。7.1.3有下列情況之一者，凈化空調系統宜分開設置：1運行班次或使用時間不同；...

1凈鞋的目的在于保護人員凈化用室入口處不致受到嚴重污染。國內多數潔凈廠房人員入口處設有擦鞋、水洗凈鞋、粘鞋墊、換鞋、套鞋等凈鞋措施。為了保護人員凈化用室的清潔，**徹底的辦法是在更衣前將外出鞋脫去，換上清潔鞋或鞋**有潔凈廠房工作人員都執行更衣前換鞋的制度，其...

4.4.3~4.4.6控制設備噪聲首先要從聲源上考慮，設計時應選用低噪聲設備。在某些情況下，由于技術或經濟上的原因而難以做到時，則應從噪聲傳播途徑上采取降噪措施，如把高噪聲工藝設備遷出潔凈室或隔離布置于隔聲間內。有些由于與生產聯系密切，必須置于潔凈區內的高噪聲...

7.4.2風機過濾器機組的設置應符合下列要求：1應根據空氣潔凈度等級和送風量選用；2應按潔凈室(區)內生產工藝對氣流流型的要求布置，3終阻力時的疊加噪聲及振動應滿足生產工藝和本規范的規定；4送風量應能調節；5應便于安裝、維修及過濾器更換。滿布或布置率較高時，外...

隨著生產工藝對純水水質的不斷提高，甚至到了理論純水的程度，尤其是集成電路的發展不但對水中電解質的含量要求極其嚴格，而且對細菌、微粒、有機物及溶解氧等都有極其嚴格的要求；醫藥工業中要求供應的注射用水，對水中含菌量、熱源均有嚴格要求。除了嚴格的純水制造過程外，純水...

11.2.1有風機的凈化設備當其風機底座與箱體軟連接時，搬運時應將底座架起固定，就位后放下。11.2.2凈化設備安裝應在建筑內部裝飾和凈化空調系統施工安裝完成，并進行***清掃、擦拭干凈之后進行，但與圍護結構相連的設備或其排風、排水管道必須與圍護結構同時施工時...

15.1.1潔凈廠房的微振控制設施的設計應分階段進行，應包括設計、施工和投產等各階段的微振動測試、廠房建筑結構微振控制設計、動力設備隔振設計和精密儀器設備隔振設計等。15.1.2設計有微振控制要求的潔凈廠房時，應符合下列規定：1總平面布置時，應核實相鄰廠房、建...

5.1.3主體結構要具備同建筑處理及其室內裝備和裝修水平相適應的等級水平。若室內裝備與裝修水平高，而主體結構為臨時的，就會形成嚴重的浪費。本條規定著重于使潔凈廠房在耐久性、裝修與裝備水平、耐火能力等幾個方面相互協調，使投資長期發揮作用。此外，溫度或沉陷不但可能...

10.2.3氣體純化裝置的設置，應符合下列要求：1氣體純化裝置應根據氣源和產品生產工藝對氣體純度、容許雜質含量要求選擇；2氣體純化裝置宜設置在氣體純化間（站）內。當潔凈廠房設有氣體入口室時，氣體純化間宜與氣體入口室合建；3各類氣體純化裝置宜設置在同一氣體純化間...

1管道連接應采用焊接，熱鍍鋅鋼管應采用螺紋連接。2不銹鋼管應采用氬弧焊，以對接焊或承接焊連接；高純氣體管道宜采用內壁***痕的對接焊。8.3.2管道與設備的連接應符合設備的連接要求。當采用軟管連接時宜采用金屬軟管。8.3.3管道與管道、管道與閥門連接的密封材料...

15.5.1施工材料在運輸、儲存和施工過程中，應采取包裹、覆蓋、密閉、圍擋等措施，防止污染環境。15.5.2施工過程中應做到當天施工當天清理現場，并有專人負責的制度。在完成了高效過濾器安裝、地面墻面的裝飾工作之后，潔凈室內不應再進行產塵、揚塵作業。15.5.3...

9.2.1潔凈室的照明一般要求照度高，但燈具安裝的數量受到送風風口數量和位置等條件的限制，這就要求在達到同一照度值情況下，安裝燈具的個數極少。熒光燈的發光效率一般是白熾燈的3倍~4倍，而且發熱量小，有利于空調節能。此外，潔凈室天然采光少，在選用光源時還需考慮它...

9.2.5潔凈廠房的正常照明因電源故障而熄滅，不能進行必要的操作處置可能導致生產流程混亂，加工處理的貴重零部件損壞；或由于不能進行必要的操作處置而可能引起火災、和中毒等事故，本條規定應設置備用照明，以防止上述事故和情況發生。備用照明應滿足所需要的場所或部位進行...

1.1潔凈室建筑裝飾工程施工應在主體結構、屋面防水工程4.和**護結構驗收完成后進行。4.1.2潔凈室建筑裝飾施工應與其他工種制定明確的施工協作計劃和施工程序。4.1.3潔凈室的建筑裝飾材料除應滿足隔熱、隔聲、防振、防蟲、防腐、防火、防靜電等要求外，尚應保證潔...

9.1.1電子產品生產用純水系統的選擇，應根據原水水質和產品生產工藝對水質的要求，并結合系統規模、材料及設備供應等情況，經技術經濟比較確定。9.1.2純水的輸送干管應敷設在技術夾層或技術夾道內；潔凈室（區)內的純水支管宜暗裝。9.1.3穿越潔凈室（區）墻壁、樓...

7.1.1潔凈廠房內各潔凈室（區）的空氣潔凈度等級，應根據電子產品生產工藝特點和潔凈室型式確定。7.1.2氣流流型應根據各潔凈室(區）空氣潔凈度等級和電子產品工藝特點的不同要求選用。7.1.3有下列情況之一者，凈化空調系統宜分開設置：1運行班次或使用時間不同；...

凈化工程行業是服務于高科技、國計民生的常青產業，頂端科技的發展與居民日常生活質量的提升無不有賴于凈化技術發展作為其幕后的支持。近年來，隨著人們生活水平的逐步提高，無塵車間相關技術也從服務技術與產業**，逐漸向服務普通工作和生活領域擴展，在食品生產和流通各環節、...