北京半導體凈化車間無塵室檢測標準

12.3.1防火卷簾安裝應符合下列規定：1防火卷簾洞口上端至頂棚之間應采用防火墻、不燃或難燃材料封堵。當采用不燃或難燃材料封堵時，其耐火極限應不低于防火卷簾的耐火極限。如防火卷簾采用水幕保護，其封堵材料亦應采用水幕保護。2鋼質卷簾的簾板應平直，裝配成卷簾后，不應存在孔洞或縫隙。3防火防煙卷簾的導軌內設置的防煙裝置的材料應為不燃或難燃材料。防煙裝置與簾面應均勻緊密貼合，其貼合面長度不應小于導軌長度的80%。4用于疏散通道上的防火卷簾，其兩側應安裝由感煙、感溫火災探測器組成的火災探測器組合。12.3.2防火門和防火窗的安裝應符合下列規定：1安裝在防火門和防火窗上的合頁、插銷等五金配件應是經相關檢測機構檢驗合格的產品。2防火門的開啟角度不應小于90°，并應具有在發生火災時能迅速關閉的功能。國內按空態、靜態、動態對無塵車間進行測試。北京半導體凈化車間無塵室檢測標準

5.5.6在回、排風口上安有高效過濾器的潔凈室及生物安全柜等裝備，在安裝前應用現場檢漏裝置對高效過濾器掃描檢漏，并應確認無漏后安裝。回、排風口安裝后，對非零泄漏邊框密封結構，應再對其邊框掃描檢漏，并應確認無漏；當無法對邊框掃描檢漏時，必須進行生物學等專門評價。5.5.7當在回、排風口上安裝動態氣流密封排風裝置時，應將正壓接管與接嘴牢靠連接，壓差表應安裝于排風裝置近旁目測高度處。排風裝置中的高效過濾器應在裝置外進行掃描檢漏，并應確認無漏后再安入裝置。浙江消毒液凈化車間環境無塵室檢測方法由HEPA或ULPA與風機組合在一起,構成自身可提供動力的末端空氣凈化的裝置。

7.1.1潔凈廠房內各潔凈室（區）的空氣潔凈度等級，應根據電子產品生產工藝特點和潔凈室型式確定。7.1.2氣流流型應根據各潔凈室（區）空氣潔凈度等級和電子產品工藝特點的不同要求選用。7.1.3有下列情況之一者，凈化空調系統宜分開設置：1運行班次或使用時間不同；2生產過程中散發的物質對其他工序、設備交叉污染，對產品質量或操作人員健康、安全有影響；3對溫、濕度控制要求差別大；4潔凈室(區）內工藝設備發熱相差懸殊；5凈化空調系統與一般空調系統，6系統風量過大的凈化空調系統。

7.3.1潔凈廠房中的凈化空調系統可分為集中式凈化空調系統和分散式凈化空調系統。凈化空調系統的型式應根據潔凈廠房的規模、空氣潔凈度等級和產品生產工藝特點確定。潔凈室（區)面積較小或只有局部要求凈化時，宜采用分散式凈化空調系統。7.3.2潔凈廠房的潔凈室（區)送風方式可分為集中送風、隧道送風、風機過濾器機組送風等。應根據潔凈室（區）使用功能和降低能量消耗的要求，經技術經濟比較，采用運行經濟、節約能源的送風方式。潔凈室在現代工業中早已被廣泛應用于半導體生產。

潔凈凈化室有三大標準：禁塵、帶塵、粉塵。不銹鋼風淋室做為進到凈化室的緩存安全通道之一，是操縱帶塵的比較好是凈化機器設備之一，它能夠比較大限度地降低職工出入潔凈凈化室所產生的環境污染難題。無塵室必須改造的緣故關鍵有：建筑工程設計不科學、以低擋商品替代***商品、供支氣管或過濾裝置密封性欠佳這些狀況，而這種都對生產制造標準化商品有一定危害，因此務必改版。無塵室需精心施工才可以確保凈化室的品質，并確保凈化室安全性平穩運作，確保在同一工作中表面的配套設施安裝與凈化室改造技術工種另外交叉作業，各崗位人員中間須開展緊密的相互配合，本新項目具備樓高，工期緊等特性。無塵室創造了一個幾乎不含微塵和有害物質的特殊空間，為高精密制造、敏感實驗和科研工作提供了理想的環境。北京消毒液凈化車間環境無塵室檢測頻率

沿單一方向呈平行流線并且橫斷面上風速一致的氣流。包括垂直單向流和水平單向流。北京半導體凈化車間無塵室檢測標準

E.1.1風量風速檢測必須首先進行，凈化空調各項效果必須是在設計的風量風速條件下獲得。E.1.2風量檢測前必須檢查風機運行是否正常，系統中各部件安裝是否正確，有無障礙，所有閥門應固定在一定的開啟位置上，且必須實際測量被測風口、風管尺寸。E.1.3測定室內微風速儀器的小刻度或讀數不應大于0.02m/s，一般可用熱球式風速儀，需要測出分速度時，應采用超聲波三維風速計。E.1.4對于單向流潔凈室，可采用室截面平均風速和截面積乘積的方法確定送風量，垂直單向流潔凈室的測定截面取距地面0.8m的無阻隔面(孔板、格柵除外)的水平截面，如有阻隔面，該測定截面應抬高至阻隔面之上0.25m;水平單向流潔凈室取距送風面0.5m的垂直于地面的截面，截面上測點間距不應大于1m，一般取0.3m。測點數應不少于20個，均勻布置。E.1.5對于非單向流潔凈室，內安裝過濾器的風口可采用套管法、風量罩法或風管法測定風量，為測定回風口或新風口風量，也可用風口法。北京半導體凈化車間無塵室檢測標準