惠州厚膜光刻膠廠家

來源： 發布時間：2025-05-18

吉田半導體柯圖泰全系列感光膠：進口品牌品質，本地化服務支持

柯圖泰全系列感光膠依托進口技術，提供高性價比的絲網印刷解決方案。
吉田半導體代理的柯圖泰全系列感光膠（如 PLUS 6000、Autosol 2000），源自美國先進配方，分辨率達 120 線 / 英寸，適用于玻璃、陶瓷等多種基材。產品通過 SGS 認證，符合電子行業有害物質限制要求，其高感光度與耐摩擦性，確保絲網印刷的清晰度與耐久性。公司提供技術參數匹配、制版工藝指導等本地化服務，幫助客戶優化生產流程，降低材料損耗。
吉田半導體：以技術革新驅動光刻膠產業升級。惠州厚膜光刻膠廠家

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研發投入的“高門檻”
一款KrF光刻膠的研發費用約2億元，而國際巨頭年研發投入超10億美元。國內企業如彤程新材2024年半導體光刻膠業務營收只5.4億元，研發投入占比不足15%，難以支撐長期技術攻關。

2. 價格競爭的“雙重擠壓”
國內PCB光刻膠價格較國際低30%，但半導體光刻膠因性能差距，價格為進口產品的70%，而成本卻高出20%。例如，國產ArF光刻膠售價約150萬元/噸，而日本同類產品為120萬元/噸，且性能更優。

突破路徑與未來展望

 原材料國產化攻堅：聚焦樹脂單體合成、光酸純化等關鍵環節，推動八億時空、怡達股份等企業實現百噸級量產。

 技術路線創新：探索金屬氧化物基光刻膠、電子束光刻膠等新方向，華中科技大學團隊已實現5nm線寬原型驗證。

 產業鏈協同創新：借鑒“TSMC-供應商”模式，推動晶圓廠與光刻膠企業共建聯合實驗室，縮短認證周期。

 政策與資本雙輪驅動：依托國家大基金三期，對通過驗證的企業給予設備采購補貼（30%），并設立專項基金支持EUV光刻膠研發。
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? 正性光刻膠

? YK-300：適用于半導體制造，具備高分辨率（線寬≤10μm）、耐高溫（250℃）、耐酸堿腐蝕特性，主要用于28nm及以上制程的晶圓制造，適配UV光源（365nm/405nm）。

? 技術優勢：采用進口樹脂及光引發劑，絕緣阻抗高（>10^14Ω），滿足半導體器件對絕緣性的嚴苛要求。

? 負性光刻膠

? JT-1000：負性膠，主打優異抗深蝕刻性能，分辨率達3μm，適用于功率半導體、MEMS器件制造，可承受氫氟酸（HF）、磷酸（H3PO4）等強腐蝕液處理。

? SU-3：經濟型負性膠，性價比高，適用于分立器件及低端邏輯芯片，光源適應性廣（248nm-436nm），曝光靈敏度≤200mJ/cm2。

2. 顯示面板光刻膠

? LCD正性光刻膠YK-200：專為TFT-LCD制程設計，具備高涂布均勻性（膜厚誤差±1%）、良好的基板附著力，用于彩色濾光片（CF）和陣列基板（Array）制造，支持8.5代線以上大規模生產。

? 水性感光膠JT-1200：環保型產品，VOC含量<50g/L，符合歐盟RoHS標準，適用于柔性顯示基板，可制作20μm以下精細網點，主要供應京東方、TCL等面板廠商。

 光伏電池（半導體級延伸）
? HJT/TOPCon電池：在硅片表面圖形化金屬電極，使用高靈敏度光刻膠（曝光能量≤50mJ/cm2），線寬≤20μm，降低遮光損失。

? 鈣鈦礦電池：用于電極圖案化和層間隔離，需耐有機溶劑（適應溶液涂布工藝）。

 納米壓印技術（下一代光刻）

? 納米壓印光刻膠：通過模具壓印實現10nm級分辨率，用于3D NAND存儲孔陣列（直徑≤20nm）、量子點顯示陣列等。

 微流控與生物醫療

? 微流控芯片：制造微米級流道（寬度10-100μm），材料需生物相容性（如PDMS基材適配）。

? 生物檢測芯片：通過光刻膠圖案化抗體/抗原固定位點，精度≤5μm。
吉田公司以無鹵無鉛配方與低 VOC 工藝打造光刻膠。

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定義與特性

正性光刻膠是一種在曝光后，曝光區域會溶解于顯影液的光敏材料，形成與掩膜版（Mask）圖案一致的圖形。與負性光刻膠（未曝光區域溶解）相比，其優勢是分辨率高、圖案邊緣清晰，是半導體制造（尤其是制程）的主流選擇。

化學組成與工作原理

 主要成分

? 樹脂（成膜劑）：

? 傳統正性膠：采用**酚醛樹脂（Novolak）與重氮萘醌（DNQ，光敏劑）**的復合體系（PAC體系），占比約80%-90%。

? 化學增幅型（用于DUV/EUV）：含環化烯烴樹脂或含氟聚合物，搭配光酸發生器（PAG），通過酸催化反應提高感光度和分辨率。

? 溶劑：溶解樹脂和感光劑，常用丙二醇甲醚醋酸酯（PGMEA）或乳酸乙酯。

? 添加劑：表面活性劑（改善涂布均勻性）、穩定劑（防止暗反應）、堿溶解度調節劑等。

 工作原理

? 曝光前：光敏劑（如DNQ）與樹脂結合，形成不溶于堿性顯影液的復合物。

? 曝光時：

? 傳統PAC體系：DNQ在紫外光（G線436nm、I線365nm）照射下發生光分解，生成羧酸，使曝光區域樹脂在堿性顯影液中溶解性增強。

? 化學增幅型：PAG在DUV/EUV光下產生活性酸，催化樹脂發生脫保護反應，大幅提高顯影速率（靈敏度提升10倍以上）。

? 顯影后：曝光區域溶解去除，未曝光區域保留，形成正性圖案。
納米級圖案化的主要工具。福州PCB光刻膠感光膠

吉田半導體光刻膠，45nm 制程驗證，國產替代方案!惠州厚膜光刻膠廠家

吉田半導體突破光刻膠共性難題，提升行業生產效率，通過優化材料配方與工藝，吉田半導體解決光刻膠留膜率低、蝕刻損傷等共性問題，助力客戶降本增效。
針對傳統光刻膠留膜率低、蝕刻損傷嚴重等問題，吉田半導體研發的 T150A KrF 光刻膠留膜率較同類產品高 8%，密集圖形側壁垂直度達標率提升 15%。其納米壓印光刻膠采用特殊交聯技術，在顯影過程中減少有機溶劑對有機半導體的損傷，使芯片良率提升至 99.8%。這些技術突破有效降低客戶生產成本，推動行業生產效率提升。惠州厚膜光刻膠廠家

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