10.3.1潔凈廠房內的干燥壓縮空氣系統應根據各類產品生產工藝要求、供氣量和供氣品質等因素確定，并應符合下列規定：1供氣規模應按產品生產所需供氣量和計入必要損耗量確定，并應設有一定的備用供氣量；2供氣品質應根據生產工藝對含水量、含油量、微粒粒徑及其濃度等要求確...

1)單層潔凈室，在單向流潔凈生產區的上部、下部設有上下技術夾層，上技術夾層內設置空氣過濾裝置、風管和公用動力管線；下技術夾層為回風道。這種形式適用于規模較小的潔凈室。2)多層潔凈室，在單向流潔凈生產區吊頂格柵以上設有送風靜壓箱或循環空氣處理設備或空氣過濾單元機...

無塵室凈化關鍵功效取決于的操縱商品(如硅集成ic等)所觸碰之空氣的潔凈度等級日及溫度濕度，使商品能在一個優良之自然環境室內空間中生產制造、生產制造，此室內空間大家稱作潔凈凈化室。無塵室架構一般可分成三種：不銹鋼板鋁方通、噴漆鐵鋁方通及其鋁合金型材，頂端及能用不...

7.1.1潔凈廠房內各潔凈室（區）的空氣潔凈度等級，應根據電子產品生產工藝特點和潔凈室型式確定。7.1.2氣流流型應根據各潔凈室(區）空氣潔凈度等級和電子產品工藝特點的不同要求選用。7.1.3有下列情況之一者，凈化空調系統宜分開設置：1運行班次或使用時間不同；...

隨著生產工藝對純水水質的不斷提高，甚至到了理論純水的程度，尤其是集成電路的發展不但對水中電解質的含量要求極其嚴格，而且對細菌、微粒、有機物及溶解氧等都有極其嚴格的要求；醫藥工業中要求供應的注射用水，對水中含菌量、熱源均有嚴格要求。除了嚴格的純水制造過程外，純水...

空氣過濾器的處理風量應小于或等于額定風量；3中效(高中效)空氣過濾器宜集中設置在空調箱的正壓段；4高效(亞高效)空氣過濾器宜設置在凈化空調系統的末端；超高效空氣過濾器應設置在凈化空調系統的末端；5同一凈化空調系統內末端安裝的高效（亞高效、超高效）空氣過濾器的阻...

4.1.2潔凈廠房凈化空調系統的新風口與城市交通干道之間的距離（相鄰側邊沿）宜大于50m。當潔凈廠房與交通干道之間設有城市綠化帶時，可根據具體條件適當減少，但不得小于25m。4.1.3對于有微振控制要求的潔凈廠房的位置選擇，應實際測定周圍現有振源和模擬振源的影...

無塵車間工程是指按照客戶的要求，提供對微粒、有害空氣、細菌等污染物的有效控制，溫度、濕度、噪聲、照度、潔凈度、室內壓差、氣流速度與氣流分布、振動、靜電等各項指標均滿足安全生產需求的潔凈受控空間。無塵車間的主要作用在于為產品生產(如硅芯片等)和服務提供所需環境的...

凈化工程行業是服務于高科技、國計民生的常青產業，頂端科技的發展與居民日常生活質量的提升無不有賴于凈化技術發展作為其幕后的支持。近年來，隨著人們生活水平的逐步提高，無塵車間相關技術也從服務技術與產業**，逐漸向服務普通工作和生活領域擴展，在食品生產和流通各環節、...

10.1.1潔凈廠房內應根據生產的需求使用各種不同類型的特種氣體、常用氣體、干燥壓縮空氣，其氣體品質應滿足生產工藝要求。10.1.2常用氣體的供氣方式和供氣系統，應根據氣體用量、氣體品質和當地的供氣狀況等因素，經技術經濟比較后確定。10.1.3潔凈廠房常用氣體...

16.4.22臭氧濃度的檢驗應符合下列規定：在風系統內或室內安有可產生臭氧的裝置時，除裝置本身產生的臭氧應符合現行的相關產品標準規定外，還應在系統和該裝置正常運轉條件下，檢測室內臭氧濃度。應按附錄E檢驗，結果應符合設計要求。當設計無明確要求時，應符合現行國家標...

4.2.2因生產工藝的不同，潔凈廠房內常有多種氣體、液體供應管道，如氫、氧、氮、氬、壓縮空氣和純水、上水等管道，以及電氣管線、凈化空調系統的送回風管和局部排風管等，管線交叉復雜。因此，在進行管線綜合布置時，必須在平面和標高上密切配合，綜合考慮，才能做到安裝、調...

9.2.5潔凈廠房的正常照明因電源故障而熄滅，不能進行必要的操作處置可能導致生產流程混亂，加工處理的貴重零部件損壞；或由于不能進行必要的操作處置而可能引起火災、和中毒等事故，本條規定應設置備用照明，以防止上述事故和情況發生。備用照明應滿足所需要的場所或部位進行...

1近年來，在大規模集成電路生產(前工序）用潔凈廠房、TFT-LCD生產用潔凈廠房的建造、設計中，基本上采用多層的布置方式，在潔凈生產層吊頂格柵以上的上技術夾層常常作為送風靜壓箱，潔凈空氣通過FFU向潔凈生產層送風，實際上，潔凈生產層與上技術夾層是相通的；而潔凈...

11.2.1有風機的凈化設備當其風機底座與箱體軟連接時，搬運時應將底座架起固定，就位后放下。11.2.2凈化設備安裝應在建筑內部裝飾和凈化空調系統施工安裝完成，并進行***清掃、擦拭干凈之后進行，但與圍護結構相連的設備或其排風、排水管道必須與圍護結構同時施工時...

12.1.1潔凈廠房的用電負荷等級和供電要求，應根據電子產品生產工藝及設備要求和現行國家標準《供配電系統設計規范》GB50052的有關規定確定。12.1.2潔凈廠房低壓配電電壓等級應符合生產工藝設備用電要求。帶電導體系統的型式宜采用單相二線制、三相三線制、三相...

11.2.1有風機的凈化設備當其風機底座與箱體軟連接時，搬運時應將底座架起固定，就位后放下。11.2.2凈化設備安裝應在建筑內部裝飾和凈化空調系統施工安裝完成，并進行***清掃、擦拭干凈之后進行，但與圍護結構相連的設備或其排風、排水管道必須與圍護結構同時施工時...

4.1.1潔凈廠房位置的選擇，應根據下列要求的經技術經濟比較后確定：1應布置在大氣含塵和有害氣體或化學污染物濃度較低、自然環境較好的區域；2應遠離鐵路、碼頭、飛機場、交通要道以及散發大量粉塵和有害氣體或化學污染物的工廠、貯倉、堆場等有嚴重空氣污染、振動或噪聲干...

7.3.1潔凈廠房中的凈化空調系統可分為集中式凈化空調系統和分散式凈化空調系統。凈化空調系統的型式應根據潔凈廠房的規模、空氣潔凈度等級和產品生產工藝特點確定。潔凈室（區)面積較小或只有局部要求凈化時，宜采用分散式凈化空調系統。7.3.2潔凈廠房的潔凈室（區)送...

6.1.1潔凈廠房的建筑平面和空間布局，應根據電子產品發展以及生產工藝改造和擴大生產規模的要求確定。6.1.2潔凈廠房的主體結構宜采用大空間及大跨度柱網，不應采用內墻承重體系。6.1.3潔凈廠房的立面設計應簡潔、明快，并應適應潔凈室(區)的布置要求。潔凈廠房圍...

6.3.1潔凈廠房的建筑圍護結構和室內裝修，應選用氣密性良好，且在溫度和濕度變化時變形小的材料。潔凈室裝飾材料及其密封材料不得采用釋放對電子產品品質有影響物質的材料。裝修材料的燃燒性能應符合現行國家標準《建筑內部裝修設計防火規范》GB50222的有關規定。裝修...

11. 4.1 生物安全柜內如有氣管和水管，應同時安裝完畢。11.4.2當多臺生物安全柜的排風支管與豎井內封閉的排風立管相連接時，支管應采用防回流裝置，并應從立管入口后向上伸人**少0.6m。11.4.3生物安全柜安裝就位之后，連接排風管道之前，應對高效過濾器...

E.1.1風量風速檢測必須首先進行，凈化空調各項效果必須是在設計的風量風速條件下獲得。E.1.2風量檢測前必須檢查風機運行是否正常，系統中各部件安裝是否正確，有無障礙，所有閥門應固定在一定的開啟位置上，且必須實際測量被測風口、風管尺寸。E.1.3測定室內微風速...

5.2.1潔凈廠房的工藝布置應按產品生產工藝流程、潔凈室的氣流流型、工藝設備的安裝和維修、物料運輸等要求確定。在單向流潔凈室內進行生產工藝設備、操作程序、人員流動路線和物料傳輸布置時,應采取避免發生氣流干擾和交叉污染的措施。5.2.2工藝布局應避免人流和物流之...

5.2.1潔凈廠房的工藝布置應按產品生產工藝流程、潔凈室的氣流流型、工藝設備的安裝和維修、物料運輸等要求確定。在單向流潔凈室內進行生產工藝設備、操作程序、人員流動路線和物料傳輸布置時,應采取避免發生氣流干擾和交叉污染的措施。5.2.2工藝布局應避免人流和物流之...

無塵室凈化車間管理規范1、進入潔凈室的管理，包括對潔凈室工作人員進入，物料進入，各類設備的搬入以及相關的設備，管線的維護管理，應做到不得將微粒，微生物帶人潔凈室2、操作管理技術，對潔凈室內人員用潔凈工作的制作，穿著和其清洗，操作人員的移動和動作，室內設備及裝修...

4潔凈生產區、走道和技術夾層(不包括不通行的技術夾層)應設置手動報警按鈕和聲光報警裝置。12.3.5潔凈廠房應設置火災自動報警及消防聯動控制。控制設備的控制及顯示功能應符合現行國家標準《火災自動報警系統設計規范》GB50116的有關規定，潔凈室（區）火災報警應...

9.2.1純水系統的設備配置除應滿足所需水量和水質的要求外，還應滿足運行靈活、安全可靠、便于操作管理、運行費用低等要求。9.2.2純水的制備、儲存和輸送設備,應符合電子產品生產工藝的要求,并應符合下列規定:1純水的制備、終端處理設備的選型和制造材料的選擇,應滿...

12.4.2消防應急照明燈(以下簡稱照明燈）的安裝應符合下列規定：1當照明燈安裝在墻上時，照明燈光線不應正面迎向人員疏散方向。2照明燈不得安裝在地面上，或1m~2.2m之間的側面墻上。照明燈宜采用嵌入式安裝并與安裝面平齊，四周應密封。3疏散走道上安裝的照明燈應...

12.2.1排煙管道的安裝試驗應符合本規范第5章的有關規定。12.2.2排煙管道的隔熱層應采用厚度不小于40mm的不燃絕熱材料。12.2.3磚、混凝土風道的制作應保證管道的氣密性，灰縫應飽滿，內表面水泥砂漿面層應平整。12.2.4送風口、排煙口的固定應可靠，表...