根據權利要求1所述的光譜共焦傳感器,其中所述線傳感器是在使用預定基準軸作為基準的情況下布置的,以及所述光學系統是在使用所述預定基準軸作為基準的情況下配置的,并且所述光學系統包括所述多個測量光束入射的多個光入射口,其中所述多個光入射口在使用所述預定基準軸作為基準的情況下設置在不同位置處。根據權利要求2所述的光譜共焦傳感器,其中，所述預定基準軸與在使所述測量光從所述分光器的虛擬光入射口入射至所述光學系統的情況下的光軸相對應。該傳感器的優點包括高精度、非接觸式、不受溫度和振動等影響。常州通信光譜共焦位移傳感器進一步，光譜共焦位移傳感探頭包括有：探頭殼體，探頭殼體與入射光纖和接收光纖固定連接； 半透半...

光學頭內部的結構不受限制,并且可以適當地設計。例如,可以使用諸如孔和準直透鏡等的其它透鏡。在本實施例中,可以通過No.1光學頭和第二光學頭來測量待測物體上的兩個測量點的位置。換句話說,可以同時對作為No.1 光學頭和第二光學頭的測量對象的兩個測量點和進行多點測量。當然,本發明不限于在同一待測物體0上進行多點測量的情況,并且可以同時測量兩個不同的待測物體。將從No.1光學頭和第二光學頭射出的測量光和經由光纖和引導至控制器。射出綠色光作為測量光和。當然,本發明不限于射出同一波長光的情況,并且可以射出分別與測量點和的位置相對應的波長光。該傳感器的應用將有助于提高微納制造、半導體制造和生物醫學等領域中...

過去,針對測量待測物體的高度等,已經使用了光譜共焦傳感器的技術。例如,日本的intenational公開2014/141535(以下稱為專利文獻1)公開了使用多個頭部的共焦光學系統來進行對測量對象的位移的多點測量的共焦測量設備。在該共焦測量設備中,在各頭部中設置有光學濾波器,并且設置要用于測量的波長帶,以使得這些頭部彼此不同。例如,在No.1頭部中使用具有約400nm~600nm的波長的光,并且在第二頭部中使用具有約600nm~800nm的波長的光(專利文獻1的說明書中的段落、通過以這種方式使要在這些頭部中使用的光的波長帶彼此不同,可以將分光器內部所布置的攝像裝置分割成要由各頭部使用的多個區域...

8.根據權利要求7所述的光譜共焦位移傳感器，其特征在于，所述機殼設置有兩層，所述聚焦透鏡組位于所述機殼的上層，所述感光元件位于所述機殼的下層，所述聚焦透鏡組與所述感光元件的光路之間設置有用于轉變光線傳播方向的光線轉向鏡組，所述光線轉向鏡組包括有上反光鏡，設置在所述上反光鏡下方位置的下反光鏡，所述光線轉向鏡組用于將上層的聚焦透鏡組射出的光線聚焦到下層的感光元件上。根據權利要求1所述的光譜共焦位移傳感器，其特征在于，所述光譜共焦位移傳感探頭還設置有提示組件，所述提示組件包括有：發光件，所述發光件設置在光源耦合器中；導光光纖，所述導光光纖的一端連接在所述光源耦合器中且另一端延伸連接在探頭殼體的側壁上...

通過在使用測量光從虛擬光入射口入射的情況下的光軸作為基準的情況下在布置線傳感器的同時配置光學系統,可以將從多個光入射口入射的測量光分別射出至線傳感器的多個受光區域。 多個光入射口可以被設置成從 多個光入射口入射的 多個測量光束各自的光軸變得與 預定基準軸大致平行。因此,可以容易地將各測量光束射出至多個受光區域。 多個光入射口可以設置在相對于 預定基準軸相互對稱的位置處。因此,可以容易地設計分光器。 多個光入射口可以設置在相對于 虛擬光入射口相互對稱的位置處。通過將多個光入射口設置在相對于作為基準軸的起點的虛擬光入射口相互對稱的位置處,可以容易地設計分光器。該傳感器的優點包括高精度、非接觸式和抗...

在能夠以這種方式執行多點測量的光譜共焦傳感器中,需要能夠減少必要組件的數量的技術。有鑒于如上所述的情形,本發明旨在提供能夠利用少量的組件來執行多點測量的光譜共焦傳感器以及使用該光譜共焦傳感器的測量方法。為了實現上述目的,根據本發明實施例的光譜共焦傳感器包括光源部、多個光學頭、分光器和位置計算部。光源部射出具有不同波長的多個光束。多個光學頭將從所述光源部射出的所述多個光束會聚于不同的聚焦位置處，并且射出在所述聚焦位置處被測量點反射的測量光。光譜共焦位移傳感器是一種高精度非接觸式位移傳感器。蘇州質量光譜共焦位移傳感器本實用新型提供一種光譜共焦位移傳感器，包括光源耦合器，入射光纖，光譜共焦位移傳感探...

將光源耦合器與光譜共焦位移傳感探頭分開設置，設置在光源耦合器中的發光件實現發光，并通過導光光纖進行傳導光后在探頭殼體上顯示，從而實現產生熱量的發光件與探頭殼體分離，而不影響探頭殼體，從而減少發光件發光時產生的熱量對光譜共焦位移傳感探頭精度的影響，減少測量誤差，提高測量精度；通過濾光片過濾紅外線，進一步減小發熱量和傳導的熱量。將探頭殼體設置成可拆卸的上殼體和下殼體兩部分，產生的少量熱量集中在上殼體而不對下殼體上的主要光學部件產生影響，從而減少測量誤差，提高測量精度。光譜共焦位移傳感器是一種高精度、具有廣泛的應用前景。珠海小型光譜共焦位移傳感器光譜共焦位移傳感器是一種具有超高精度和超高穩定性的非接...

傳統的光譜儀中，還可采用光柵進行分光，與棱鏡組相比，光柵分光的光能量損失較大，對于光譜共焦系統，finally照射到光譜儀的感光器件上的efficient光譜儀中，還可采用光柵進行分光，與棱鏡組相比，光柵分光的光能量損失較大，對于光譜共焦系統，finally照射到光譜儀的感光器件上的有效光能信號很弱，影響測量精度和效果。光譜儀還包括有用于對反射光進行準直的準直透鏡組，準直透鏡組設置在接收光纖的出光端與棱鏡組之間。通常光線是發散的，即開始相鄰的兩條光線傳播后會相離越來越遠，通過準直透鏡組對反射光進行準直，可以讓多色光平行射入棱鏡組。平行光束的方向穩定性高，在接收平面上能形成穩定的中心，有利于后續...

本實施例中通過采用可拆卸連接便于導光光纖的維護和更換。所述的發光件可設置為一個或多個，當設置為一個時，導光光纖均傳遞一個發光件的光，這樣會導致傳遞到探頭殼體上的光較弱，從而導致光線的辨識度不高，因此本實施例中的所述發光件設置有多個，根據數量不同按照不同排列方式排列在光源耦合器中，所述的導光光纖設置有多個，發光件和導光光纖的關系為一一對應連接關系，多個導光光纖呈對稱分布或圓周陣列分布在探頭殼體的側壁上，這樣由導光光纖一一對應傳遞發光件產生的光，使光從探頭殼體上發出后辨識度高。該傳感器的優點包括高精度、非接觸式、不受溫度和振動等影響。銷售光譜共焦位移傳感器生產廠家哪家好本實用新型目的在于針對現有技...

本實用新型解決的技術問題在于，針對現有技術的上述缺陷，提供一種光譜共焦位移傳感器，旨在通過光譜共焦工作原理，避免通過激光直接照射到物體表面而呈現顆粒狀的散斑，克服不易確定像點的質心位置的缺陷。本實用新型解決技術問題所采用的技術方案如下： 一種光譜共焦位移傳感器，包括底座，其中，還包括有：光源耦合器，所述光源耦合器用于產生多色光； 入射光纖，所述入射光纖的入光端固定連接在所述光源耦合器中并用于接收所述光源耦合器所發出的多色光；該傳感器的優點包括高精度、非接觸式、不受溫度和振動等影響。高速光譜共焦位移傳感器供應本實施例中通過采用可拆卸連接便于導光光纖的維護和更換。所述的發光件可設置為一個或多個，當...

位于沉孔的開口端，通過粘接固定設置有透光鏡，透光鏡為玻璃材質或塑料材質，透光鏡可以為平面鏡或凹透鏡，平面透光鏡的設置可以對導光光纖的出光端進行保護，本實施例中推薦凹透鏡，凹透鏡可以將導光光纖從發光件傳導過來的光發散傳導到探頭外，使光的指示范圍更廣，更有利于使用者觀察。探頭殼體設置為兩部分，包括有上殼體和下殼體，上殼體和下殼體均為圓柱形，上殼體和下殼體通過螺紋或卡扣實現可拆卸連接，導光光纖的出光端連接在上殼體的沉孔上；而探頭的其他精密光學部件設置在下殼體上，這樣導光光纖傳導從發光件發出來的光時，不可避免的會產生熱量，通過上殼體與下殼體的分開設置，從而上殼體和下殼體之間裝配過程中產生配合間隙，導光...

多個光入射口可以沿著與線傳感器的線方向相對應的預定方向設置。因此,可以容易地設計分光器。分光器可以包括設置有多個光入射口的光入射面。在這種情況下,多個光入射口可以設置在包括線方向和預定基準軸的方向的平面與光入射面相交的直線上。因此,可以容易地設計分光器。在針對多個光學頭中的各光學頭將如下區域假定為測量對象區域的情況下，多個受光區域可以與分別對應于多個光學頭的多個測量對象區域相對應,其中，該區域是線傳感器的從在射出多個光東中的具有shortest波長的光作為測量光的情況下的受光位置到在射出具有longest波長的光作為測量光的情況下的受光位置為止的區域。傳感器的測量范圍受到光譜共焦顯微鏡成像范圍...

8.根據權利要求7所述的光譜共焦位移傳感器，其特征在于，所述機殼設置有兩層，所述聚焦透鏡組位于所述機殼的上層，所述感光元件位于所述機殼的下層，所述聚焦透鏡組與所述感光元件的光路之間設置有用于轉變光線傳播方向的光線轉向鏡組，所述光線轉向鏡組包括有上反光鏡，設置在所述上反光鏡下方位置的下反光鏡，所述光線轉向鏡組用于將上層的聚焦透鏡組射出的光線聚焦到下層的感光元件上。根據權利要求1所述的光譜共焦位移傳感器，其特征在于，所述光譜共焦位移傳感探頭還設置有提示組件，所述提示組件包括有：發光件，所述發光件設置在光源耦合器中；導光光纖，所述導光光纖的一端連接在所述光源耦合器中且另一端延伸連接在探頭殼體的側壁上...

白色光中所包括的多個可見光束彼此分離,并且從殼體部向著待測物體的測量點射出。應當注意,在圖中,RGB這三個顏色的光表示由物鏡分離的多個可見光束。當然,還射出其它顏色(其它波長)的光。 圖1所示的波長和聚焦位置P,表示多個可見光束中的具有shortest波長的可見光的波長和聚焦位置,并且例如與藍色光B相對應。波長入和聚焦位置P表示多個可見光數中的具有longest波長的可見光的波長和聚焦位置,并且例如與紅色光R相對應。波長和聚焦位置P表示多個可見光束中的任意可見光的波長和聚焦位置,并且在圖中例示出綠色光G(k=1~n).光譜共焦技術可以消除光學系統的像差和色差等影響，提高測量精度。蘇州光譜共焦位...

采用入射光纖和接收光纖分離的方式，發射光和反射光從不同的光路中傳輸，從而避免光線在傳輸過程中產生內部干擾，提高了光譜共焦系統的信噪比；而且通過設置發射光和反射光的單獨通道，光路更順暢，發射光和反射光分別在入射光纖和接收光纖中傳播時不會出現自身反射，從而避免光信號的干擾和能量損失。而傳統的光路設置過程中，采用的是Y型光纖，入射光纖和接收光纖在探頭內耦合成一條光纖，形成Y型光纖，這樣會產生內部串擾，降低信噪比，影響有效信號的提取和整個系統的穩定性。而本方案中的入射光纖和接收光纖單獨進行設置，可以避免傳統Y型光纖的問題，使光的傳播更加穩定。該傳感器可以與其他測量設備相結合，實現多參數的綜合測量。如何...

在接收光纖的出光端可裝配連接有光譜儀，當光譜儀與接收光纖的出光端裝配好后，光譜儀與接收光纖的出光端實現固定連接，光譜儀帶有感光元件并用于把被測物體的反射光進行色散聚焦到感光元件上且量化成光譜曲線。這樣，通過光源耦合器產生多色光，多色光在入射光纖中傳導到光譜共焦位移傳感探頭內；通過光譜共焦位移傳感探頭內的透鏡組和光學元件使多色光發生光譜色散，不同波長的單色光聚焦到不同的軸向高度，使波長與被測物體的位移產生對應關系；它可以測量物體微小的位移，精度高達亞微米級別。原裝光譜共焦位移傳感器工廠當光線射到半透半反膜上時，一部分光線進行透射到下三棱鏡上，一部分光線進行反射，反射到背向所述反光鏡的一面，在上三...

光學頭內部的結構不受限制,并且可以適當地設計。例如,可以使用諸如孔和準直透鏡等的其它透鏡。在本實施例中,可以通過No.1光學頭和第二光學頭來測量待測物體上的兩個測量點的位置。換句話說,可以同時對作為No.1 光學頭和第二光學頭的測量對象的兩個測量點和進行多點測量。當然,本發明不限于在同一待測物體0上進行多點測量的情況,并且可以同時測量兩個不同的待測物體。將從No.1光學頭和第二光學頭射出的測量光和經由光纖和引導至控制器。射出綠色光作為測量光和。當然,本發明不限于射出同一波長光的情況,并且可以射出分別與測量點和的位置相對應的波長光。該傳感器的測量范圍受到光譜共焦顯微鏡的成像范圍限制。國產光譜共焦...

光纖連接至殼體部的后端的大致centre處所設置的連接口,使得白色光W被射出到殼體部的內部。從光纖射出的白色光穿過物鏡并且從殼體部的前端處所設置的照射面向著待測物體上的測量點照射。物鏡是針對光譜傳感器所設計的透鏡并且產生軸向色像差。具體地,物鏡使入射到光學頭的光會聚于光軸上的各自與波長入相對應的聚焦位置P處。因此,在本實施例中,白色光中所包括的多個可見光東由物鏡會聚于與波長入相對應的相互不同的聚焦位置處。創視智該傳感器的優點包括高精度、非接觸式和抗溫度、抗振動等效應。常州防護光譜共焦位移傳感器光譜共焦位移傳感器系統中的光譜儀還包括有用于對反射光進行準直調整的準直透鏡組，準直透鏡組設置在接收光纖...

6.根據權利要求1所述的光譜共焦位移傳感器，其特征在于，所述光譜儀包括有機殼，固定設置在機殼中并位于所述接收光纖出光端的軸向上且用于對反射光進行色散的棱鏡組，固定設置在所述棱鏡組的出光端并用于對色散后的光進行聚焦的聚焦透鏡組，所述感光元件設置在聚焦透鏡組的出光端并用于接收聚焦后的各色光。7.根據權利要求6所述的光譜共焦位移傳感器，其特征在于，所述光譜儀還包括有用于對反射光進行準直調整的準直透鏡組，所述準直透鏡組設置在所述接收光纖的出光端與所述棱鏡組之間。它使用光譜共焦技術來測量物體的微小位移，能夠達到亞微米級的高精度。新品光譜共焦位移傳感器找哪家本實用新型目的在于針對現有技術所存在的不足而提供...

分光器包括線傳感器和光學系統。光學系統包括用于使從所述多個光學頭射出的多個測量光束發生衍射的衍射光柵,并且所述光學系統向所述線傳感器的不同的多個受光區域射出通過所述衍射光柵所衍射的所述多個測量光束中的各個測量光束。 所述位置計算部基于所述線傳感器的所述多個受光區域各自的受光位置來計算作為所述多個光學頭的測量對象的多個測量點各自的位置。該光譜共焦傳感器包括用于使用從光源部射出的光進行測量的多個光學頭。從光學頭各自射出的測量光由于衍射光柵而發生衍射,并且分別向線傳感器的多個受光區域射出。因此,可以基于線傳感器的多個受光區域的各受光位置來計算多個測量點各自的位置。結果,可以在不增加衍射光柵和線傳感器...

進一步，光譜共焦位移傳感探頭包括有：探頭殼體，探頭殼體與入射光纖和接收光纖固定連接； 半透半反光學鏡，半透半反光學鏡固定設置在入射光纖的出光端的正下方；反光鏡，反光鏡固定設置在探頭殼體的內側壁上，反光鏡用于反射半透半反光學鏡所發出的反射光，接收光纖入光端位于所述反光鏡的上方。進一步，半透半反光學鏡包括有上三棱鏡，與上三棱鏡相膠合的下三棱鏡，膠合面鍍有半透半反膜，半透半反膜與所述入射光纖的出光端射出的光線呈45°設置，上三棱鏡和下三棱鏡均采用等邊直角棱鏡，上三棱鏡和下三棱鏡的直角邊相等。它可以實現對材料的變形過程進行精確測量，對于研究材料的變形行為具有重要意義。滄州光譜共焦位移傳感器誠信企業推薦...

本實施例中的光譜共焦位移傳感探頭還包括有提示組件，光源耦合器作為單獨結構與探頭殼體分開設置。提示組件包括在光源耦合器內，通過卡扣可拆卸設置，用于產生提示光的發光件；發光件也可直接固定在光源耦合器內。發光件為雙色LED燈，也可為其他可見光光源，當探頭操作正常且被測物體在有效測量區域時，由控制系統發出控制信號點亮發光件，發光件發出綠色光，提醒使用者操作正常，可以繼續操作。當探頭操作不正常或被測物體不在有效測量區域時，由控制系統發出控制信號點亮發光件，發光件發出紅光，提示使用者操作出現問題，需要更正。發光件發出不同顏色的光便于使用者了解探頭的使用情況，增加便利性。該傳感器利用光路中的光譜信息來測量位...

光纖連接至殼體部的后端的大致centre處所設置的連接口,使得白色光W被射出到殼體部的內部。從光纖射出的白色光穿過物鏡并且從殼體部的前端處所設置的照射面向著待測物體上的測量點照射。物鏡是針對光譜傳感器所設計的透鏡并且產生軸向色像差。具體地,物鏡使入射到光學頭的光會聚于光軸上的各自與波長入相對應的聚焦位置P處。因此,在本實施例中,白色光中所包括的多個可見光東由物鏡會聚于與波長入相對應的相互不同的聚焦位置處。創視智該傳感器適用于光學顯微鏡、掃描電子顯微鏡等高分辨率成像系統中的位移測量。杭州好的光譜共焦位移傳感器根據權利要求所述的光譜共焦傳感器,其中，所述多個光學頭是2個光學頭或者3個光學頭。一種測...

線傳感器可以是在使用預定基準軸作為基準的情況下布置的。在這種情況下,光學系統可以是在使用預定基準軸作為基準的情況下配置的,并且光學系統可以包括多個測量光束入射的多個光入射口,其中 多個光入射口在使用 預定基準軸作為基準的情況下設置在不同位置處。通過以這種方式在使用預定基準軸作為基準的情況下在布置線傳感器的同時配置光學系統,可以向線傳感器的不同受光區域射出相應的測量光。特別地,通過使用該基準軸作為基準來在不同位置處設置多個光入射口,可以容易將各測量光射出至多個受光區域。 預定基準軸可以與在使 測量光從 分光器的虛擬光入射口入射至 光學系統的情況下的光軸相對應。通過在使用測量光從虛擬光入射口入射的...

過去,針對測量待測物體的高度等,已經使用了光譜共焦傳感器的技術。例如,日本的intenational公開2014/141535(以下稱為專利文獻1)公開了使用多個頭部的共焦光學系統來進行對測量對象的位移的多點測量的共焦測量設備。在該共焦測量設備中,在各頭部中設置有光學濾波器,并且設置要用于測量的波長帶,以使得這些頭部彼此不同。例如,在No.1頭部中使用具有約400nm~600nm的波長的光,并且在第二頭部中使用具有約600nm~800nm的波長的光(專利文獻1的說明書中的段落、通過以這種方式使要在這些頭部中使用的光的波長帶彼此不同,可以將分光器內部所布置的攝像裝置分割成要由各頭部使用的多個區域...

為使本實用新型的目的、技術方案及優點更加清楚、明確，以下參照附圖并舉實施例對本實用新型進一步詳細說明。應當理解，此處所描述的具體實施例only用以解釋本實用新型，并不用于限定本實用新型。本實用新型提出一種光譜共焦位移傳感器，包括光源耦合器1000，所述光源耦合器1000包括有用于產生多色光的多色光光源1100；多色光光源1100可使用激光熒光系統，也可使用LED燈發光照射熒光粉產生白光，還可以是LED燈直接產生白光，光源耦合器1000產生的光能可以適當調節，同時通過反饋控制實現光源耦合器1000產生持續的、亮度恒定不變的多色光，從而使光能量和測量更加穩定；光源耦合部分設置有帶通濾光片1200,...

本實用新型解決的技術問題在于，針對現有技術的上述缺陷，提供一種光譜共焦位移傳感器，旨在通過光譜共焦工作原理，避免通過激光直接照射到物體表面而呈現顆粒狀的散斑，克服不易確定像點的質心位置的缺陷。本實用新型解決技術問題所采用的技術方案如下： 一種光譜共焦位移傳感器，包括底座，其中，還包括有：光源耦合器，所述光源耦合器用于產生多色光； 入射光纖，所述入射光纖的入光端固定連接在所述光源耦合器中并用于接收所述光源耦合器所發出的多色光；它可以實現對材料的微觀結構進行高精度測量，對于研究材料的微觀性質具有重要意義。合肥光譜共焦位移傳感器性價比高企業本發明提供一種光譜共焦傳感器和測量方法。該光譜共焦傳感器包括...

被測物體表面反射的反射光通過探頭接收并由接收光纖選擇性的傳輸到光譜儀，光譜儀對反射光進行聚焦并通過設置在光譜儀中的感光元件對反射光進行量化處理，量化后的光波在光譜儀上產生一個光譜波峰，光譜曲線的峰值位置與聚焦于被測物體表面的波長產生對應關系；光譜儀將波長、被測物體的位移和光譜波峰位置三者建立對應關系后進行分析，通過光譜波峰反推出被測物體的位移，實現利用光譜共焦原理測量位移的過程；因此本方案中的光譜共焦位移傳感器通過光譜共焦工作原理，避免使用激光直接照射到物體表面而呈現顆粒狀的散斑，克服不易確定像點的質心位置的缺陷。它使用光譜共焦技術來測量物體的微小位移，能夠達到亞微米級的高精度。直銷光譜共焦位...

激光位移傳感器的工作原理是利用激光發射光束投射到被測物體表面，接收反射光并將光信號轉換為電信號輸出，從而獲取被測物體空間位置信息。根據激光源發射光束的不同，激光傳感器可分為點、線兩種。點激光位移傳感器在一個采樣周期內只能獲得被測量的一維信息，使用時通常依托于三坐標測量機或三坐標機床等設備，通過設備機械運動及傳感器同步掃描來獲取被測物體三維信息。因此，激光位移傳感器在精密測量領域有著廣泛的應用。。。光譜共焦位移傳感器是一種高精度非接觸位移測量傳感器。河北光譜共焦位移傳感器安裝操作注意事項本實施例中的光譜共焦位移傳感探頭還包括有提示組件，光源耦合器作為單獨結構與探頭殼體分開設置。提示組件包括在光源...

機殼設置有兩層，聚焦透鏡組位于所述機殼的上層，感光元件位于機殼的下層，所述聚焦透鏡組與所述感光元件的光路之間設置有用于轉變光線傳播方向的光線轉向鏡組，光線轉向鏡組包括有上反光鏡，設置在上反光鏡下方位置的下反光鏡，光線轉向鏡組用于使上層的聚焦透鏡組射出的光線聚焦到下層的感光元件上。這樣，通過光線轉向鏡組使光線實現掉頭轉向，從而充分利用上下空間，使原有的水平光路變換為上下光路，使光譜儀的長度變短，有利于光譜儀小型化和便攜化。它使用光譜共焦技術來測量物體的微小位移，能夠達到亞微米級的高精度。青浦區光譜共焦位移傳感器源頭直供廠家多個光入射口可以沿著與線傳感器的線方向相對應的預定方向設置。因此,可以容易...