為使本實用新型的目的、技術方案及優點更加清楚、明確，以下參照附圖并舉實施例對本實用新型進一步詳細說明。應當理解，此處所描述的具體實施例only用以解釋本實用新型，并不用于限定本實用新型。本實用新型提出一種光譜共焦位移傳感器，包括光源耦合器1000，所述光源耦合器1000包括有用于產生多色光的多色光光源1100；多色光光源1100可使用激光熒光系統，也可使用LED燈發光照射熒光粉產生白光，還可以是LED燈直接產生白光，光源耦合器1000產生的光能可以適當調節，同時通過反饋控制實現光源耦合器1000產生持續的、亮度恒定不變的多色光，從而使光能量和測量更加穩定；光源耦合部分設置有帶通濾光片1200,讓有效的多色光通過,對無效的紅外光和熱量進行過濾,避免進入其他部件而造成熱變形，因此，對整體系統的性能有改善作用。該傳感器可用于微納制造、生物醫學和半導體制造等領域的精密測量。常州光譜共焦位移傳感器定做
白色光中所包括的多個可見光束彼此分離,并且從殼體部向著待測物體的測量點射出。應當注意,在圖中,RGB這三個顏色的光表示由物鏡分離的多個可見光束。當然,還射出其它顏色(其它波長)的光。 圖1所示的波長和聚焦位置P,表示多個可見光束中的具有shortest波長的可見光的波長和聚焦位置,并且例如與藍色光B相對應。波長入和聚焦位置P表示多個可見光數中的具有longest波長的可見光的波長和聚焦位置,并且例如與紅色光R相對應。波長和聚焦位置P表示多個可見光束中的任意可見光的波長和聚焦位置,并且在圖中例示出綠色光G(k=1~n).常州光譜共焦位移傳感器定做光譜共焦位移傳感器可以實現對材料的變形過程進行實時監測，對于研究材料的力學行為具有重要意義。
當光線射到半透半反膜上時，一部分光線進行透射到下三棱鏡上，一部分光線進行反射，反射到背向所述反光鏡的一面，在上三棱鏡背向所述反光鏡的一面上進行涂黑處理從而成為啞光面，當光被半透半反光學鏡反射到啞光面上時，被啞光面吸收，因此可以減少整個系統的雜散光，提高信噪比。由于半透半反膜的厚度很小，因此射到下三棱鏡上的折射光線的偏移量小，因此可認為，多色光從下三棱鏡射出時，基本不發生位置偏移，從下三棱鏡上射出的光線的光軸與從入射光線的出光端射出的光軸重合。這樣實現所有多色光的波長共光軸，而且不發生光軸偏移，有利于后續對多色光進行色散和聚焦。
根據權利要求1所述的光譜共焦傳感器,其中所述線傳感器是在使用預定基準軸作為基準的情況下布置的,以及所述光學系統是在使用所述預定基準軸作為基準的情況下配置的,并且所述光學系統包括所述多個測量光束入射的多個光入射口,其中所述多個光入射口在使用所述預定基準軸作為基準的情況下設置在不同位置處。根據權利要求2所述的光譜共焦傳感器,其中，所述預定基準軸與在使所述測量光從所述分光器的虛擬光入射口入射至所述光學系統的情況下的光軸相對應。光譜共焦位移傳感器是一種高精度、高分辨率的位移測量技術，具有廣泛的應用前景。
機殼設置有兩層，聚焦透鏡組位于所述機殼的上層，感光元件位于機殼的下層，所述聚焦透鏡組與所述感光元件的光路之間設置有用于轉變光線傳播方向的光線轉向鏡組，光線轉向鏡組包括有上反光鏡，設置在上反光鏡下方位置的下反光鏡，光線轉向鏡組用于使上層的聚焦透鏡組射出的光線聚焦到下層的感光元件上。這樣，通過光線轉向鏡組使光線實現掉頭轉向，從而充分利用上下空間，使原有的水平光路變換為上下光路，使光譜儀的長度變短，有利于光譜儀小型化和便攜化。該傳感器可以用于微納加工、生物醫學、半導體制造等領域的精密測量。長春優勢光譜共焦位移傳感器
該傳感器可以與其他測量設備相結合，實現多參數的綜合測量。常州光譜共焦位移傳感器定做
光譜儀將波長、被測物體的位移和光譜波峰位置三者建立對應關系后進行分析，通過光譜波峰位置反推出被測物體的位移，實現通過光譜共焦的原理測量位移的過程。應當理解的是，本實用新型的應用不限于上述的舉例，對本領域普通技術人員來說，可以根據上述說明加以改進或變換，所有這些改進和變換都應屬于本實用新型所附權利要求的保護范圍。一條連接結構，實現便于裝配的同時，對入射光纖，接收光纖，多個導光光纖進行保護。創視智能嗯常州光譜共焦位移傳感器定做