被測物體表面反射的反射光通過探頭接收并由接收光纖選擇性的傳輸到光譜儀,光譜儀對反射光進行聚焦并通過設置在光譜儀中的感光元件對反射光進行量化處理,量化后的光波在光譜儀上產生一個光譜波峰,光譜曲線的峰值位置與聚焦于被測物體表面的波長產生對應關系;光譜儀將波長、被測物體的位移和光譜波峰位置三者建立對應關系后進行分析,通過光譜波峰反推出被測物體的位移,實現利用光譜共焦原理測量位移的過程;因此本方案中的光譜共焦位移傳感器通過光譜共焦工作原理,避免使用激光直接照射到物體表面而呈現顆粒狀的散斑,克服不易確定像點的質心位置的缺陷。光譜共焦技術可以消除光學像差和色差的影響,提高測量精度。新品光譜共焦位移傳感器定...
如圖1至圖3所示,為本實用新型光譜共焦位移傳感器系統,傳感器系統由鹵素燈光源1、Y型光纖2、光譜共焦透鏡組3、共焦小孔6和光譜儀5組成,鹵素燈光源1連接Y型光纖2,鹵素燈光源1的光譜波段范圍為360nm~2500nm,光譜儀5通過共焦小孔6連接Y型光纖2-端,型光纖2另一端連接光譜共焦透鏡組3,光譜共焦透鏡組3包括盒蓋、盒體7、兩個雙凸球面鏡9、套筒12和一個彎月透鏡11,盒體7內設置有光路通道8、限位槽13和透光孔10,光路通道8位于限位槽13和透光孔10之間,光路通道8上從左往右依次設置有兩個相互平行的一號卡槽和一個第二卡槽,兩個雙凸球面鏡9分別限位在兩個一號卡槽內,兩個雙凸球面鏡9的凸面...
此外,物鏡使在聚焦位置P處被測量點所反射的可見光會聚到光纖處。具體地,殼體部的后端的連接口設置在聚焦于測量點上且被測量點反射的可見光由物鏡會聚至的共焦位置處。通過使光纖連接至連接口,可以選擇性地射出多個可見光束中的在聚焦位置P處被測量點反射的可見光作為測量光)。在圖1中,在物鏡和連接口之間示出了被待測物體0反射的RGB這三個顏色的光。在圖1所示的示例中,在聚焦位置處存在測量點。因此,使被測量點反射的綠色光G會聚到光纖處。結果,綠色光G的反射光作為測量光經由光纖射出。這樣射出的測量光的波長和光軸上的測量點的位置處于一對一關系。傳感器的測量范圍受到光譜共焦顯微鏡成像范圍的限制。常用光譜共焦位移傳感...
這樣,通過棱鏡組對接收光纖的出光端發出的多色光進行色散,色散后的光通過聚焦透鏡組進行聚焦,使焦點位于感光元件上,通過感光元件與控制電路電性連接,從而實現電信號輸出,即對反射光進行量化處理,量化后的光波在光譜儀上產生一個光譜波峰,光譜曲線的峰值位置與聚焦于被測物體表面的波長產生對應關系;光譜儀將波長、被測物體的位移和光譜波峰位置三者建立對應關系后進行分析,通過波光譜波峰位置反推出被測物體的位移,實現使用光譜共焦原理測量位移的過程。本實施例采用棱鏡組進行色散,具有較小的光能量損失。光譜共焦技術可以消除光學像差和色差的影響,提高測量精度。鹽城高速光譜共焦位移傳感器1.光譜共焦位移傳感器系統,其特征在...
傳統的探頭中采用的是分光鏡,分光鏡有一定厚度,使光波產生了垂直光軸方向的橫向偏移,而波長不同,其橫向偏移不相等,導致多色光的光軸發生分離,經過色散鏡頭后的聚焦點上不在光軸上,其連線也不是一條直線,所以會產生較大的軸向像差和橫向像差而降低MTF值,使整個系統產生較大誤差,難以保證整個系統的測量精度。因此,本方案采用的半透半反光學鏡2300實現所有多色光的波長共光軸,不發生光軸偏移,即發射光線和接收光線沿光軸完全對稱,而且沒有垂直光軸方向的偏移,可以更好的消除像差,同時其結構簡單,提高機械結構的可加工性。光譜共焦位移傳感器是一種高精度非接觸式位移傳感器。長春光譜共焦位移傳感器經銷批發光譜共焦位移傳...
通過在使用測量光從虛擬光入射口入射的情況下的光軸作為基準的情況下在布置線傳感器的同時配置光學系統,可以將從多個光入射口入射的測量光分別射出至線傳感器的多個受光區域。 多個光入射口可以被設置成從 多個光入射口入射的 多個測量光束各自的光軸變得與 預定基準軸大致平行。因此,可以容易地將各測量光束射出至多個受光區域。 多個光入射口可以設置在相對于 預定基準軸相互對稱的位置處。因此,可以容易地設計分光器。 多個光入射口可以設置在相對于 虛擬光入射口相互對稱的位置處。通過將多個光入射口設置在相對于作為基準軸的起點的虛擬光入射口相互對稱的位置處,可以容易地設計分光器。該傳感器可以用于微納加工、生物醫學、半...
本實用新型公開了光譜共焦位移傳感器系統,傳感器系統由鹵素燈光源、y型光纖、光譜共焦透鏡組、共焦小孔和光譜儀組成,鹵素燈光源連接Y型光纖,光譜儀通過共焦小孔連接Y型光纖一端,Y型光纖另一端連接光譜共焦透鏡組,光譜共焦透鏡組包括盒蓋、盒體、兩個雙凸球面鏡、套筒和一個彎月透鏡,盒體內設置有光路通道、限位槽和透光孔,光路通道上從左往右依次設置有較早卡槽和第二卡槽,兩個雙凸球面鏡分別限位在兩個較早卡槽內,彎月透鏡限位在第二卡槽內。本實用新型采用價格便宜的Y型光纖和光譜共焦透鏡組,具有較強的實用性,減小傳感器探頭的體積,光源發射和接收同光路,適用于具有高深寬比、陡峭內壁表面有缺陷的玻璃間隙表面進行測量。該...
Preferencyly,在本實施例中發光件設置有2個,在保證良好提示效果的前提下,采用更少的發光件以減少發熱對探頭的影響,發光件左右對稱布置在光源耦合器中,通過卡扣和螺紋連接固定在光源耦合器中,導光光纖也設置有2個,分別通過插槽3400與發光件連接,兩個導光光纖的出光端在探頭殼體上呈左右對稱設置,發光件發出的指示光能通過導光光纖的傳導,從各個方向射出,使用者能從各個角度觀察到探頭工作情況。創視智能技術創視智能技術光譜共焦技術消除了光學像差和色差的影響,提高了測量精度。泰州光譜共焦位移傳感器制造廠家激光位移傳感器利用光學三角法原理,通過將激光發射光束投射到被測物體表面,利用漫反射效應接收反射光...
本發明提供一種光譜共焦傳感器和測量方法。該光譜共焦傳感器包括:光源部,用于射出具有不同波長的多個光束;多個光學頭,用于將從所述光源部射出的所述多個光束會聚于不同的聚焦位置處,并且射出在所述聚焦位置處被測量點反射的測量光:分光器,其包括:線傳感器,以及光學系統,其包括用于使從所述多個光學頭射出的多個測量光束發生衍射的衍射光柵,并且向所述線傳感器的不同的多個受光區域射出通過所述衍射光柵所衍射的所述多個測量光束:以及位置計算部,用于基于所述線傳感器的所述多個受光區域各自的受光位置來計算作為所述多個光學頭的測量對象的多個測量點的位置它的精度可以達到納米級別,適用于各種需要高精度位移測量的領域。南通本地...
在能夠以這種方式執行多點測量的光譜共焦傳感器中,需要能夠減少必要組件的數量的技術。有鑒于如上所述的情形,本發明旨在提供能夠利用少量的組件來執行多點測量的光譜共焦傳感器以及使用該光譜共焦傳感器的測量方法。為了實現上述目的,根據本發明實施例的光譜共焦傳感器包括光源部、多個光學頭、分光器和位置計算部。光源部射出具有不同波長的多個光束。多個光學頭將從所述光源部射出的所述多個光束會聚于不同的聚焦位置處,并且射出在所述聚焦位置處被測量點反射的測量光。光譜共焦位移傳感器可以實現對材料的變形過程進行實時監測,對于研究材料的力學行為具有重要意義。紹興光譜共焦位移傳感器歡迎選購準直鏡組與色散聚焦鏡組同軸設置,且準...
通過在使用測量光從虛擬光入射口入射的情況下的光軸作為基準的情況下在布置線傳感器的同時配置光學系統,可以將從多個光入射口入射的測量光分別射出至線傳感器的多個受光區域。 多個光入射口可以被設置成從 多個光入射口入射的 多個測量光束各自的光軸變得與 預定基準軸大致平行。因此,可以容易地將各測量光束射出至多個受光區域。 多個光入射口可以設置在相對于 預定基準軸相互對稱的位置處。因此,可以容易地設計分光器。 多個光入射口可以設置在相對于 虛擬光入射口相互對稱的位置處。通過將多個光入射口設置在相對于作為基準軸的起點的虛擬光入射口相互對稱的位置處,可以容易地設計分光器。該傳感器利用光路中的光譜信息實現對位移...
Preferencyly,在本實施例中發光件設置有2個,在保證良好提示效果的前提下,采用更少的發光件以減少發熱對探頭的影響,發光件左右對稱布置在光源耦合器中,通過卡扣和螺紋連接固定在光源耦合器中,導光光纖也設置有2個,分別通過插槽3400與發光件連接,兩個導光光纖的出光端在探頭殼體上呈左右對稱設置,發光件發出的指示光能通過導光光纖的傳導,從各個方向射出,使用者能從各個角度觀察到探頭工作情況。創視智能技術創視智能技術該傳感器可應用于微納制造、生物醫學和半導體制造等領域中的精密測量。嘉興直銷光譜共焦位移傳感器將光源耦合器與光譜共焦位移傳感探頭分開設置,設置在光源耦合器中的發光件實現發光,并通過導光...
光學頭內部的結構不受限制,并且可以適當地設計。例如,可以使用諸如孔和準直透鏡等的其它透鏡。在本實施例中,可以通過No.1光學頭和第二光學頭來測量待測物體上的兩個測量點的位置。換句話說,可以同時對作為No.1 光學頭和第二光學頭的測量對象的兩個測量點和進行多點測量。當然,本發明不限于在同一待測物體0上進行多點測量的情況,并且可以同時測量兩個不同的待測物體。將從No.1光學頭和第二光學頭射出的測量光和經由光纖和引導至控制器。射出綠色光作為測量光和。當然,本發明不限于射出同一波長光的情況,并且可以射出分別與測量點和的位置相對應的波長光。光譜共焦位移傳感器是一種高精度非接觸位移測量傳感器。廣州直銷光譜...
本實用新型公開了光譜共焦位移傳感器系統,傳感器系統由鹵素燈光源、y型光纖、光譜共焦透鏡組、共焦小孔和光譜儀組成,鹵素燈光源連接Y型光纖,光譜儀通過共焦小孔連接Y型光纖一端,Y型光纖另一端連接光譜共焦透鏡組,光譜共焦透鏡組包括盒蓋、盒體、兩個雙凸球面鏡、套筒和一個彎月透鏡,盒體內設置有光路通道、限位槽和透光孔,光路通道上從左往右依次設置有較早卡槽和第二卡槽,兩個雙凸球面鏡分別限位在兩個較早卡槽內,彎月透鏡限位在第二卡槽內。本實用新型采用價格便宜的Y型光纖和光譜共焦透鏡組,具有較強的實用性,減小傳感器探頭的體積,光源發射和接收同光路,適用于具有高深寬比、陡峭內壁表面有缺陷的玻璃間隙表面進行測量。光...
這樣,通過棱鏡組對接收光纖的出光端發出的多色光進行色散,色散后的光通過聚焦透鏡組進行聚焦,使焦點位于感光元件上,通過感光元件與控制電路電性連接,從而實現電信號輸出,即對反射光進行量化處理,量化后的光波在光譜儀上產生一個光譜波峰,光譜曲線的峰值位置與聚焦于被測物體表面的波長產生對應關系;光譜儀將波長、被測物體的位移和光譜波峰位置三者建立對應關系后進行分析,通過波光譜波峰位置反推出被測物體的位移,實現使用光譜共焦原理測量位移的過程。本實施例采用棱鏡組進行色散,具有較小的光能量損失。它可以應用于材料的力學性能測試、微納加工、光學元件的制造等多個領域。浦東新區光譜共焦位移傳感器誠信企業推薦分光器包括線...
8.根據權利要求7所述的光譜共焦位移傳感器,其特征在于,所述機殼設置有兩層,所述聚焦透鏡組位于所述機殼的上層,所述感光元件位于所述機殼的下層,所述聚焦透鏡組與所述感光元件的光路之間設置有用于轉變光線傳播方向的光線轉向鏡組,所述光線轉向鏡組包括有上反光鏡,設置在所述上反光鏡下方位置的下反光鏡,所述光線轉向鏡組用于將上層的聚焦透鏡組射出的光線聚焦到下層的感光元件上。根據權利要求1所述的光譜共焦位移傳感器,其特征在于,所述光譜共焦位移傳感探頭還設置有提示組件,所述提示組件包括有:發光件,所述發光件設置在光源耦合器中;導光光纖,所述導光光纖的一端連接在所述光源耦合器中且另一端延伸連接在探頭殼體的側壁上...
通過配置線傳感器和光學系統等以使得測量對象區域變成彼此不同的區域,可以高精度地執行多點測量。多個光學頭可以是2個光學頭或者3個光學頭。利用本技術,可以使用少量的組件來執行2個或3個點的同時測量。根據本發明的實施例的測量方法包括射出具有不同波長的多個光束。通過多個光學頭中的各光學頭,將所射出的多個光束會聚于不同的聚焦位置處,并且射出在聚焦位置處被測量點反射的測量光。使從多個光學頭射出的多個測量光束發生衍射,并且向線傳感器的不同的多個受光區域射出衍射光束。基于線傳感器的多個受光區域各自的受光位置來計算作為多個光學頭的測量對象的多個測量點各自的位置。根據本發明,可以利用少量的組件來執行多點測量。應當...
光學頭內部的結構不受限制,并且可以適當地設計。例如,可以使用諸如孔和準直透鏡等的其它透鏡。在本實施例中,可以通過No.1光學頭和第二光學頭來測量待測物體上的兩個測量點的位置。換句話說,可以同時對作為No.1 光學頭和第二光學頭的測量對象的兩個測量點和進行多點測量。當然,本發明不限于在同一待測物體0上進行多點測量的情況,并且可以同時測量兩個不同的待測物體。將從No.1光學頭和第二光學頭射出的測量光和經由光纖和引導至控制器。射出綠色光作為測量光和。當然,本發明不限于射出同一波長光的情況,并且可以射出分別與測量點和的位置相對應的波長光。該傳感器的優點包括高精度、非接觸式、不受溫度和振動等影響。溫州光...
傳統的探頭中采用的是分光鏡,分光鏡有一定厚度,使光波產生了垂直光軸方向的橫向偏移,而波長不同,其橫向偏移不相等,導致多色光的光軸發生分離,經過色散鏡頭后的聚焦點上不在光軸上,其連線也不是一條直線,所以會產生較大的軸向像差和橫向像差而降低MTF值,使整個系統產生較大誤差,難以保證整個系統的測量精度。因此,本方案采用的半透半反光學鏡2300實現所有多色光的波長共光軸,不發生光軸偏移,即發射光線和接收光線沿光軸完全對稱,而且沒有垂直光軸方向的偏移,可以更好的消除像差,同時其結構簡單,提高機械結構的可加工性。光譜共焦位移傳感器是一種高精度非接觸位移測量傳感器。鎮江銷售光譜共焦位移傳感器光譜儀將波長、被...
本實用新型解決的技術問題在于,針對現有技術的上述缺陷,提供一種光譜共焦位移傳感器,旨在通過光譜共焦工作原理,避免通過激光直接照射到物體表面而呈現顆粒狀的散斑,克服不易確定像點的質心位置的缺陷。本實用新型解決技術問題所采用的技術方案如下: 一種光譜共焦位移傳感器,包括底座,其中,還包括有:光源耦合器,所述光源耦合器用于產生多色光; 入射光纖,所述入射光纖的入光端固定連接在所述光源耦合器中并用于接收所述光源耦合器所發出的多色光;該傳感器的測量范圍受到光譜共焦顯微鏡的成像范圍限制。校驗光譜共焦位移傳感器產品原理通過配置線傳感器和光學系統等以使得測量對象區域變成彼此不同的區域,可以高精度地執行多點測量...
通過配置線傳感器和光學系統等以使得測量對象區域變成彼此不同的區域,可以高精度地執行多點測量。多個光學頭可以是2個光學頭或者3個光學頭。利用本技術,可以使用少量的組件來執行2個或3個點的同時測量。根據本發明的實施例的測量方法包括射出具有不同波長的多個光束。通過多個光學頭中的各光學頭,將所射出的多個光束會聚于不同的聚焦位置處,并且射出在聚焦位置處被測量點反射的測量光。使從多個光學頭射出的多個測量光束發生衍射,并且向線傳感器的不同的多個受光區域射出衍射光束。基于線傳感器的多個受光區域各自的受光位置來計算作為多個光學頭的測量對象的多個測量點各自的位置。根據本發明,可以利用少量的組件來執行多點測量。應當...
此外,物鏡使在聚焦位置P處被測量點所反射的可見光會聚到光纖處。具體地,殼體部的后端的連接口設置在聚焦于測量點上且被測量點反射的可見光由物鏡會聚至的共焦位置處。通過使光纖連接至連接口,可以選擇性地射出多個可見光束中的在聚焦位置P處被測量點反射的可見光作為測量光)。在圖1中,在物鏡和連接口之間示出了被待測物體0反射的RGB這三個顏色的光。在圖1所示的示例中,在聚焦位置處存在測量點。因此,使被測量點反射的綠色光G會聚到光纖處。結果,綠色光G的反射光作為測量光經由光纖射出。這樣射出的測量光的波長和光軸上的測量點的位置處于一對一關系。它可以實現對材料的微觀結構進行高精度測量,對于研究材料的微觀性質具有重...
遠距離測量:可遠離被測物體進行掃描測量。 測量效率高:不像接觸測頭那樣需要探測、返回、移動等進行逐點測量,可高速掃描測量。測量精度高:光斑可聚焦到很小,進而可探測一般機械測頭難以探測的部位。 其中,光學測量以三角測量法應用broadest。而根據三角測量法制成的三角位移傳感器通常所使用的光源為具有亮度高、探測信噪比高的激光光源,但使用激光進行三角測量時,照射到物體表面的激光會呈現顆粒狀的散斑,而且被測物體的顏色、材質和放置的角度會影響的光斑的分布,從而確定像點的質心位置變得異常困難,導致三角法測量誤差比較大,在測量光潔度高的物體表面時這些缺陷更為明顯,為了更加精細、更加穩定的測量位移,需要采用...
為使本實用新型的目的、技術方案及優點更加清楚、明確,以下參照附圖并舉實施例對本實用新型進一步詳細說明。應當理解,此處所描述的具體實施例only用以解釋本實用新型,并不用于限定本實用新型。本實用新型提出一種光譜共焦位移傳感器,包括光源耦合器1000,所述光源耦合器1000包括有用于產生多色光的多色光光源1100;多色光光源1100可使用激光熒光系統,也可使用LED燈發光照射熒光粉產生白光,還可以是LED燈直接產生白光,光源耦合器1000產生的光能可以適當調節,同時通過反饋控制實現光源耦合器1000產生持續的、亮度恒定不變的多色光,從而使光能量和測量更加穩定;光源耦合部分設置有帶通濾光片1200,...
1.光譜共焦位移傳感器系統,其特征在于:所述傳感器系統由鹵素燈光源、Y型光纖、光譜共焦透鏡組、共焦小孔和光譜儀組成,所述鹵素燈光源連接所述Y型光纖,所述光譜儀通過所述共焦小孔連接所述Y型光纖一端,所述Y型光纖另一端連接所述光譜共焦透鏡組,所述光譜共焦透鏡組包括盒蓋、盒體、兩個雙凸球面鏡、套簡和一個彎月透鏡,所述盒體內設置有光路通道、限位槽和透光孔,所述光路通道位于所述限位槽和所述透光孔之間,所述光路通道上從左往右依次設置有兩個相互平行的number one卡槽和一個第二卡槽,兩個所述雙凸球面鏡分別限位在兩個所述number one卡槽內,所述彎月透鏡限位在所述第二卡槽內,所述Y型光纖通過SMA...
光譜共焦位移傳感探頭,光譜共焦位移傳感探頭固定連接在入射光纖的出光端,光譜共焦位移傳感探頭用于對入射光纖傳導的多色光進行軸向色散后將不同波長的光分別聚焦,并對被測物體的反射光進行傳導。接收光纖,所述接收光纖的入光端固定設置在所述光譜共焦位移傳感探頭內,所述接收光纖的入光端用于選擇性的接收所述光譜共焦位移傳感探頭傳導的被測物體的反射光; 光譜儀,所述光譜儀固定連接所述接收光纖的出光端,所述光譜儀帶有感光元件并用于把被測物體的反射光進行色散聚焦到感光元件上且量化成光譜曲線。該傳感器的測量范圍受到光譜共焦顯微鏡的成像范圍限制。直銷光譜共焦位移傳感器答疑解惑激光位移傳感器的工作原理是利用激光發射光束投...
線傳感器可以是在使用預定基準軸作為基準的情況下布置的。在這種情況下,光學系統可以是在使用預定基準軸作為基準的情況下配置的,并且光學系統可以包括多個測量光束入射的多個光入射口,其中 多個光入射口在使用 預定基準軸作為基準的情況下設置在不同位置處。通過以這種方式在使用預定基準軸作為基準的情況下在布置線傳感器的同時配置光學系統,可以向線傳感器的不同受光區域射出相應的測量光。特別地,通過使用該基準軸作為基準來在不同位置處設置多個光入射口,可以容易將各測量光射出至多個受光區域。 預定基準軸可以與在使 測量光從 分光器的虛擬光入射口入射至 光學系統的情況下的光軸相對應。通過在使用測量光從虛擬光入射口入射的...
將光源耦合器與光譜共焦位移傳感探頭分開設置,設置在光源耦合器中的發光件實現發光,并通過導光光纖進行傳導光后在探頭殼體上顯示,從而實現產生熱量的發光件與探頭殼體分離,而不影響探頭殼體,從而減少發光件發光時產生的熱量對光譜共焦位移傳感探頭精度的影響,減少測量誤差,提高測量精度;通過濾光片過濾紅外線,進一步減小發熱量和傳導的熱量。將探頭殼體設置成可拆卸的上殼體和下殼體兩部分,產生的少量熱量集中在上殼體而不對下殼體上的主要光學部件產生影響,從而減少測量誤差,提高測量精度。它利用光譜共焦技術來測量物體的微小位移,具有亞微米級的高精度。高精度光譜共焦位移傳感器銷售價格本實用新型涉及光電精密測量領域,尤其涉...
光譜共焦位移傳感器是一種具有超高精度和超高穩定性的非接觸式位移傳感器。與激光三角法相比,光譜共焦具有更高的分辨率,并且由于光發射和接收同光路,不會出現激光三角法光路容易被遮擋或被測目標表面過于光滑而接收不到目標反射光的情況,對被測物體適應性強,適用于手機玻璃的檢測,凹坑、小孔的測量以及表面形貌的掃描恢復。 光譜共焦傳感器是一種基于光學色散原理的非接觸式位移傳感器,目的是建立距離與波長間的對應關系。傳統的激光三角法測量技術已經比較成熟,運用也比較widely,但由于CCD相機接收反射光范圍的限制,不能用于可以透光的透明材料和表面有凹坑缺陷玻璃的測量。光譜共焦位移傳感器由于其運用同光路的光纖,只要...
根據權利要求2所述的光譜共焦傳感器,其中,所述預定基準軸與在使所述測量光從所述分光器的虛擬光入射口入射至所述光學系統的情況下的光軸相對應。根據權利要求2或3所述的光譜共焦傳感器,其中,所述多個光入射口被設置成從所述多個光入射口入射的所述多個測量光束各自的光軸變得與所述預定基準軸大致平行。根據權利要求2至4中任一項所述的光譜共焦傳感器,其中,所述多個光入射口設置在相對于所述預定基準軸相互對稱的位置處。根據權利要求3所述的光譜共焦傳感器,其中,所述多個光入射口設置在相對于所述虛擬光入射口相互對稱的位置處。根據權利要求2至6中任一項所述的光譜共焦傳感器,其中,所述多個光入射口沿著與所述線傳感器的線方...