在激光慣性約束核聚變實(shí)驗(yàn)中,靶丸的物性參數(shù)和幾何參數(shù)對(duì)靶丸制備工藝改進(jìn)和仿真模擬核聚變實(shí)驗(yàn)過(guò)程至關(guān)重要。然而,如何對(duì)靶丸多個(gè)參數(shù)進(jìn)行同步、高精度、無(wú)損的綜合檢測(cè)是激光慣性約束核聚變實(shí)驗(yàn)中的關(guān)鍵問(wèn)題。雖然已有多種薄膜厚度及折射率的測(cè)量方法,但仍然無(wú)法滿足激光核聚...
在激光慣性約束核聚變實(shí)驗(yàn)中,靶丸的物性參數(shù)和幾何參數(shù)是靶丸制備工藝改進(jìn)和仿真模擬核聚變實(shí)驗(yàn)過(guò)程的基礎(chǔ),因此如何對(duì)靶丸多個(gè)參數(shù)進(jìn)行高精度、同步、無(wú)損的綜合檢測(cè)是激光慣性約束核聚變實(shí)驗(yàn)中的關(guān)鍵問(wèn)題。以上各種薄膜厚度及折射率的測(cè)量方法各有利弊,但針對(duì)本文實(shí)驗(yàn),仍然無(wú)...
自1986年E.Wolf證明了相關(guān)誘導(dǎo)光譜的變化以來(lái),人們開(kāi)始在理論和實(shí)驗(yàn)上進(jìn)行探討和研究。結(jié)果表明,動(dòng)態(tài)的光譜位移可以產(chǎn)生新的濾波器,可應(yīng)用于光學(xué)信號(hào)處理和加密領(lǐng)域。本文提出的基于白光干涉光譜單峰值波長(zhǎng)移動(dòng)的解調(diào)方案,可應(yīng)用于當(dāng)兩光程差非常小導(dǎo)致干涉光譜只有...
物體的表面形貌可以通過(guò)測(cè)量距離來(lái)確定,光譜共焦傳感器可以用于測(cè)量氣缸套的圓度、直徑、粗糙度和表面結(jié)構(gòu)。當(dāng)測(cè)量對(duì)象包含不同類(lèi)型的材料時(shí),盡管距離值保持不變,但反射率會(huì)突出材料之間的差異。劃痕和不平整會(huì)影響反射率并變得可見(jiàn)。系統(tǒng)會(huì)創(chuàng)建目標(biāo)及其精細(xì)結(jié)構(gòu)的精確圖像,只...
差動(dòng)共焦拉曼光譜測(cè)試方法是一種通過(guò)激光激發(fā)樣品產(chǎn)生拉曼散射信號(hào),并利用差動(dòng)共焦顯微鏡提高空間分辨率、抑制激光背景和表面散射等干擾信號(hào)的非接觸式拉曼光譜測(cè)試方法。該方法將樣品放置于差動(dòng)共焦顯微鏡中,利用兩束激光在焦平面聚焦下的共焦點(diǎn)對(duì)樣品進(jìn)行局部激發(fā),產(chǎn)生拉曼散...
采用對(duì)比測(cè)試方法,首先對(duì)基于白光共焦光譜技術(shù)的靶丸外表面輪廓測(cè)量精度進(jìn)行了考核,為了便于比較,將原子力顯微鏡輪廓儀的測(cè)量數(shù)據(jù)進(jìn)行了偏移。結(jié)果得出,二者的低階輪廓整體相似,局部的輪廓信息存在一定的偏差,原因在于二者在靶丸赤道附近的精確測(cè)量圓周輪廓結(jié)果不一致;此外...
激光位移傳感器的技術(shù)發(fā)展路線始于上世紀(jì),經(jīng)過(guò)多年的研究和發(fā)展,如今已成為非接觸測(cè)量領(lǐng)域的重要手段。其主要應(yīng)用是測(cè)量被測(cè)物體的位移,具有結(jié)構(gòu)小巧、測(cè)量速度快、精度高、測(cè)量光斑小、抗干擾能力強(qiáng)和非接觸式的測(cè)量特點(diǎn),被廣泛應(yīng)用于微位移測(cè)量領(lǐng)域。在激光位移...
光纖白光干涉測(cè)量使用的是寬譜光源。在選擇光源時(shí),需要重點(diǎn)考慮光源的輸出光功率和中心波長(zhǎng)的穩(wěn)定性。由于本文所設(shè)計(jì)的解調(diào)系統(tǒng)是通過(guò)測(cè)量干涉峰值的中心波長(zhǎng)移動(dòng)來(lái)實(shí)現(xiàn)的,因此光源中心波長(zhǎng)的穩(wěn)定性對(duì)實(shí)驗(yàn)結(jié)果會(huì)產(chǎn)生很大的影響。實(shí)驗(yàn)中我們選擇使用由INPHENIX公司生產(chǎn)的...
線性色散設(shè)計(jì)的光譜共焦測(cè)量技術(shù)是一種利用光譜信息進(jìn)行空間分辨的光學(xué)技術(shù)。該技術(shù)利用傳統(tǒng)共焦顯微鏡中的探測(cè)光路,再加入一個(gè)光柵分光鏡或干涉儀等光譜儀器,實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品的空間和光譜信息的同時(shí)采集和處理。該技術(shù)的主要特點(diǎn)在于,采用具有線性色散特性的透鏡組合,將樣品掃描后...
采用激光三角法測(cè)量易拉罐罐蓋開(kāi)啟口壓痕的殘余厚度時(shí),要求不僅能測(cè)量生產(chǎn)線上易拉罐罐蓋開(kāi)啟口刻痕的殘余厚度,而且還要對(duì)易拉蓋模具的磨損情況進(jìn)行評(píng)估。此時(shí),激光三角法的測(cè)量精度除了會(huì)受到散斑的影響外,還會(huì)受到精細(xì)結(jié)構(gòu)對(duì)測(cè)量精度的影響。激光三角法測(cè)量的重要假定是發(fā)射...
光譜共焦位移傳感器是一種用于測(cè)量物體表面形貌的高精度傳感器。在手機(jī)制造過(guò)程中,段差是一個(gè)重要的參數(shù),它決定了手機(jī)鏡頭的質(zhì)量和性能。因此,測(cè)量手機(jī)段差的具體方法是手機(jī)制造過(guò)程中的關(guān)鍵步驟之一。光譜共焦位移傳感器測(cè)量手機(jī)段差的具體方法可以分為以下幾個(gè)步驟。首先,需...
根據(jù)對(duì)光譜共焦位移傳感器原理的理解和分析,可以得出理想的鏡頭應(yīng)具備以下性能:首先,產(chǎn)生較大的軸向色差,通常需要對(duì)鏡頭進(jìn)行消色差措施,而該傳感器需要利用色差進(jìn)行測(cè)量,需要將其擴(kuò)大化;其次,產(chǎn)生軸向色差后,焦點(diǎn)在軸上會(huì)因單色光的球差問(wèn)題而導(dǎo)致光譜曲線響應(yīng)的FWHM...
光譜共焦位移傳感器包括光源、透鏡組和控制箱等組成部分。光源發(fā)出一束白光,透鏡組將其發(fā)散成一系列波長(zhǎng)不同的單色光,通過(guò)同軸聚焦在一定范圍內(nèi)形成一個(gè)連續(xù)的焦點(diǎn)組,每個(gè)焦點(diǎn)的單色光波長(zhǎng)對(duì)應(yīng)一個(gè)軸向位置。當(dāng)樣品位于焦點(diǎn)范圍內(nèi)時(shí),樣品表面會(huì)聚焦后的光反射回去,這些反射回...
光譜共焦位移傳感器是一種基于共焦顯微鏡和掃描式激光干涉儀的非接觸式位移傳感器。 它的工作原理是將樣品表面反射的激光束和參考激光束進(jìn)行干涉,利用干涉條紋的位移以及光譜的相關(guān)變化實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品表面形貌和性質(zhì)的高精度測(cè)量。 該傳感器可以實(shí)現(xiàn)微米級(jí)甚至亞微米級(jí)的位移測(cè)量精...
高精度光譜共焦位移傳感器具有非常高的測(cè)量精度。它能夠?qū)崿F(xiàn)納米級(jí)的位移測(cè)量,對(duì)于晶圓表面微小變化的檢測(cè)具有極大的優(yōu)勢(shì)。在半導(dǎo)體行業(yè)中,晶圓的表面質(zhì)量對(duì)于芯片的制造具有至關(guān)重要的影響,因此需要一種能夠jing'q精確測(cè)量晶圓表面位移的傳感器來(lái)保證芯片的質(zhì)量。其次,...
激光三角法測(cè)量原理可有效應(yīng)用于三維曲面的非接觸精密測(cè)量,測(cè)量數(shù)據(jù)的統(tǒng)計(jì)處理結(jié)果直接關(guān)系到測(cè)量精度的提高,同時(shí)也與測(cè)量系統(tǒng)結(jié)構(gòu)、被測(cè)物體特性及環(huán)境條件等因素有關(guān)。從激光三角法的測(cè)量機(jī)理出發(fā),針對(duì)易拉罐罐蓋開(kāi)啟口壓痕殘余厚度測(cè)量中影響測(cè)量的關(guān)鍵問(wèn)題進(jìn)行分析和研...
三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)是加工現(xiàn)場(chǎng)常用的高精度產(chǎn)品尺寸及形位公差檢測(cè)設(shè)備,其具有通用性強(qiáng),精確可靠等優(yōu)點(diǎn)。本文面向一種特殊材料異型結(jié)構(gòu)零件內(nèi)曲面的表面粗糙度測(cè)量要求,提出一種基于高精度光譜共焦位移傳感技術(shù)的表面粗糙度在線測(cè)量的方法,利用工業(yè)現(xiàn)場(chǎng)常用的三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)平臺(tái)執(zhí)行輪...
在電化學(xué)領(lǐng)域,電極片的厚度是一個(gè)重要的參數(shù),直接影響著電化學(xué)反應(yīng)的效率和穩(wěn)定性,我們將介紹光譜共焦位移傳感器對(duì)射測(cè)量電極片厚度的具體方法。首先,我們需要準(zhǔn)備一塊待測(cè)電極片和光譜共焦位移傳感器。將電極片放置在測(cè)量平臺(tái)上,并調(diào)整傳感器的位置,使其與電極片表面保持垂...
干涉測(cè)量法是一種基于光的干涉原理實(shí)現(xiàn)對(duì)薄膜厚度測(cè)量的光學(xué)方法,是一種高精度的測(cè)量技術(shù),其采用光學(xué)干涉原理的測(cè)量系統(tǒng)具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、成本低廉、穩(wěn)定性高、抗干擾能力強(qiáng)、使用范圍廣等優(yōu)點(diǎn)。對(duì)于大多數(shù)干涉測(cè)量任務(wù),都是通過(guò)分析薄膜表面和基底表面之間產(chǎn)生的干涉條紋的形狀和...
共焦位移傳感器是利用共焦原理和軸向色像差現(xiàn)象對(duì)測(cè)量對(duì)象的位移進(jìn)行測(cè)量的光學(xué)測(cè)量裝置,共焦原理是指將從形成光源的像的成像面上接收到的光以縮小光圈的方式形成為反射光,軸向色像差現(xiàn)象是在光源的像中發(fā)生光軸方向上的顏色漂移的現(xiàn)象。共焦位移傳感器由作為點(diǎn)光源的使從光源出...
該文主要研究了以半導(dǎo)體鍺和貴金屬金兩種材料為對(duì)象,實(shí)現(xiàn)納米級(jí)薄膜厚度準(zhǔn)確測(cè)量的可行性,主要涉及三種方法,分別是白光干涉法、表面等離子體共振法和外差干涉法。由于不同材料薄膜的特性不同,所適用的測(cè)量方法也不同。對(duì)于折射率高,在通信波段(1550nm附近)不透明的半...
光譜共焦傳感器結(jié)合了高精度和高速度的現(xiàn)代技術(shù),在工業(yè) 4.0 的高要求下,這些多功能距離和位移傳感器非常適合使用。在工業(yè) 4.0 的世界中,傳感器必須進(jìn)行高速測(cè)量并提供高精度結(jié)果,以確保可靠的質(zhì)量保證。由于光學(xué)測(cè)量技術(shù)是非接觸式的,它們?cè)谏a(chǎn)和檢測(cè)過(guò)程中變得越...
光譜共焦測(cè)量原理通過(guò)使用多透鏡光學(xué)系統(tǒng)將多色白光聚焦到目標(biāo)表面來(lái)工作。透鏡的排列方式是通過(guò)控制色差(像差)將白光分散成單色光。工廠校準(zhǔn)為每個(gè)波長(zhǎng)分配了一定的偏差(特定距離)。只有精確聚焦在目標(biāo)表面或材料上的波長(zhǎng)才能用于測(cè)量。從目標(biāo)表面反射的這種光通過(guò)共焦孔徑到...
自上世紀(jì)60年代開(kāi)始,西方的工業(yè)生產(chǎn)線廣泛應(yīng)用基于X及β射線、近紅外光源開(kāi)發(fā)的在線薄膜測(cè)厚系統(tǒng)。隨著質(zhì)檢需求的不斷增長(zhǎng),20世紀(jì)70年代后,電渦流、超聲波、電磁電容、晶體振蕩等多種膜厚測(cè)量技術(shù)相繼問(wèn)世。90年代中期,隨著離子輔助、離子束濺射、磁控濺射、凝膠溶膠...
光譜共焦傳感器結(jié)合了高精度和高速度的現(xiàn)代技術(shù),在工業(yè) 4.0 的高要求下,這些多功能距離和位移傳感器非常適合使用。在工業(yè) 4.0 的世界中,傳感器必須進(jìn)行高速測(cè)量并提供高精度結(jié)果,以確保可靠的質(zhì)量保證。由于光學(xué)測(cè)量技術(shù)是非接觸式的,它們?cè)谏a(chǎn)和檢測(cè)過(guò)程中變得越...
在容器玻璃生產(chǎn)過(guò)程中,圓度和壁厚是重要的質(zhì)量特征,需要進(jìn)行檢查。任何有缺陷的容器都會(huì)被判定為不合格產(chǎn)品并返回到玻璃熔體中。為了實(shí)現(xiàn)快速的非接觸式測(cè)量,并確保不損壞瓶子,需要高處理速度。對(duì)于這種測(cè)量任務(wù),光譜共焦傳感器是一種合適的選擇。該系統(tǒng)在兩個(gè)點(diǎn)上同步測(cè)量并...
為了提高靶丸內(nèi)爆壓縮效率,需要確保靶丸所有幾何參數(shù)和物性參數(shù)都符合理想的球?qū)ΨQ(chēng)狀態(tài),因此需要對(duì)靶丸殼層厚度分布進(jìn)行精密檢測(cè)。常用的測(cè)量手法有X射線顯微輻照法、激光差動(dòng)共焦法和白光干涉法等。白光干涉法是以白光作為光源,分成入射到參考鏡和待測(cè)樣品的兩束光,在計(jì)算機(jī)...
光譜共焦傳感器是專(zhuān)為需要高精度測(cè)量任務(wù)而設(shè)計(jì)的,通常應(yīng)用于研發(fā)任務(wù)、實(shí)驗(yàn)室和醫(yī)療、半導(dǎo)體制造、玻璃生產(chǎn)和塑料加工。除了對(duì)高反射、有光澤的金屬部件進(jìn)行距離測(cè)量以外,這些傳感器還可用于測(cè)量深色、漫反射材料、以及透明薄膜、板或?qū)拥膯蚊婧穸葴y(cè)量。傳感器還受益于較大的間...
道路是交通運(yùn)輸?shù)闹匾M成部分,其平整度和幾何形狀對(duì)行車(chē)安全、行車(chē)舒適性、車(chē)輛燃油經(jīng)濟(jì)性等方面都有著重要影響。為了確保道路的安全和舒適,需要對(duì)道路的平整度和幾何形狀進(jìn)行定期檢測(cè)和維護(hù)。而激光位移傳感器在道路檢測(cè)領(lǐng)域中的應(yīng)用,為道路的檢測(cè)和維護(hù)提供了更加準(zhǔn)確和高效...
實(shí)際中,光譜共焦位移傳感器可用于許多方面。它采用獨(dú)特的光譜共焦測(cè)量原理,利用單探頭可以實(shí)現(xiàn)對(duì)玻璃等透明材料的單向精確厚度測(cè)量,可有效監(jiān)控藥劑盤(pán)和鋁塑泡罩包裝的填充量,實(shí)現(xiàn)納米級(jí)分辨率的精確表面掃描。該傳感器可以單向測(cè)量試劑瓶的壁厚,并且對(duì)瓶壁沒(méi)有壓力,通過(guò)設(shè)計(jì)...