光譜共焦傳感器結合了高精度和高速度的現代技術，在工業 4.0 的高要求下，這些多功能距離和位移傳感器非常適合使用。在工業 4.0 的世界中，傳感器必須進行高速測量并提供高精度結果，以確保可靠的質量保證。由于光學測量技術是非接觸式的，它們在生產和檢測過程中變得越...

實際中，光譜共焦位移傳感器可用于許多方面。它采用獨特的光譜共焦測量原理，利用單探頭可以實現對玻璃等透明材料的單向精確厚度測量，可有效監控藥劑盤和鋁塑泡罩包裝的填充量，實現納米級分辨率的精確表面掃描。該傳感器可以單向測量試劑瓶的壁厚，并且對瓶壁沒有壓力，通過設計...

物體的表面形貌可以通過測量距離來確定，光譜共焦傳感器可以用于測量氣缸套的圓度、直徑、粗糙度和表面結構。當測量對象包含不同類型的材料時，盡管距離值保持不變，但反射率會突出材料之間的差異。劃痕和不平整會影響反射率并變得可見。系統會創建目標及其精細結構的精確圖像，只...

在激光慣性約束核聚變實驗中，靶丸的物性參數和幾何參數是靶丸制備工藝改進和仿真模擬核聚變實驗過程的基礎，因此如何對靶丸多個參數進行高精度、同步、無損的綜合檢測是激光慣性約束核聚變實驗中的關鍵問題。以上各種薄膜厚度及折射率的測量方法各有利弊，但針對本文實驗，仍然無...

白光干涉時域解調方案通過機械掃描部件驅動干涉儀的反射鏡移動，補償光程差，實現對信號的解調。該系統的基本結構如圖2-1所示。光纖白光干涉儀的兩個輸出臂分別作為參考臂和測量臂，用于將待測的物理量轉換為干涉儀兩臂的光程差變化。測量臂因待測物理量的變化而增加未知光...

在初始相位為零的情況下，當被測光與參考光之間的光程差為零時，光強度將達到最大值。為了探測兩個光束之間的零光程差位置，需要使用精密Z向運動臺帶動干涉鏡頭作垂直掃描運動，或移動載物臺。在垂直掃描過程中，可以用探測器記錄下干涉光強，得到白光干涉信號強度與Z向掃描位置...

光譜共焦傳感器是一種新型高精度傳感器，其測量精度可達到0.02%。相比于光柵尺、容柵、電感式變壓器偏移傳感器等傳感器，它在偏移測量方面具有更加明顯的優勢。由于它的高精度特性，光譜共焦傳感器在幾何量高精度測量方面得到了廣泛應用，如漫反射光和平面反射面的偏移測量、...

本章介紹了基于白光反射光譜和白光垂直掃描干涉聯用的靶丸殼層折射率測量方法。該方法利用白光反射光譜測量靶丸殼層光學厚度，利用白光垂直掃描干涉技術測量光線通過靶丸殼層后的光程增量，結合起來即可得到靶丸的折射率和厚度數據。在實驗數據處理方面，為解決白光干涉光譜中波峰...

薄膜在現代光學、電子、醫療、能源和建材等技術領域得到廣泛應用，可以提高器件性能。但是由于薄膜制備工藝和生產環境等因素的影響，成品薄膜存在厚度分布不均和表面粗糙度大等問題，導致其光學和物理性能無法達到設計要求，嚴重影響其性能和應用。因此，需要開發出精度高、體積小...

目前，應用的顯微干涉方式主要有Mirau顯微干涉和Michelson顯微干涉兩張方式。在Mirau型顯微干涉結構，在該結構中物鏡和被測樣品之間有兩塊平板，一個是涂覆有高反射膜的平板作為參考鏡，另一塊涂覆半透半反射膜的平板作為分光棱鏡，由于參考鏡位于物鏡和被測樣...

激光三角法測量原理可有效應用于三維曲面的非接觸精密測量，測量數據的統計處理結果直接關系到測量精度的提高，同時也與測量系統結構、被測物體特性及環境條件等因素有關。從激光三角法的測量機理出發，針對易拉罐罐蓋開啟口壓痕殘余厚度測量中影響測量的關鍵問題進行分析和研...

激光位移傳感器具有結構小巧、測量速度快、精度高、測量光斑小、抗干擾能力強和非接觸式的測量特點，因此在微位移測量領域得到廣泛應用。其測量原理是利用激光單色和準直特性，將垂直入射測距面上的激光點通過光學系統將其縮小的實像成像在接收光敏面上。激光位移傳感器由激光發射...

白光干涉在零光程差處，出現零級干涉條紋（在零級處，各波長光的干涉亮條紋都重合，因而零級條紋呈白色），隨著光程差的增加，光源譜寬范圍內的每條譜線各自形成的干涉條紋之間互有偏移，疊加的整體效果使條紋對比度下降。測量精度高，可以實現測量,采用白光干涉原理的測量系統的...

在半導體行業中，激光位移傳感器是一種非常重要的工具。半導體芯片是現代電子設備中基礎的組成部分，因此制造高質量的半導體芯片對于電子工業來說至關重要。然而，由于半導體芯片尺寸非常小，其制造和生產過程需要高度精確的控制和測量。激光位移傳感器被廣泛應用于半導體芯片的生...

在半導體行業中，激光位移傳感器是一種非常重要的工具。半導體芯片是現代電子設備中基礎的組成部分，因此制造高質量的半導體芯片對于電子工業來說至關重要。然而，由于半導體芯片尺寸非常小，其制造和生產過程需要高度精確的控制和測量。激光位移傳感器被廣泛應用于半導體芯片的生...

白光干涉光譜分析是目前白光干涉測量的一個重要方向。此項技術通過使用光譜儀將對條紋的測量轉變為對不同波長光譜的測量，分析被測物體的光譜特性，得到相應的長度信息和形貌信息。與白光掃描干涉術相比，它不需要大量的掃描過程，因此提高了測量效率，并減小了環境對其影響。此項...

Michelson干涉物鏡，準直透鏡將白光縮束準直后垂直照射到待測晶圓上，反射光之間相互發生干涉，經準直鏡后干涉光強進入光纖耦合單元，完成干涉部分。光纖傳輸的干涉信號進入光譜儀，計算機定時從光譜儀中采集光譜信號，獲取諸如光強、反射率等信息，計算機對這些信息進行...

基于白光干涉光譜單峰值波長移動的鍺膜厚度測量方案研究：在對比研究目前常用的白光干涉測量方案的基礎上，我們發現當兩干涉光束的光程差非常小導致其干涉光譜只有一個干涉峰時，常用的基于兩相鄰干涉峰間距的解調方案不再適用。為此，我們提出了適用于極小光程差并基于干涉光譜...

激光位移傳感器利用光學三角法原理，通過將激光發射光束投射到被測物體表面，利用漫反射效應接收反射光并將光信號轉換為電信號輸出，從而獲取被測物體空間位置信息。隨著現代技術的發展，激光位移傳感器已成為非接觸測量領域的重要手段，并可以通過與計算機及應用軟件配合實現測量...

激光位移傳感器在管道測量等行業應用方面具有普遍的用途。在管道測量中，激光位移傳感器可用于非接觸式測量管道的內徑、壁厚、長度等參數，從而實現對管道質量的檢測和控制。傳感器的工作原理是利用光學三角法原理，通過將激光發射光束投射到被測物體表面，接收反射光并將光信號轉...

光譜共焦位移傳感器是一種可用于測量工件形貌的高精度傳感器。它利用光學原理和共焦技術，對工件表面形貌進行非接觸式測量，具有測量速度快、精度高、適用范圍廣d的優點。本文將介紹光譜共焦位移傳感器測量工件形貌的具體方法。首先，光譜共焦位移傳感器需要在測量前進行校準。校...

隨著環保意識的不斷提高，新能源行業的發展正越來越受到人們的關注。在新能源領域中，鋰電池是一種重要的電池類型，它具有高能量密度、長壽命和低自放電率等優點，已經廣泛應用于電動汽車、電動工具、家用電器等領域。然而，鋰電池的生產過程需要高精度的測量和控制，...

客戶一直使用安裝在潔凈室的激光測量設備來檢查對齊情況，每個組件大約需要十分鐘才能完成必要的對齊檢查，耗時太久。因此，客戶要求我們開發一種特殊用途的測試和組裝機器，以減少校準檢查所需的時間。現在，我們使用機器人搬運系統將閥門、閥瓣和銷組件轉移到專門的自動裝配機中...

采用對比測試方法，首先對基于白光共焦光譜技術的靶丸外表面輪廓測量精度進行了考核，為了便于比較，將原子力顯微鏡輪廓儀的測量數據進行了偏移。結果得出，二者的低階輪廓整體相似，局部的輪廓信息存在一定的偏差，原因在于二者在靶丸赤道附近的精確測量圓周輪廓結果不一致;此外...

激光位移傳感器的測量原理：激光發射器發出一束平行光，經會聚透鏡聚焦在被測物體表面，產生漫反射光線，部分光線通過接收透鏡成像在CCD光敏面上。當被測物體沿著光束的入射方向移動時，物體表面的散射光斑相對于成像物鏡的位置發生了改變，相應地在光敏器件上的像點位置也發生...

光譜共焦位移傳感器可以嵌入2D掃描系統進行測量，提供有關負載表面形貌的2D和高度測量數據。它的創新原理使傳感器能夠直接透過透明工件的前后表面進行厚度測量，并且只需要使用一個傳感器從工件的一側進行測量。相較于三角反射原理的激光位移傳感器，因采用同軸光，所以光譜共...

在汽車領域，激光位移傳感器不僅可以用于汽車零部件的精密加工，還可以用于汽車零部件的測量。在汽車制造過程中，激光位移傳感器可以幫助制造商精確測量汽車零部件的位置和運動狀態，以確保這些零部件符合設計要求。例如，在汽車制造中，激光位移傳感器可以用于測量車...

針對微米級工業薄膜厚度測量，開發了一種基于寬光譜干涉的反射式法測量方法，并研制了適用于工業應用的小型薄膜厚度測量系統，考慮了成本、穩定性、體積等因素要求。該系統結合了薄膜干涉和光譜共聚焦原理，采用波長分辨下的薄膜反射干涉光譜模型，利用經典模態分解和非均勻傅里葉...

激光三角法測量原理可有效應用于三維曲面的非接觸精密測量，測量數據的統計處理結果直接關系到測量精度的提高，同時也與測量系統結構、被測物體特性及環境條件等因素有關。從激光三角法的測量機理出發，針對易拉罐罐蓋開啟口壓痕殘余厚度測量中影響測量的關鍵問題進行分析和研...

電子產品生產中的質量控制在PCB生產的質量控制中，傳感器的放置使其可以從上方測量PCB。一個橫移系統引導他們穿過PCB及其高度集成的組件。它們直接在生產線上檢測動態過程。對PCB進行可靠測量的另一個重要先決條件是可以測量從金屬到塑料的不同材料，采用光量自適應算...