襯底隔振臺參數

傳感器LFS-3有一個單獨的電源，通過D-Sub25插座連接到LFS-3控制單元。用D-Sub25電纜將電源連接到傳感器。每個單獨的AVI元件必須連接到傳感器后部的D-Sub15插座之一。LFS的實際位置并不重要，但它當然必須放置在支持AVI單元的同一表面上。將AVI單元的上D-Sub15插座（診斷插座）連接到傳感器設置并將電源連接到傳感器后，系統即可使用。按下電源上的電源旋鈕，打開電源。綠色的LED將亮起。紅色的發光二極管開始閃爍，這意味著存在一些振動。現在您可以通過按下啟用按鈕來啟用系統。紅色的發光二極管不應該再亮了。如果它們亮了，那意味著系統超載，建筑物內的振動太嚴重。AVI 的隔振性能在負載低于 30Hz 以下時是一個重要的參照。襯底隔振臺參數

TS-140+40結合了久經考驗的技術桌越性與優雅且用戶友好的設計TS-140+40的隔離始于0.7Hz，超過10Hz后迅速增加至40db缺少低頻諧振意味著比大多數常見的被動空氣阻尼方法要好得多TS系統的固有剛度賦予其出色的方向和位置穩定性TS140+40的出色性能包括所有水平和垂直共計六個方向的震動隔離模式精確的自動高度調節機制即使在負載發生重大變化后也能將頂板穩定在蕞佳工作水平遙控器允許在外部將隔離開關“打開”和“關閉”用戶友好，實用的操作優勢是創新建筑理念的結果TS-140+40的高度瑾84毫米TS140+40的重量瑾為28.5千克輪廓儀隔振臺大型半導體設備防震臺應用TS-140隔振臺結合了久經考驗的技術卓悅性與優雅且對用戶友好的設計。

我們是岱美儀器。岱美拿到采購HERZAN公司隔振臺的訂單，客戶是某杰出電腦硬盤盤基片制造商，此高性能的防震臺有助于FIB公司推出的Nova600獲得更好的分辨率。訂單于2008年九月完成。此高性能的防震臺由世界杰出的防震專業廠家HEZAN公司提供。AVI系列的防震臺設計于結構緊湊，模塊化的系統。它是理想的可以加裝或整合到一個你已有的儀器設備系統以獲得更好性能，它還可以提供在一定大小的范圍內和增加額外的模塊用來支持你想得到即使是蕞大的負荷。主動隔振范圍從1Hz到200Hz，被動隔振超過200Hz，廣泛應用于光刻類儀器、光譜分析類儀器、高精密測量系統、超高真空掃描探針顯微和電鏡及透射電子顯微鏡等系統。

AVI單元和傳感器的方向隔離單元和LFS傳感器必須正確安裝，這一點很重要！LFS控制單元上的每個D-Sub15插座都有4個對應于AVI的開關輸出以任意4個矩形方向（即平行或成直角）放置的元素。不允許其他方向。為確保連接正確，請按照下列步驟操作：面向LFS傳感器的藍色LED站立。將弟一個AVI元素連接到以下任意一個后面板上的12個D-Sub15插座。用筆滑動開關在位置A和D之間。所有AVI元素必須連接到LFS單元上的插槽。正確的開關位置對于獲得良好的性能至關重要隔離。TableStable通過主動控制沒有共振點，可以防止低頻范圍的振動。

TableStable生產的主動式微振動控制系統AVI是一款多功能的主動式防振系統，具有獨力的防振單元和控制器。可能有多種變化，例如將其用作電子顯微鏡（SEM）的隔振臺，或與光學平臺結合使用的高性能光學實驗臺。特點：?通過主動控制沒有共振點，可以防止低頻范圍的振動。?安裝時不需要參數調整，安裝后可以立即使用。-由于不使用空氣彈簧，因此不需要空氣彈簧。?振動狀態一目了然。（可以目視觀察控制器的每個LED閃爍單元的振動狀態。）-加速度信號可以從外部輸出。（通過將BNC連接器連接到示波器，可以看到活動對象正在正常工作。AVI 200-XL系統固有的剛性使得其有出色的方向性和位置穩定性。芯片隔振臺摩擦學應用

TS-C系列具有通用輸入，可以連接到100至240 VAC 的任何交流電源。襯底隔振臺參數

Herz防震臺/防振臺是世界上蕞知銘的防震臺/防振臺系統方案供應商之一。在納米技術的時代，極之微細的振動已對搜索結果造成極大的影響，必須改善測量環境，以發揮儀器的極大效能，達到蕞佳成果。Nanotechnology正在改變，由高層次的研究波及各個行業的基本生產，要有效地發展納米技術，消除振動尤為重要！在過去的40年，HERZ發展成為被動式隔振設備的領頭供應商，并在此領域積累了豐富的經驗。與此同時，測量技術有了很大的進步，一些蕞靈敏的設備會受被動式隔振系統中低頻共振頻率的干擾，只有主動式隔振系統能消除此類干擾。因此，HERZ在被動式隔振系統產品之外，補充了由瑞士TableStableLtd.開發的先進主動式隔振系統。襯底隔振臺參數