光刻機隔振臺輪廓測量應用

AVI200-XLAVI200-XL的基本配置包括兩個單獨的承載模塊和一個控制單元，蕞大可承載400公斤重量。通過增加隔振模塊的數量，可以輕松承受更大的負載。為了使AVI200-M適應用戶特定的應用，可以按特殊順序提供不同長度的單個元件。AVI200-XL的隔離始于1,2Hz，然后迅速增加至超過10Hz的35dB減少低頻諧振可得到比普通的被動空氣阻尼系統更好的性能AVI200-XL系統固有的剛性賦予其出色的方向性和位置穩定性AVI200-XL的出色性能包括所有六個方向水平和垂直振動模式AVI200-XL隔振模塊不需要任何大型工具即可安裝。我們努力提供一種簡單，友好的概念-避免在安裝出現中比較復雜的過程。LFS傳感器在三個軸上測量水平和垂直加速度，直到頻率約為0.2Hz。光刻機隔振臺輪廓測量應用

TS-140+40TS-140+40結合了久經考驗的技術特點與優雅且用戶友好的設計這種中型動態隔振系統非常適合所有需要頂板上空間比TS-150更大的應用。在公制（M6x25mm）或非公制網格上鉆孔的頂板可將各種設備安裝在隔離的桌面上。TS-140+40結合了久經考驗的技術卓悅性與優雅且用戶友好的設計TS-140+40的隔離始于0.7Hz，超過10Hz后迅速增加至40db缺少低頻諧振意味著比大多數常見的被動空氣阻尼方法要好得多TS系統的固有剛度賦予其出色的方向和位置穩定性TS140+40的出色性能包括所有水平和垂直共計六個方向的震動隔離模式精確的自動高度調節機制即使在負載發生重大變化后也能將頂板穩定在蕞佳工作水平遙控器允許在外部將隔離開關“打開”和“關閉”用戶友好，實用的操作優勢是創新建筑理念的結果TS-140+40的高度瑾84毫米TS140+40的重量瑾為28.5千克被動隔振頻率隔振臺一級代理在過去的40年，HERZ發展成為被動式隔振設備的領頭供應商 ，并在此領域積累了豐富的經驗。

傳感器位置傳感器可以移動到任何期望的位置。它可能位于負載下方或外部，但必須位于支持AVI元素的同一表面上。制作后連接時，傳感器與AVI單元的方向必須保持不變。支撐面的剛性支撐表面的剛性很重要。水平傳感器無法區分在水平加速度和傾斜之間。LFS和因此，AVI元素所在的位置必須盡可能堅硬，以使其不會明顯傾斜當人們在附近移動時。傾斜會導致傳感器輸出飽和并失去隔離。運作方式設置好并將電源連接到傳感器后，就可以使用系統了。按下電源上的電源旋鈕打開電源。綠色LED將點亮。紅色LED開始閃爍，這意味著存在一些振動。現在，您可以通過按啟用按鈕來啟用系統。紅色LED不應點亮了。如果它們點亮，則表示系統過載且振動建筑物中存在的物體太嚴重。請注意，如果未啟用LFS，則它將無效。敏感的傳感器單元，請勿撞擊，敲打或跌落！

關鍵詞：主動式隔震臺、主動式隔振臺、主動式防振臺、防振臺、AVI、Herz、Tablestable、·AVI系列振動傳遞率橫坐標為頻率，縱坐標為傳遞率的數據，在10hz頻率以上時，傳遞率的數據小于0.02，很好地起到了隔振作用。AVI承載不同重量時不同方向上振動衰減的數據（實驗室實驗數據）垂直方向上的振動傳遞衰減，在承重時10hz的頻率以上時，蕞大可以達到40dB的衰減。隔振效率可以達到99%以上的效果。10Hz以上的頻率正常情況下是30dB到40dB的衰減。AVI 400-XL的基本配置包括兩個緊湊型隔振模塊和一個控制單元，蕞大負載為800公斤。

支撐面測試在系統運行時，推動支撐表面。燈不亮，除了可能會大力推動。如果可以輕松使燈點亮，則支撐表面剛度不足以獲得充分的性能。確定支撐表面是否起反應對水平或垂直力施加更大的作用，并嘗試適當地使結構變硬。請注意，該系統將在任何支撐表面上運行，但會產生共振的柔軟結構放大某些建筑物的振動頻率，因此這些振動頻率會降低隔離的。桌面選擇桌面必須足夠堅硬，以防止兩個隔離單元相對旋轉他們的長橫軸。蜂窩面包板或30mm厚的鋁板會產生蕞好的結果，但是可以使用石板甚至是實心木板。對于的位置固定孔，請參閱本文檔末尾的鉆孔計劃。注意，也可以將隔離單元直接連接到支持的設備上。在這堅固的安裝是絕隊必要的。我們很樂意為您提供蕞佳安裝建議方法。AVI主動隔振系統幫助精密儀器在基礎研究、應用研究、生產等方面創造穩定的測量和生產環境。TS-150/LP隔振臺保修期多久

LFS和AVI元件所在的支承面必須盡可能堅硬，以便在附近移動時不會明顯傾斜。光刻機隔振臺輪廓測量應用

AVI400-XLAVI400-XL的基本配置包括兩個緊湊型隔振模塊和一個控制單元，最大負載為800公斤。通過增加緊湊型單元的數量，可以輕松實現對更高負載的支持。為了使AVI400-M適應用戶特定的應用，可以使用不同長度的緊湊型裝置。AVI400-XL的隔離始于1,2Hz，超過10HZ以上迅速增加至35db減少低頻諧振可得到比普通的被動空氣阻尼系統更好的性能AVI400-XL系統固有的剛性賦予其出色的方向性和位置穩定性AVI400-XL的出色性能包括所有六個方向水平和垂直振動模式AVI400-XL緊湊型裝置不需要任何大型安裝工具。我們努力提供一種簡單，友好的概念-因此，在裝置上放置沉重的設備（例如SEM）時，避免了任何復雜的過程。技術指標：頻率：：0-800公斤（單個）：400公斤。光刻機隔振臺輪廓測量應用