RU2系列光柵系統如何實現微米級振動測量？

蘇州貝格納工業設備有限公司2025-05-13

RU2高頻響版本配備100kHz采樣率，配合MEMS加速度傳感器實現振動頻譜分析。內置的FFT算法可檢測0.1μm振幅、50Hz-20kHz頻率范圍內的機械振動。診斷接口輸出速度、加速度、加加速度三階運動參數，幫助識別設備異常狀態。在精密磨床應用中，成功檢測出主軸0.8μm的偏心振動，較傳統振動傳感器靈敏100倍。數據記錄功能可存儲8小時連續振動波形，配合分析軟件實現預測性維護。振動補償模式可輸出反向控制信號，主動抑制設備共振現象。蘇州貝格納工業設備有限公司的智能診斷方案，推動設備維護進入預測時代。

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