你知道三軸絲桿機在半導(dǎo)體行業(yè)的特殊要求嗎？

南京帝鼎數(shù)控科技有限公司2025-07-30

半導(dǎo)體設(shè)備需滿足： 潔凈度：絲桿密封防塵（ISO Class 4級無塵環(huán)境）； 材料抗腐蝕：不銹鋼絲桿或表面鍍鎳處理； 微步進精度：0.1μm級光柵尺+納米驅(qū)動技術(shù)。 應(yīng)用案例：晶圓切割機中，絲桿機實現(xiàn)±0.5μm定位，良品率提升至99.7%。

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