POCl3 擴(kuò)散與其他擴(kuò)散源相比，有哪些優(yōu)勢(shì)？

賽瑞達(dá)智能電子裝備（無錫）有限公司2025-07-16

POCl3 作為擴(kuò)散源有不少優(yōu)勢(shì)。一方面，它的使用操作相對(duì)簡便，在擴(kuò)散過程中能較好地控制反應(yīng)條件。另一方面，POCl3 分解產(chǎn)生的磷原子擴(kuò)散均勻性較好，這使得制造出的半導(dǎo)體器件性能更為穩(wěn)定、一致性更高。而且，POCl3 在半導(dǎo)體和光伏領(lǐng)域的應(yīng)用歷史悠久，工藝成熟，有大量的實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)可供參考，這也降低了生產(chǎn)過程中的風(fēng)險(xiǎn)和不確定性。

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