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GBC球閥在半導(dǎo)體特氣系統(tǒng)中為什么需要采用隔膜密封結(jié)構(gòu)？

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上海大載機(jī)電有限公司2025-07-10

隔膜密封設(shè)計(jì)優(yōu)勢(shì)：1）實(shí)現(xiàn)零泄漏（＜1×10??mbar·l/s）；2）消除閥桿處的顆粒產(chǎn)生；3）避免潤(rùn)滑油污染高純氣體；4）維護(hù)時(shí)無(wú)需排空系統(tǒng)。此類(lèi)閥門(mén)需滿足SEMI F72標(biāo)準(zhǔn)，表面粗糙度Ra＜0.25μm，且經(jīng)過(guò)三次以上氬氣等離子清洗。

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上海大載機(jī)電有限公司
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簡(jiǎn)介：2012 年成立的上海大載機(jī)電，丹佛斯代理企業(yè)。品質(zhì)保真，專(zhuān)業(yè)服務(wù)，從銷(xiāo)售到銷(xiāo)服一體，未來(lái)持續(xù)創(chuàng)新。
簡(jiǎn)介： 2012 年成立的上海大載機(jī)電，丹佛斯代理企業(yè)。品質(zhì)保真，專(zhuān)業(yè)服務(wù)，從銷(xiāo)售到銷(xiāo)服一體，未來(lái)持續(xù)創(chuàng)新。
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