辰儀MEMS電容真空計是辰儀完全自主開發的,采用MEMS技術開發的電容真空計,該真空計是通過直接的壓力變化產生的電容值的變化得出真空度的一種真空測量方法,精度可達到萬分之一,且不受氣體種類的限制的優點,是高精度高穩定性真空測量的理想選擇。 辰儀MEM...
真空計是一種用于測量氣體壓力的儀器,主要應用于高真空環境中的設備和系統的研究、制造和測試。其工作原理是通過測量氣體在不同壓力下對傳感器的影響來進行壓力測量。常見的真空計包括熱導式真空計、熱陰極離子化真空計和毛細壓力計等。熱導式真空計通過測量氣體傳熱...
MEMS電容真空計是一種利用微機電系統(MEMS)技術制造的電容式真空計。以下是對MEMS電容真空計的詳細介紹: 基本原理MEMS電容真空計基于電容變化的原理來測量真空度。它包含一個彈性薄膜作為感測元件,當外界氣壓改變時,薄膜會發生形變,進而改變與上...