不同類型的真空計采用不同的物理機制進行測量,主要包括以下幾類: 利用氣體動力學效應的真空計:如皮拉尼電阻規和熱電偶規,它們利用氣體在流動過程中產生的熱效應或電效應來測量真空度。皮拉尼電阻規是利用電阻與溫度之間關系的原理工作的,由于不同氣壓下氣...
辰儀金屬電容真空計是完全對標MKS的金屬電容真空計而開發的一款金屬膜片真空計,已實現全系列部件國產化,產品測量精度接近MKS金屬電容真空計。辰儀金屬電容真空計已中芯國際等國內FAB廠上機測試,填補了MKS對國內斷供的影響。 辰儀金屬電容真空計是完全對...
金屬薄膜真空計是一種基于金屬薄膜在真空中阻力變化或熱傳導特性來測量壓力的真空計。以下是對金屬薄膜真空計的詳細介紹:一、基本原理金屬薄膜真空計利用金屬薄膜在真空中的特定物理性質來測量壓力。具體來說,有兩種主要的工作原理:阻力變化原理:當氣體分子撞擊金屬薄膜時,會...
辰儀MEMS電容真空計是辰儀完全自主開發的,采用MEMS技術開發的電容真空計,該真空計是通過直接的壓力變化產生的電容值的變化得出真空度的一種真空測量方法,精度可達到萬分之一,且不受氣體種類的限制的優點,是高精度高穩定性真空測量的理想選擇。 辰儀MEM...
關于哪款真空計應用廣的問題,并沒有一個準確的答案,因為真空計的選擇往往取決于具體的應用場景、測量范圍、精度要求以及成本等因素。然而,從多個角度綜合考慮,以下幾款真空計在不同領域中有著廣泛的應用:擴散硅壓阻真空計:應用范圍:高精度加工和測量領域,如航空航天、半導...
陶瓷薄膜真空計主要由陶瓷基片、金屬薄膜、電極、電路板和外殼等部分組成。其中,陶瓷基片是支撐薄膜和電極的基底,具有優異的機械性能和化學穩定性;金屬薄膜作為電容的感測元件,對真空度變化具有高度的敏感性;電極則與薄膜形成電容結構;電路板則負責將電容變化轉換為可讀...
結構組成 MEMS電容真空計主要由真空規管和測量電路兩部分組成。真空規管包含彈性薄膜、上下電極、支撐結構等組件。測量電路則用于對電容變化進行處理,得到真空度的值。此外,MEMS電容真空計還可能包含一些輔助組件,如溫度補償器、校準電路等,以提高測量精度...
常見的真空計類型包括:直接讀取式真空計:如U型管壓力計、壓縮式真空計等,它們直接讀取氣體壓力,其壓力響應(刻度)可通過自身幾何尺寸計算出來或由測力確定。這類真空計對所有氣體都是準確的,且與氣體種類無關。相對真空計:如熱傳導真空計、電離真空計等,它們...
真空計的現代發展技術進步: 隨著半導體和微機電系統(MEMS)技術的不斷進步,真空計的精度和穩定性得到了提升,推動了新一代高性能真空計的研發和應用。智能化:現代真空計越來越多地集成了智能化功能,能夠實時監測、分析和反饋數據,提高了用戶的操作便利性和系...
真空計按測量原理分類 靜態液位真空計測量原理:利用U型管兩端液面差來測量壓力。彈性元件真空計測量原理:利用與真空相連的容器表面受到壓力的作用而產生彈性變形來測量壓力值的大小。但直接測量這樣小的力是困難的,因此可根據低壓下與氣體壓力有關的物理量的變化來...
真空計按測量原理分類 靜態液位真空計測量原理:利用U型管兩端液面差來測量壓力。彈性元件真空計測量原理:利用與真空相連的容器表面受到壓力的作用而產生彈性變形來測量壓力值的大小。但直接測量這樣小的力是困難的,因此可根據低壓下與氣體壓力有關的物理量的變化來...
真空計可以按照測量原理、結構特點以及使用范圍等進行分類。其中,按照測量原理分類是最常見的方式。不同類型的真空計具有不同的測量范圍和精度。例如:波爾登規的測量范圍一般在100Pa至1atm。薄膜電容規的測量范圍一般橫跨4個量級,比如可能是0.01Pa至100Pa...
陶瓷薄膜真空計主要由陶瓷基片、金屬薄膜、電極、電路板和外殼等部分組成。其中,陶瓷基片是支撐薄膜和電極的基底,具有優異的機械性能和化學穩定性;金屬薄膜作為電容的感測元件,對真空度變化具有高度的敏感性;電極則與薄膜形成電容結構;電路板則負責將電容變化轉換為可讀...
皮拉尼真空計主要由感應頭和控制頭兩部分組成。感應頭多為金屬或玻璃外殼,內有感測真空壓力的燈絲或其他感溫元件。控制頭則為感應頭提供必要的電路,并負責信號放大和信號數字化的工作。 根據測量方式的不同,皮拉尼真空計可以分為定電流式和定電壓式兩種:定電流式:...
金屬薄膜真空計 性能特點高靈敏度:金屬薄膜真空計通常具有較高的靈敏度,能夠準確測量微小的壓力變化。寬測量范圍:雖然具體范圍取決于金屬薄膜的材質和厚度,但金屬薄膜真空計通常具有較寬的測量范圍,適用于從低真空到高真空的不同環境。穩定性好:在適當的維護下,...
真空計的歷史沿革1946年:,是一種***型高真空真空計。。1948年:,是典型的一類氣體組分與分壓強測量的真空計。1949年:、、,也是測量氣體組分及分壓強的一類重要的真空計。1950年:(又稱熱陰極超高真空電離真空計),解決了超高真空測量問題,...
真空計的歷史沿革1946年:,是一種***型高真空真空計。。1948年:,是典型的一類氣體組分與分壓強測量的真空計。1949年:、、,也是測量氣體組分及分壓強的一類重要的真空計。1950年:(又稱熱陰極超高真空電離真空計),解決了超高真空測量問題,...
真空計的校準是真空測量的基礎,也是研究和發展真空測量的有力工具。定期校準可以確保真空計的測量精度和穩定性。同時,正確的使用和維護也是延長真空計使用壽命和保持其性能的關鍵。綜上所述,真空計是一種精密測量真空度的關鍵儀器,在多個領域中發揮著重要作用。隨著科技的...
金屬薄膜真空計 性能特點高靈敏度:金屬薄膜真空計通常具有較高的靈敏度,能夠準確測量微小的壓力變化。寬測量范圍:雖然具體范圍取決于金屬薄膜的材質和厚度,但金屬薄膜真空計通常具有較寬的測量范圍,適用于從低真空到高真空的不同環境。穩定性好:在適當的維護下,...
真空計后續維護定期檢查:定期對真空計進行檢查和維護,確保其處于良好的工作狀態。清潔保養:定期清潔真空計的接口和氣管,保持其清潔干燥。更換密封件:如果發現密封件老化或損壞,應及時更換以確保接口的緊密性。校準儀器:定期對真空計進行校準,以確保其測量結果的準確性...
真空計,又稱為真空表或真空規管,是一種專門用于測量真空度或氣壓的精密儀器。它通過檢測真空環境中氣體的壓力變化,從而確定真空度的高低。真空計在多個領域有著廣泛的應用 在工業生產中,真空計也發揮著重要作用。以下是幾個具體的應用場景:半導體制造:在半導體制...
陶瓷薄膜真空計是一種高精度、高穩定性的真空測量儀器,它結合了陶瓷材料的優異性能和薄膜傳感技術的敏感特性。以下是對陶瓷薄膜真空計的詳細介紹: 基本原理:陶瓷薄膜真空計的工作原理基于電容變化的原理。它通常包含一個陶瓷基片,上面沉積有一層或多層金屬薄膜作為...
真空計的安裝過程需要遵循一定的步驟和注意事項,以下是真空計安裝的一般指導: 一、安裝前準備閱讀說明書:在安裝前,應認真閱讀真空計的說明書,了解真空計的基本原理、參數和性能特點。選擇安裝位置:真空計的安裝位置應遠離任何氣體泄漏源,且處于被測介質內,以確...
真空技術在生活中有著廣泛的應用,它極大地改善了我們的生活質量,提高了生產效率,隨著科技的進步和創新,真空技術的應用領域還將不斷拓展和深化,并在多個領域發揮著不可替代的作用。(1)食品保鮮與包裝真空包裝:通過去除包裝內的氧氣,減少細菌和霉菌的生長,從而有效延長食...
真空環境在制造業中的應用:在半導體制造過程中,真空鍍膜技術可以在芯片表面形成均勻、高質量的薄膜;真空吸附技術可以用于半導體制造過程中的污染物去除、光學鍍膜等領域的涂層均勻性保證。真空設備在科研中的應用:在物理學領域,高真空環境對于電子顯微鏡等精密儀...
真空計在多個領域中都發揮著重要作用,包括但不限于: 科研領域:在物理、化學、材料科學等實驗中,真空計用于測量實驗裝置內的真空度,確保實驗環境的純凈度和穩定性。 工業生產:在半導體制造、真空鍍膜、真空熱處理等工藝中,真空計用于監控生產過程中的真空...
如何選擇真空計?考慮測量范圍與精度:不同的真空計有不同的測量范圍,需要根據實際需求選擇。例如,熱陰極電離真空計適用于高真空環境(10-11 mbar),而熱阻式真空計則適用于氣壓在10-9 mbar范圍內的測量。精度是選擇真空計時需要考慮的另一個重要因素。需要...
金屬薄膜真空計是一種在多個行業中廣泛應用的真空計量儀器。其基于金屬薄膜在真空中的特定物理性質來測量壓力,具有高靈敏度、寬測量范圍、穩定性好和抗污染能力強等優點。在使用時,需要注意避免污染、進行校準和測試以及控制溫度等因素。 避免污染:使用金屬薄膜真空...
真空計是一種用于測量真空度或低于大氣壓的稀薄氣體的氣壓的儀器。以下是真空計的主要特點: 1.多種測量原理真空計有多種測量原理,如電容式、電離式、熱傳導式等。不同的測量原理具有不同的特點和適用范圍,用戶可以根據具體需求選擇合適的真空計。 2.易維...
辰儀金屬電容真空計是完全對標MKS的金屬電容真空計而開發的一款金屬膜片真空計,已實現全系列部件國產化,產品測量精度接近MKS金屬電容真空計。辰儀金屬電容真空計已中芯國際等國內FAB廠上機測試,填補了MKS對國內斷供的影響。 辰儀金屬電容真空計是完全對...