氦質譜檢漏儀是根據質譜學原理，用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規組成的質譜室和抽氣系統及電氣部分等組成。質譜室里的燈絲發射出來的電子，在室內來回地振蕩，并與室內氣體和經漏孔進人室內的氦氣相互碰撞使其電離成正離子，這些氦離子在加速電場作用下進人磁場，由于洛倫茲力作用產生偏轉，形成圓弧形軌道，改變加速電壓可使不同質量的離子通過磁場和接收縫到達接收極而被檢測。噴氦法、吸氦法是氦質譜檢漏儀在電阻爐檢漏中常用的兩種方法。氦檢儀用于調節閥的氣路管道進行檢漏。安徽模塊式氦質譜檢漏儀特點氦質譜檢漏儀應用讓我國許多設備的運轉情況得到了更好的監控，特別是在一些真空設備的質...

氦質譜檢漏儀定期保養該怎么做？1.對氦質譜檢漏儀真空系統進行保養時，由于常見氦質譜檢漏儀的真空系統部分由分子泵、前級機械泵組成，因此在常規檢測時通常由前級機械泵對被檢件預抽真空，當真空度達到規定壓力后，再進入真空系統部分；被檢件在檢測前會被要求進行清潔前處理，以防止粉塵、顆粒物等污染物進入真空系統。否則將直接污染真空系統，甚至造成真空泵損壞。因此，對被檢件的前處理以及對設備自身的保養清理十分重要。2.除了上述氦質譜檢漏儀真空系統需要保養之外，還需要進行前級真空泵的定期換油及深度保養，以及電磁閥組的超聲清洗，此外質譜模塊組件的超聲清洗以及分子泵也建議定期進行保養維護，避免因設備保養不及時導致設備...

氦檢儀的組成部分有哪些？真空系統，儀器的真空系統提供質譜正常工作所需要的真空條件，不同型號的氦檢儀其真空系統有較大的差別。真空系統一般包括：1）主泵。一般用擴散泵或渦輪分子泵。極限壓力小于5×10-1Pa，其抽速應與氣載匹配。2）前級真空泵。一般采用旋片式機械真空泵，在以分子示為主泵的系統中，也有采用薄膜泵或干泵的。抽速與主泵匹配。3）預抽真空泵。一般與前級真空泵共同一個泵，預抽真空泵一般采用旋片式機械真空泵，其抽速視被檢件大小而定，因此預抽真空泵大都由用戶自配。氦質譜檢漏儀由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規組成的質譜室和抽氣系統及電氣部分等組成。紹興無損氦質譜檢漏儀哪家好氦質譜檢漏儀在使...

氦檢儀具有性能穩定、靈敏度高的特點。靈敏度、反應時間、清零時間、工作真空度、極限真空度及儀器入口處抽速是評價氦檢儀的主要性能指標。檢測氣體使用氦氣的主要原因如下：(1)對人體和自然環境沒有毒害；(2)不能燃燒，作業安全；(3)惰性氣體，和被檢測對象不會發生化學反應；(4)分子直徑和質量小，容易穿過微小縫隙，便于檢漏；(5)通常環境下保持氣體狀態，不會堵住微漏孔；(6)真空腔體自身放出的氣體中幾乎不包含氦氣；(7)氦氣在空氣中的存在量只為5ppm，容易定點查清漏氣位置。由于氦氣比空氣輕很多，向真空腔體噴氦氣檢漏時要從上往下依次操作，否則不利于判定漏點所在。當腔體構造復雜，或漏率極小時，可針對重點...

氦檢儀現已普遍應用于半導體設備檢漏。半導體設備及材料需要檢漏原因：1、半導體設備要求高真空，比如磁控濺射臺、電子束蒸發臺、ICP、PECVD等設備。出現泄漏就會導致高真空達不到或需要大量的時間，耗時耗力；2、在高真空環境潔凈度高、水蒸氣很少。一旦出現泄漏周圍環境中的灰塵和懸浮顆粒或塵埃就會對晶元造成污染，對半導體的特性改變并破壞其性能，因此在半導體器件生產過程中必須進行氦質譜檢漏；3、一些半導體設備要用到有毒或有腐蝕性的特殊氣體，經過氦質譜檢漏后，在低漏率真空條件下，這些氣體不易外泄，設備能及時抽走未反應氣體和氣態反應產物，保障工作人員安全和大氣環境。4、芯片封裝，一旦出現泄漏，芯片就會失效。...

氦質譜檢漏儀的的故障和處理：1、內部的泄漏，當檢漏儀內部存在泄漏時，會對檢漏工作造成較大干擾，容易造成誤檢、誤判。各零部件接口處的密封部位。如放大器與質譜室、離子源與質譜室、分子泵與質譜室、標準漏孔與閥門組件、真空計與閥門組件等接口間的橡膠圈密封。采用噴氦法尋找漏點，更換密封件。2、本底信號不穩定，1）本底信號過高有可能是環境本底被污染，注意檢查室內是否有氦氣源在泄漏。將室內的門窗打開通風，降低環境本底。2）本底信號過高也有可能是因為質譜室被污染。檢漏儀若經常檢測含有油污、粉塵等雜質較多的被檢件時，質譜室極易被污染，需返廠進行清洗，本底信號不穩定，檢查電源電壓是否穩定，氦質譜檢漏儀應有可靠的接...

便攜式氦質譜檢漏儀的明顯優點：1、性價比高：便攜式氦質譜檢漏儀是一款實用的檢漏儀，可覆蓋廣大的應用領域，競爭性的價格及較低的使用成本，大抽速前級泵的設計，可縮短抽氣時間，提高使用效率；2、自我保護功能：在突然暴露大氣和突然斷電時具有保護功能，系統的逆擴散設計保護了質譜室的清潔、真空，且不需要液氮；3、結構靈活：可采用主機與前級泵單獨采買，前級泵可使用油封式旋片泵或渦卷式干泵，對于便攜式氦質譜檢漏儀，既可選擇帶有連接配件的主機形式，也可選擇安裝在兩輪小車上的整體形式。氦質譜檢漏儀應按照說明書的要求定期進行保養。浙江進口氦質譜檢漏儀品牌氦檢儀作為一種磁偏轉型質譜分析儀器，結構上分單級磁偏轉型和雙級...

氦質譜檢漏儀對檢漏方法的具體要求：1、檢漏靈敏度高，可以檢出很小的漏孔；2、反應時間短，可以提高工作效率；3、能定位、定量，不但能夠找出漏孔的位置，還能知道漏率的大小，以便確定是否合乎質量要求；4、能無損檢漏，不使被檢設備受到損傷和污染；5、穩定性好，即可以在足夠長時間內靈敏度穩定可靠；6、所用“示蹤氣體”在空氣中含量低，無毒，不腐蝕零件；7、檢漏范圍大，從大漏孔到小漏孔都能檢測到，以減少檢漏設備的數量和費用；8、檢漏時潔凈無油，滿足一些特殊的要求。氦質譜檢漏儀安裝時要避免安裝部位出現泄漏，可用儀器進行自身檢漏。溫州模塊式氦質譜檢漏儀使用方法提高氦質譜檢漏儀靈敏度方法：1、盡量開大節流閥。2、...

氦檢儀開機如何操作？1、將總電源轉到“前級泵”，低真空表頭指示值應從左向右逐漸上升至2~15Pa，開抽速閥，開漏孔開關，表頭示值也應能抽到原來位置，再關抽速閥。2、將總電源轉到“擴散泵”，燈亮，擴散泵開始加熱。3、等20分鐘左右，擴散泵排氣管應熱，開冷規開關，“質譜室壓強”表頭指針應從左打向右(即冷規已激發)再關冷規。4、開抽速閥，過幾分鐘后開冷規，表頭指針應從左打向右，再從右向左逐漸上升(真空示值在1×10-2Pa以下請不要長時間開冷規，可等一會兒再開)，當真空示值超過1×10-2Pa后，可啟動燈絲，燈亮，“發射電流”有指示，開、關漏孔檢查氦檢儀靈敏度(可調加速電壓使信號指示Zda)，靈敏度...

使用氦檢儀需注意哪些問題？響應時間與清理時間:正常運行的儀器響應時間與清理時間不應大于3s。氦檢儀的響應時間會影響檢漏工作的速度:檢漏時噴有在漏孔處停留的時間應為儀器響應時間的3倍,該時間再加上氦氣在真空系統中的傳遞時間,即為兩次噴氦的較小間隔時間,當然真空系統越龐大,該間隔時間也越長。根據經驗,兩次噴氦的較小間隔時間控制在30s,如果第1次噴氦后30s內氦檢儀還沒有反應,則可進行第二次噴氦。儀器的清理時間在理論上與響應時間相同,但由于儀器零件對氦的吸附和脫附作用的影響,清理時間一般要更長些。另外,噴氦量的多少也影響清理時間的長短,噴氦時噴頭移動速率合理,可以縮短儀器的清理時間,提高檢漏效率。...

氦質譜檢漏儀是根據質譜儀學原理，用氦氣作為搜索氣體制成的氣密性檢測儀器。氦質譜檢漏儀電源電壓220V頻率50HZ額定功率2000W。儀器應安裝在符合儀器使用的環境要求的場所，特別是儀器的電源插座，應符合要求，要有良好的地線，左右要留有30CM的通風間距。放置好氦質譜檢漏儀，以避免儀器有傾斜或傾倒的危險。氦質譜檢漏儀的底部有安裝孔，可以將其固定在桌子或支架上。在儀器運行前要確保真空泵中的機械泵油是否足夠，機械泵油必須用特定的針對機械泵型號的油。氦檢儀是真空檢漏技術中靈敏度較高，用得較普遍的氦檢儀器。無錫全自動氦質譜檢漏儀售后服務氦質譜檢漏儀對檢漏方法的具體要求：1、檢漏靈敏度高，可以檢出很小的漏...

在針對氦檢儀選擇和安裝真空計時，必須考慮其特性和真空測量的特性：由于真空室中存在潛在的壓力梯度，恰當選擇安裝位置。表面和密封材料呈現脫氣現象。因此真空計可指示的壓力高于真空室壓力。連接法蘭因此應該盡可能的短，且密封件數量減少到蕞小。電離真空計具有抽氣效應，因此指示的壓力低于真空室中的實際壓力。冷陰極真空計具有固有的濺射效應，這在中真空范圍內與重型氣體（如氬）一起抽空時尤為明顯。這可導致不一致和不準確的讀數。當烴類存在時，電離真空計受到有機分子分解產物的污染。如同濺射效應一樣，讀數可以干燥擾或不一致。必須選擇電離真空計的開關點，以避免因上述現象導致的污染。強磁場和電場會影響真空計的性能。尤其對于...

氦檢儀中沒有手動閥，現已采用自控閥自動調節運轉時的誤差。同時用渦輪分子泵取代了油擴散泵,以消除可能造成的油返流。計算機技術也在氦檢儀中獲得應用。運轉、控制和輸出數據均由計算機自動操作完成。典型的示波器已由陰端射線管顯像屏所代替。整個操作只須按各種按鈕自動進行。氦檢儀現在已經滲透到航空航天、新能源、電子器件、閥門、電力、核電、制冷、家電等行業。氦檢儀在未來的歲月中還將在許多的工業領域中得到新的應用。氦檢儀質量范圍很寬，不只可檢測氦氣，而且能檢測其它氣體。分子泵排氣系統取代擴散泵排氣系統，不只解決了油蒸氣對質譜室的污染問題，而且對快速啟動儀器和快速停機做出了很大貢獻。氦質譜檢漏儀是根據質譜學原理，...

在氦質譜檢漏儀,氦檢儀真空泵工作的各個階段都要考慮檢漏工作，由于冶金、原子能、電子、宇航技術的發展，要求制造不同用途的高真空、超高真空，甚至極高真空設備。這些設備中的某些設備結構復雜，內部有很多管道和傳動機構，有的體積很大，達幾十立方米，甚至數百立方米，連接管道和內部管道的總長度可達幾公里，焊縫、氦質譜檢漏儀,氦檢儀圈的總長度可達數十公里，必須投人很大力量對設備嚴格進行檢漏，所以且應該從設備開始設計時起就考慮檢漏問題。如果等到進行安裝時再考慮檢漏間題就可能給氦質譜檢漏儀,氦檢儀的檢漏工作帶來很大困難。氦質譜檢漏儀安裝時要避免安裝部位出現泄漏，可用儀器進行自身檢漏。常州智能氦質譜檢漏儀注意事項氦...

氦檢儀因具備檢測靈敏度高、反應速度快、定位定量準確等優點而被普遍應用于壓力容器、航空航天、原子能、發電廠、制冷工業等領域。氦檢儀在使用過程中，往往會因為產生的一些故障或是現象，而影響檢漏工作的正常進度，若對其置之不理還會危及氦檢儀的使用壽命。其中的有些故障或現象是使用者能夠及時解決或避免的，掌握和了解氦檢儀常見故障的維修技術，有利于檢漏工作的順利開展以及設備的保養。氦檢儀熱管檢漏：熱管需要檢漏原因：熱管內部填充特殊液體用來增強熱傳導性能，如果熱管本身存在漏點，首先會影響熱管的導熱性能；其次由于熱管都是安裝在設備內部，如果發生泄漏，里面封裝的液體就會流出，嚴重污染和影響設備的正常運轉，所以熱管生...

氦質譜檢漏儀常見的幾種檢漏法：1、負壓法檢漏，負壓法檢漏是將被檢件接到檢漏儀的檢測口，連續向可疑的漏孔噴射示蹤氣體，示蹤氣體通過漏孔進入檢漏儀并被檢測。一般電子器件的外殼、高壓開關管、氧化鋅、避雷器等都應采用這種方法檢漏。根據產品的不同，需要選擇不同尺寸的夾具或輔助工具。2、壓氦法檢漏，壓氦法檢漏是將壓有一定壓力的示蹤氣體的被檢件放入檢漏夾具中，然后連至檢漏儀將其抽空，示蹤氣體通過漏孔泄漏出來，經檢漏儀檢測總泄漏量。一般小型電子器件宜采用這種檢漏方法。氦檢儀自動校準氦峰，自動調節零點，量程自動轉換，自動數據處理，可外接打印機。無錫客制化氦質譜檢漏儀單位氦檢儀作為一種磁偏轉型質譜分析儀器，結構上...

氦檢儀的組成部分有哪些？真空系統：冷阱。分子泵型真空系統一般不加冷阱。擴散泵型真空系統的冷阱加在質譜室、檢漏口與擴散泵之間，使三者被冷阱隔離，冷阱加入液氮后便可阻止擴散泵的油蒸氣和被檢件來的水蒸氣進入質譜室，保持質譜室的清潔，并幫助擴散泵迅速獲得較高真空。檢漏閥。按在質譜室和被檢件之間的管道上。真空規。一般采用冷陰極磁控放電真室規來測量質譜室中的壓力。也有用電阻規或熱偶規測量被檢件的預抽壓力和系統的前級壓力的。標準漏孔。一般儀器內都附有標準漏孔，用它來校準儀器的較小可檢漏率和對儀器輸出指示進行定標。氦檢儀作為一種磁偏轉型質譜分析儀器，結構上分單級磁偏轉型和雙級串聯偏轉性。常州小型氦質譜檢漏儀廠...

提高氦質譜檢漏儀靈敏度方法：1、盡量開大節流閥。2、盡量減小外接泵對工件的分流或采用不分流檢漏(當工件抽上真空后，關閉工件與外接泵之間的閥門)。3、將工件用塑料袋包扎，袋內再充入氦氣，(但此法不能測出具體漏點)。4、使用液氮，全開節流閥，采用不分流檢漏，必要時可將抽速閥關小。氦質譜檢漏儀日常維護：1、定期更換燈絲，清洗冷規。2、定期更換機械泵油，適時對機械泵加油。3、如加液氮，需定期清洗冷阱。4、拆卸氦質譜檢漏儀部件后，安裝時要避免安裝處出現泄漏。5、適時對氦質譜檢漏儀可能出現的泄漏處(如放氣閥)進行清洗，排除漏點。氦質譜檢漏儀安裝時要避免安裝部位出現泄漏，可用儀器進行自身檢漏。江蘇無損氦質譜...

氦檢儀靈敏度降低應該如何維護？當發現氦檢儀的靈敏度降低，而氦檢儀的工作真空度狀態良好，放大器的各級工作電壓也符合標準要求，就基本上可以確定氦檢儀靈敏度降低的問題來源于離子源的質譜分析管受到了嚴重污染。這個時候，就需要將氦檢儀的離子源分析管道拆下來進行徹底的清洗。具體的清洗方法如下：先用細的高標號金相砂紙小心細致地擦洗分析管道的內表面及離子源各電極部件，這里不能用粗砂紙，因為粗砂紙容易損傷真空分析管道及離子源的各電極部件；然后用航空汽油和無水乙醇清洗，并用去離子水沖洗干凈；較后用烘箱或電吹風進行干燥。整個清洗過程中需要注意，分析管道上的磁鐵不能撞擊、不能受熱，否則可能導致磁鐵退磁，使氦檢儀的靈敏...

選擇氦質譜檢漏儀時主要考慮以下問題：1、儀器的功能能滿足檢漏的要求。如有些儀器沒有逆流檢漏功能，就不適合檢漏；有些儀器沒有報廢漏率的設置功能，不宜作為批量產品篩選檢漏用；流水線上要求一定的檢漏速度，此時應選擇有雙工位的檢漏儀。2、儀器的靈敏度能滿足檢漏的要求。國內外生產的不同類型的氦質譜檢漏儀的靈敏度是不一樣的，如果檢漏要求的靈敏度較高，就要認真選擇。3、被檢件如果害怕油的污染，就應選擇無油真空系統的檢漏儀。4、被檢件容積如果較大，必須選用抽泵抽速大的檢漏儀，否則就要外加預抽泵。氦質譜檢漏儀的維護方法及常見故障的處理要求是什么？嘉興全自動氦質譜檢漏儀生產廠家氦質譜檢漏儀是根據質譜儀學原理，用氦...

選擇氦檢儀時主要考慮以下問題：（1）儀器的功能能滿足檢漏的要求。如有些儀器沒有逆流檢漏功能，就不適合正壓法檢漏；有些儀器沒有報廢漏率的設置功能，不宜作為批量產品篩選檢漏用；流水線上要求一定的檢漏速度，此時應選擇有多工位的氦檢儀。（2）儀器的靈敏度能滿足檢漏的要求。國內外生產的不同類型的氦檢儀的靈敏度是不一樣的，如果檢漏要求的靈敏度較高，就要認真選擇。（3）被檢件如果害怕油的污染，就應選擇無油真空系統的氦檢儀。（4）被檢件容積如果較大，必須選用預抽泵抽速大的氦檢儀，否則就要外加預抽泵。（5）如果被檢對象不固定，體積時大時小，靈敏度要求時高時低，就要選擇功能較全、靈敏度較高、檢漏范圍寬的氦檢儀。（...

氦質譜檢漏儀在使用時需注意哪些問題？1、氦質譜檢漏儀實際的檢漏靈敏度比理論計算值低，一是由于所噴出的氦氣流是散開的，故摻有一定數量的空氣，使氦氣的濃度有所降低。二是噴出的氣流的方向不可能完全對準漏孔的方向，此外、在凹缺處所存在的空氣會使得進入漏孔的氦氣濃度降低。2、檢漏次序：從被檢件物體的上方至下方，由近處向遠離檢漏儀處逐點進行噴氦檢查。3、檢出的大漏孔要經修補后再去找小漏孔。4、當存在兩個相距很近的可疑的漏孔點時，應先把一個點蓋住，再對另一點進行噴氦。5、當噴在某一點時，如果，檢漏儀上的顯示有變化，其上升速度很慢且顯示值不穩定表示鄰近其它地方有很大漏孔。氦檢儀選擇無毒、無破壞性、質量輕的惰性...

氦質譜檢漏儀對檢漏方法的具體要求：1、檢漏靈敏度高，可以檢出很小的漏孔；2、反應時間短，可以提高工作效率；3、能定位、定量，不但能夠找出漏孔的位置，還能知道漏率的大小，以便確定是否合乎質量要求；4、能無損檢漏，不使被檢設備受到損傷和污染；5、穩定性好，即可以在足夠長時間內靈敏度穩定可靠；6、所用“示蹤氣體”在空氣中含量低，無毒，不腐蝕零件；7、檢漏范圍大，從大漏孔到小漏孔都能檢測到，以減少檢漏設備的數量和費用；8、檢漏時潔凈無油，滿足一些特殊的要求。氦質譜檢漏儀是根據被檢工件的不同它所使用的檢漏方法也是不同的。南京真空氦質譜檢漏儀供應廠家隨著汽車行業的迅猛發展，汽車空調行業對氦檢的需求越來越大...

高質量的檢漏儀可以有效提高產品質量、生產安全性，而且還可有效降低產品維護以及故障排除所需的時間和資本。但如何更高效的進行產品檢漏？檢漏過程中需要注意哪些事宜？上海睿德勵柯儀器儀表有限公司小編來帶大家學習一下如何對空調相關系統利用氦檢儀和檢漏儀等設備進行真空檢漏吧！氦檢儀檢漏儀——從制冷和空調技術到汽車制造，從半導體制造到太陽能技術，越精密的高科技產品，越需要高的氣密性，檢漏技術成為產品制造及其使用過程中不可或缺的一部分。高質量的檢漏儀不進可以有效提高產品質量、生產安全性，而且還可有效降低產品維護以及故障排除所需的時間和資本。但如何更高效的進行產品檢漏？檢漏過程中需要注意哪些事宜？上海睿德勵柯儀...

在使用氦檢儀時要如何保養？①如果儀器不是每天都使用，建議每周啟動并檢查一次，以保持儀器的高真空系統處于真空狀態，在后期使用過程中可以縮短儀器的啟動時間。②儀器部件（如離子源）拆卸后，安裝過程中應避免在安裝現場發生泄漏，儀器可用于泄漏檢測。③及時對泄漏處（如放氣閥等）進行自檢。）可能出現在儀器上，并在發現泄漏點后及時移除、清潔或緊固，以免在泄漏檢測過程中干擾泄漏檢測。④氦檢儀維護定期維護油泵。（散熱口粉塵處理及泵油的檢查和更換）⑤嚴禁在氦檢儀上，尤其是進氣口處掉落或噴灑任何異物。由于氦檢儀是一種高精度儀器，其儲存和使用環境應保持清潔衛生。只有經過培訓或合格的設備維護工程師才能使用該儀器。⑥使用時...

氦質譜檢漏儀操作注意事項：1、產品放入加壓罐中加壓時，不能直接拆除加壓罐。必須先把加壓罐里面的氣體排出才能打開。由于加壓罐中壓力比空氣中的壓力大以防造成一定的傷害因此在加壓過程中不能讓不相干的人員靠近并在加壓罐上方貼一個警告標識。2、氦氣減壓閥連接氣瓶接口處要鎖緊不能有松動情況。以防氣體沖擊帶來傷害。3、產品半檢漏時，按壓住的組件不能挪動或者強行扳開。以防氣體沖擊帶來傷害。4、在進行重氟油檢漏時，產品不能直接放進油箱中，而應把油箱中的托盤拿出，把產品放在其上在慢慢放入油中。以防止油飛濺燙傷。氦質譜檢漏技術是真空檢漏領域里不可缺少的一種技術。蘇州移動式氦質譜檢漏儀單位氦質譜檢漏儀在使用時需注意哪...

氦質譜檢漏儀靈敏度降低怎么維護？當發現檢漏儀的靈敏度降低，而檢漏儀的工作真空度狀態良好，放大器的各級工作電壓也符合標準要求，就基本上可以確定檢漏儀靈敏度降低的問題來源于離子源的質譜分析管受到了嚴重污染。這個時候，就需要將檢漏儀的離子源分析管道拆下來進行徹底的清洗。具體的清洗方法如下：先用高標號金相砂紙小心細致地擦洗分析管道的內表面及離子源各電極部件，不能用粗砂紙，因為粗砂紙容易損傷真空分析管道及離子源的各電極部件；然后用航空汽油或無水乙醇清洗，并用去離子水沖洗干凈；然后用烘箱或電吹風進行干燥。如果操作正確，經過清洗維護后的氦質譜檢漏儀的靈敏度可比清洗前提高2～3倍。噴氦法、吸氦法是氦質譜檢漏儀...