升降板滑動連接在導軌上。進一步地，為了使托臂能夠在水平方向上自由移動。泰克光電是一家專注于共晶機制造的公司。我們致力于為客戶提供高質量、高性能的共晶機設備，以滿足不同行業的需求。作為共晶機制造領域的者，泰克光電擁有先進的技術和豐富的經驗。我們的團隊由一群經驗豐富的工程師和技術組成，他們在共晶機設計、制造和維護方面擁有深厚的專業知識。泰克光電的共晶機ce-ad-bb-abe-e電子、光電子、半導體等行業。我們的設備可以用于焊接、封裝、封裝和其他共晶工藝。無論是小型電子元件還是大型半導體芯片，我們都能提供適合的共晶解決方案。以便更好地承托晶圓，托臂通過移動模塊安裝在升降板上，移動模塊與控制...

防止顯影時光刻膠圖形的脫落以及防止濕法腐蝕時產生側面腐蝕(sideetching)。光刻膠的涂敷是用轉速和旋轉時間可自由設定的甩膠機來進行的。首先、用真空吸引法將基片吸在甩膠機的吸盤上，把具有一定粘度的光刻膠滴在基片的表面，然后以設定的轉速和時間甩膠。由于離心力的作用，光刻膠在基片表面均勻地展開，多余的光刻膠被甩掉，獲得一定厚度的光刻膠膜，光刻膠的膜厚是由光刻膠的粘度和甩膠的轉速來控制。所謂光刻膠，是對光、電子束或X線等敏感，具有在顯影液中溶解性的性質，同時具有耐腐蝕性的材料。一般說來，正型膠的分辨率高，而負型膠具有感光度以及和下層的粘接性能好等特點。光刻工藝精細圖形(分辨率，清晰度)...

我們都能提供適合的共晶解決方案。到達基片的原料分子不具有表面移動的能量，立即凝結在基片的表面，所以，在具有臺階的表面上以真空蒸發法淀積薄膜時，一般，表面被覆性（覆蓋程度）是不理想的。但若可將Crambo真空抽至超高真空（<10–8torr），并且控制電流，使得欲鍍物以一顆一顆原子蒸鍍上去即成所謂分子束磊晶生長（MBE：MolecularBeamEpitaxy）。（3）濺鍍（SputteringDeposition）所謂濺射是用高速粒子（如氬離子等）撞擊固體表面，將固體表面的4004的50mm晶圓和Core2Duo的300mm晶圓原子撞擊出來，利用這一現象來形成薄膜的技術即讓等離子體中的...

PECVD等。PVD有濺射法和真空蒸發法。一般而言，PVD溫度低，沒有毒氣問題；CVD溫度高，需達到1000oC以上將氣體解離，來產生化學作用。PVD沉積到材料表面的附著力較CVD差一些，PVD適用于在光電產業，而半導體制程中的金屬導電膜大多使用PVD來沉積，而其他絕緣膜則大多數采用要求較嚴謹的CVD技術。以PVD被覆硬質薄膜具有度，耐腐蝕等特點。（2）真空蒸發法（EvaporationDeposition）采用電阻加熱或感應加熱或者電子束等加熱法將原料蒸發淀積到基片上的一種常用的成膜方法。蒸發原料的分子（或原子）的平均自由程長（10-4Pa以下，達幾十米），所以在真空中幾乎不與其他分...

本實施例給出的是一個驅動機構通過傳動機構同步驅動固定架和片盒架轉動的形式，自然也可以是固定架單獨驅動，片盒架單獨驅動的形式。但是相比，固定架單獨驅動、片盒架單獨驅動的形式，本實施例晶圓加工固定裝置結構更加簡單、且緊湊。在本實施例晶圓加工固定裝置的片盒架與固定架可以是可拆卸的轉動連接，以方便通過更換片盒架實現不同尺寸的晶圓的清洗。綜上所述，本實施例晶圓加工固定裝置的齒圈固定板和豎向桿安裝在底板上，同時由拉桿連接，構成基本框架，也即安裝座；從動輪盤安裝在豎向桿上，通過連接桿與驅動輪盤連接。泰克光電（TechOptics）是一家專注于共晶機制造的公司。我們致力于為客戶提供高質量、高性能的共晶...

移動至夾取機構的下方，并盡量貼近夾取機構和晶圓。夾取機構將晶圓放置在托臂上，能夠減少晶圓跌落摔壞的風險，使得整個晶圓搬運過程更加安全穩定。綜上，本實用新型實施例提供一種晶圓視覺檢測機的晶圓移載機構，其包括控制系統、升降裝置、承接裝置和感應裝置，承接裝置包括托臂，托臂安裝在升降裝置上，可隨升降裝置升降。在工作狀態下，晶圓視覺檢測機的夾取機構夾住晶圓。感應裝置感應晶圓的位置，并將信息反饋給控制系統，控制系統控制升降裝置帶動托臂上升或下降到晶圓所在位置的下方，盡量接近晶圓的位置。泰克光電是一家專注于共晶機制造的公司。我們致力于為客戶提供高質量、高性能的共晶機設備，以滿足不同行業的需求。作為共...

且所述片盒架能夠相對所述固定架自轉，所述固定架的旋轉軸線與所述片盒架的旋轉軸線非共線設置。進一步地，所述片盒架的數量為多個，多個所述片盒架沿所述固定架的旋轉方向間隔設置在所述固定架上。進一步地，所述固定架包括驅動輪盤、從動輪盤和連接桿，所述驅動輪盤與所述從動輪盤同軸相對設置，且，所述驅動輪盤和所述從動輪盤分別可轉動的安裝在所述安裝座上，所述連接桿固定連接在所述驅動輪盤與所述從動輪盤之間；所述片盒架轉動連接在所述驅動輪盤和所述從動輪盤之間。進一步地，所述片盒架包括同軸相對設置的限位盤和第二限位盤，所述限位盤與所述第二限位盤之間設置有多根限位桿，多根所述限位桿沿所述限位盤的周向間隔設置，多...

所述驅動輪盤設置在所述齒圈固定板背離所述豎向桿的一側，所述從動輪盤與所述豎向桿面向所述齒圈固定板的一側轉動連接；所述底板上對應所述驅動輪盤的周向邊緣設置有軸承，所述驅動輪盤的周向邊緣轉動設置在所述軸承上。進一步地，所述底板還設置有相對設置的兩個限位輪座，所述軸承和驅動輪盤設置在兩個限位輪座之間。進一步地，所述齒圈固定板連接有安裝凸軸；所述豎向桿上設置橫向安裝軸。進一步地，所述齒圈固定板與所述豎向桿的頂端之間連接有拉桿。本發明提供的晶圓加工設備，包括如上述任一項所述的晶圓加工固定裝置。本發明提供的晶圓加工固定裝置，包括安裝座、固定架和片盒架，固定架可轉動的安裝在安裝座上，片盒架可轉動的安...

隨同步帶移動而左右移動。托臂通過連接塊與同步帶固定連接，連接塊的底部固定連接在同步帶上，連接塊的頂部與托臂的底部固定連接。托臂位于固定板的頂側，以便托住晶圓。連接塊伸出于固定板的前側或后側，托臂通過連接塊與設于固定板底側的同步帶固定連接。連接塊有利于托臂與同步帶連接穩固。具體地，托臂的數量為兩個，各托臂分別固定連接在同步帶的不同輸送側上，移動電機驅動主動輪轉動，帶動從動輪和同步帶轉動，使得各托臂在固定板上做張合運動。一個托臂通過一個連接塊粘附在同步帶的前側，另一托臂通過另一連接塊連接在同步帶的后側。當同步帶轉動時，連接在不同輸送側的連接塊帶動托臂往不同方向移動，實現兩個托臂在固定板上做...

達到阻止下一步中n型雜質注入P型阱中。去除SIO2層退火處理，然后用HF去除SiO2層。干法氧化法干法氧化法生成一層SiO2層，然后LPCVD沉積一層氮化硅。此時P阱的表面因SiO2層的生長與刻蝕已低于N阱的表面水平面。這里的SiO2層和氮化硅的作用與前面一樣。接下來的步驟是為了隔離區和柵極與晶面之間的隔離層。光刻技術和離子刻蝕技術利用光刻技術和離子刻蝕技術，保留下柵隔離層上面的氮化硅層。濕法氧化生長未有氮化硅保護的SiO2層，形成PN之間的隔離區。生成SIO2薄膜熱磷酸去除氮化硅，然后用HF溶液去除柵隔離層位置的SiO2，并重新生成品質更好的SiO2薄膜,作為柵極氧化層。氧化LPCV...

生長的單晶硅棒直徑越大。而切出的晶圓片的厚度與直徑有關，雖然半導體器件的制備只在晶圓的頂部幾微米的范圍內完成，但是晶圓的厚度一般要達到1mm，才能保證足夠的機械應力支撐，因此晶圓的厚度會隨直徑的增長而增長。晶圓制造廠把這些多晶硅融解，再在融液里種入籽晶，然后將其慢慢拉出，以形成圓柱狀的單晶硅晶棒，由于硅晶棒是由一顆晶面取向確定的籽晶在熔融態的硅原料中逐漸生成，此過程稱為“長晶”。硅晶棒再經過切段，滾磨，切片，倒角，拋光，激光刻，包裝后，即成為集成電路工廠的基本原料——硅晶圓片，這就是“晶圓”。晶圓基本原料編輯晶圓硅是由石英砂所精練出來的，晶圓便是硅元素加以純化（），接著是將這些純硅制成...

泰克光電（TechOptics）是一家專注于共晶機制造的公司。我們致力于為客戶提供高質量、高性能的共晶機設備，以滿足不同行業的需求。作為共晶機制造領域的者，泰克光電擁有先進的技術和豐富的經驗。我們的團隊由一群經驗豐富的工程師和技術組成，他們在共晶機設計、制造和維護方面擁有深厚的專業知識。泰克光電的共晶機廣泛應用于電子、光電子、半導體等行業。我們的設備可以用于焊接、封裝、封裝和其他共晶工藝。無論是小型電子元件還是大型半導體芯片，我們都能提供適合的共晶解決方案。本發明涉及晶圓加工技術領域，尤其是涉及一種晶圓加工固定裝置及晶圓加工設備。背景技術：半導體元件在生產過程中極易受到微粒、金屬離子、...

B+3)透過SiO2膜注入襯底，形成P型阱離子注入法是利用電場加速雜質離子，將其注入硅襯底中的方法。離子注入法的特點是可以精密地控制擴散法難以得到的低濃度雜質分布。MOS電路制造中，器件隔離工序中防止寄生溝道用的溝道截斷，調整閥值電壓用的溝道摻雜，CMOS的阱形成及源漏區的形成，要采用離子注入法來摻雜。離子注入法通常是將欲摻入半導體中的雜質在離子源中離子化，然后將通過質量分析磁極后選定了離子進行加速，注入基片中。退火處理去除光刻膠放高溫爐中進行退火處理以消除晶圓中晶格缺陷和內應力，以恢復晶格的完整性。使植入的摻雜原子擴散到替代位置，產生電特性。去除氮化硅層用熱磷酸去除氮化硅層，摻雜磷(...

且所述太陽輪的軸線與所述驅動輪盤的旋轉軸線共線設置，所述行星架的行星輪與所述片盒架的所述限位盤的轉動軸連接，且每個行星輪至多連接一個所述限位盤的轉動軸，每個所述行星輪的軸線與其對應的所述轉動軸共線設置；所述行星架的齒圈固定設置。進一步地，所述行星架的行星輪的數量為個，所述片盒架的數量為個，所述行星輪與所述片盒架一一對應設置。進一步地。泰克光電（TechOptics）是一家專注于共晶機制造的公司。我們致力于為客戶提供高質量、高性能的共晶機設備，以滿足不同行業的需求。作為共晶機制造領域的者，泰克光電擁有先進的技術和豐富的經驗。我們的團隊由一群經驗豐富的工程師和技術組成，他們在共晶機設計、制...

中文名晶圓外文名Wafer本質硅晶片純度99作用制作硅半導體集成電路形狀圓形晶圓是制造半導體芯片的基本材料，半導體集成電路主要的原料是硅，因此對應的就是硅晶圓。硅在自然界中以硅酸鹽或二氧化硅的形式存在于巖石、砂礫中，硅晶圓的制造可以歸納為三個基本步驟：硅提煉及提純、單晶硅生長、晶圓成型。首先是硅提純，將沙石原料放入一個溫度約為2000℃，并且有碳源存在的電弧熔爐中，在高溫下，碳和沙石中的二氧化硅進行化學反應（碳與氧結合，剩下硅），得到純度約為98%的純硅，又稱作冶金級硅，這對微電子器件來說不夠純。泰克光電（TechOptics）是一家專注于共晶機制造的公司。我們致力于為客戶提供高質量、...

所述升降驅動器的輸出端與所述升降板連接，所述承接裝置包括至少一個用于承托晶圓的托臂，所述托臂安裝在所述升降板上，所述感應裝置與所述控制系統電連接，所述感應裝置安裝在所述托臂上，用于感應晶圓的位置。作為推薦方案，所述升降裝置還包括安裝板，所述安裝板安裝在晶圓視覺檢測機上，所述升降驅動器通過升降絲桿機構與所述升降板連接，所述升降絲桿機構豎直安裝在所述安裝板上，所述升降絲桿機構的輸入端與所述升降驅動器的輸出端連接，所述升降絲桿機構的輸出端與所述升降板連接。作為推薦方案，所述托臂通過移動模塊安裝在所述升降板上，所述移動模塊與所述控制系統電連接，所述移動模塊安裝在所述升降板的頂部且與所述托臂的底...

作為共晶機制造領域的者，泰克光電擁有先進的技術和豐富的經驗。我們的團隊由一群經驗豐富的工程師和技術組成，他們在共晶機設計、制造和維護方面擁有深厚的專業知識。泰克光電的共晶機ce-ad-bb-abe-e電子、光電子、半導體等行業。我們的設備可以用于焊接、封裝、封裝和其他共晶工藝。無論是小型電子元件還是大型半導體芯片，我們都能提供適合的共晶解決方案。所述移動電機驅動所述傳動組件帶動所述托臂在所述固定板上滑動。作為推薦方案，所述傳動組件包括主動輪、從動輪和同步帶，所述主動輪連接在所述移動電機的輸出端，所述從動輪可轉動地安裝在所述固定板上，所述主動輪和所述從動輪通過所述同步帶相連接，所述托臂固...

移動至夾取機構的下方，并盡量貼近夾取機構和晶圓。夾取機構將晶圓放置在托臂上，能夠減少晶圓跌落摔壞的風險，使得整個晶圓搬運過程更加安全穩定。綜上，本實用新型實施例提供一種晶圓視覺檢測機的晶圓移載機構，其包括控制系統、升降裝置、承接裝置和感應裝置，承接裝置包括托臂，托臂安裝在升降裝置上，可隨升降裝置升降。在工作狀態下，晶圓視覺檢測機的夾取機構夾住晶圓。感應裝置感應晶圓的位置，并將信息反饋給控制系統，控制系統控制升降裝置帶動托臂上升或下降到晶圓所在位置的下方，盡量接近晶圓的位置。泰克光電是一家專注于共晶機制造的公司。我們致力于為客戶提供高質量、高性能的共晶機設備，以滿足不同行業的需求。作為共...

中文名晶圓外文名Wafer本質硅晶片純度99作用制作硅半導體集成電路形狀圓形晶圓是制造半導體芯片的基本材料，半導體集成電路主要的原料是硅，因此對應的就是硅晶圓。硅在自然界中以硅酸鹽或二氧化硅的形式存在于巖石、砂礫中，硅晶圓的制造可以歸納為三個基本步驟：硅提煉及提純、單晶硅生長、晶圓成型。首先是硅提純，將沙石原料放入一個溫度約為2000℃，并且有碳源存在的電弧熔爐中，在高溫下，碳和沙石中的二氧化硅進行化學反應（碳與氧結合，剩下硅），得到純度約為98%的純硅，又稱作冶金級硅，這對微電子器件來說不夠純。泰克光電（TechOptics）是一家專注于共晶機制造的公司。我們致力于為客戶提供高質量、...

B+3)透過SiO2膜注入襯底，形成P型阱離子注入法是利用電場加速雜質離子，將其注入硅襯底中的方法。離子注入法的特點是可以精密地控制擴散法難以得到的低濃度雜質分布。MOS電路制造中，器件隔離工序中防止寄生溝道用的溝道截斷，調整閥值電壓用的溝道摻雜，CMOS的阱形成及源漏區的形成，要采用離子注入法來摻雜。離子注入法通常是將欲摻入半導體中的雜質在離子源中離子化，然后將通過質量分析磁極后選定了離子進行加速，注入基片中。退火處理去除光刻膠放高溫爐中進行退火處理以消除晶圓中晶格缺陷和內應力，以恢復晶格的完整性。使植入的摻雜原子擴散到替代位置，產生電特性。去除氮化硅層用熱磷酸去除氮化硅層，摻雜磷(...

我們致力于為客戶提供高質量、高性能的共晶機設備，以滿足不同行業的需求。作為共晶機制造領域的者，泰克光電擁有先進的技術和豐富的經驗。我們的團隊由一群經驗豐富的工程師和技術組成，他們在共晶機設計、制造和維護方面擁有深厚的專業知識。泰克光電的共晶機廣泛應用于電子、光電子、半導體等行業。我們的設備可以用于焊接、封裝、封裝和其他共晶工藝。無論是小型電子元件還是大型半導體芯片，我們都能提供適合的共晶解決方案。生長的單晶硅棒直徑越大。而切出的晶圓片的厚度與直徑有關，雖然半導體器件的制備只在晶圓的頂部幾微米的范圍內完成，但是晶圓的厚度一般要達到1mm，才能保證足夠的機械應力支撐，因此晶圓的厚度會隨直徑...

作為共晶機制造領域的者，泰克光電擁有先進的技術和豐富的經驗。我們的團隊由一群經驗豐富的工程師和技術組成，他們在共晶機設計、制造和維護方面擁有深厚的專業知識。泰克光電的共晶機ce-ad-bb-abe-e電子、光電子、半導體等行業。我們的設備可以用于焊接、封裝、封裝和其他共晶工藝。無論是小型電子元件還是大型半導體芯片，我們都能提供適合的共晶解決方案。所述移動電機驅動所述傳動組件帶動所述托臂在所述固定板上滑動。作為推薦方案，所述傳動組件包括主動輪、從動輪和同步帶，所述主動輪連接在所述移動電機的輸出端，所述從動輪可轉動地安裝在所述固定板上，所述主動輪和所述從動輪通過所述同步帶相連接，所述托臂固...

槽式清洗機以高效、可靠和批量清洗等特性被應用。隨著晶圓尺寸變大和晶圓表面的數字化圖形尺寸變小，為了保證晶圓加工的均勻性和終清洗效果，對槽式清洗機的要求越來越高。如何提高晶圓的清洗均勻性是目前一直在研究的重要課題。技術實現要素：本發明的目的在于提供一種晶圓加工固定裝置，以提高晶圓的清洗均勻性。本發明的目的還在于提供一種晶圓加工設備，以提供晶圓的清洗均勻性。本發明提供的晶圓加工固定裝置，包括安裝座、固定架和片盒架，所述固定架可轉動的安裝在所述安裝座上。泰克光電（TechOptics）是一家專注于共晶機制造的公司。我們致力于為客戶提供高質量、高性能的共晶機設備，以滿足不同行業的需求。作為共晶...

泰克光電的共晶機廣泛應用于電子、光電子、半導體等行業。我們的設備可以用于焊接、封裝、封裝和其他共晶工藝。無論是小型電子元件還是大型半導體芯片，我們都能提供適合的共晶解決方案。固定架的旋轉軸線與片盒架的旋轉軸線非共線設置，也即固定架的旋轉軸線與片盒架的自轉的旋轉軸線相交或平行，也即固定架和片盒架的旋轉軌跡是不重合的，以使固定架帶動片盒架的旋轉與片盒架的自轉能夠是兩種不同的旋轉。固定架帶動片盒架的旋轉是為了實現片盒架與清洗槽內的不同位置的清洗液接觸，由于在清洗晶圓的過程中，一般清洗槽是水平放置的，固定架推薦可繞水平的旋轉軸線轉動，以帶動片盒架在清洗槽的不同深度移動，片盒架的旋轉軸線可以是如...

因在于OH基SiO2膜中的擴散系數比O2的大。氧化反應，Si表面向深層移動，距離為SiO2膜厚的。因此，不同厚度的SiO2膜，去除后的Si表面的深度也不同。SiO2膜為透明，通過光干涉來估計膜的厚度。這種干涉色的周期約為200nm，如果預告知道是幾次干涉，就能正確估計。對其他的透明薄膜，如知道其折射率，也可用公式計算出(dSiO2)/(dox)=(nox)/(nSiO2)。SiO2膜很薄時，看不到干涉色，但可利用Si的疏水性和SiO2的親水性來判斷SiO2膜是否存在。也可用干涉膜計或橢圓儀等測出。SiO2和Si界面能級密度和固定電荷密度可由MOS二極管的電容特性求得。(100)面的Si...

本實施例晶圓加工固定裝置由于固定架的旋轉軸線與片盒架的旋轉軸線是非共線的，所以固定架能夠帶動片盒架在清洗槽內旋轉，使得片盒架能夠與清洗槽內的不同位置的清洗液接觸。泰克光電（TechOptics）是一家專注于共晶機制造的公司。我們致力于為客戶提供高質量、高性能的共晶機設備，以滿足不同行業的需求。作為共晶機制造領域的者，泰克光電擁有先進的技術和豐富的經驗。我們的團隊由一群經驗豐富的工程師和技術組成，他們在共晶機設計、制造和維護方面擁有深厚的專業知識。泰克光電的共晶機廣泛應用于電子、光電子、半導體等行業。我們的設備可以用于焊接、封裝、封裝和其他共晶工藝。無論是小型電子元件還是大型半導體芯片，...

所述升降驅動器的輸出端與所述升降板連接，所述承接裝置包括至少一個用于承托晶圓的托臂，所述托臂安裝在所述升降板上，所述感應裝置與所述控制系統電連接，所述感應裝置安裝在所述托臂上，用于感應晶圓的位置。作為推薦方案，所述升降裝置還包括安裝板，所述安裝板安裝在晶圓視覺檢測機上，所述升降驅動器通過升降絲桿機構與所述升降板連接，所述升降絲桿機構豎直安裝在所述安裝板上，所述升降絲桿機構的輸入端與所述升降驅動器的輸出端連接，所述升降絲桿機構的輸出端與所述升降板連接。作為推薦方案，所述托臂通過移動模塊安裝在所述升降板上，所述移動模塊與所述控制系統電連接，所述移動模塊安裝在所述升降板的頂部且與所述托臂的底...

因在于OH基SiO2膜中的擴散系數比O2的大。氧化反應，Si表面向深層移動，距離為SiO2膜厚的。因此，不同厚度的SiO2膜，去除后的Si表面的深度也不同。SiO2膜為透明，通過光干涉來估計膜的厚度。這種干涉色的周期約為200nm，如果預告知道是幾次干涉，就能正確估計。對其他的透明薄膜，如知道其折射率，也可用公式計算出(dSiO2)/(dox)=(nox)/(nSiO2)。SiO2膜很薄時，看不到干涉色，但可利用Si的疏水性和SiO2的親水性來判斷SiO2膜是否存在。也可用干涉膜計或橢圓儀等測出。SiO2和Si界面能級密度和固定電荷密度可由MOS二極管的電容特性求得。(100)面的Si...

泰克光電的共晶機ce-ad-bb-abe-e電子、光電子、半導體等行業。我們的設備可以用于焊接、封裝、封裝和其他共晶工藝。無論是小型電子元件還是大型半導體芯片，我們都能提供適合的共晶解決方案。但不用來限制本實用新型的范圍。在本實用新型的描述中，應當理解的是，本實用新型中采用術語在本實用新型的描述中，應當理解的是，本實用新型中采用術語“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“頂”、“底”等指示的方位或位置關系為基于附圖所示的方位或位置關系，是為了便于描述本實用新型和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構造和操作，因此不能理...

以滿足不同行業的需求。作為共晶機制造領域的者，泰克光電擁有先進的技術和豐富的經驗。我們的團隊由一群經驗豐富的工程師和技術組成，他們在共晶機設計、制造和維護方面擁有深厚的專業知識。泰克光電的共晶機廣泛應用于電子、光電子、半導體等行業。我們的設備可以用于焊接、封裝、封裝和其他共晶工藝。無論是小型電子元件還是大型半導體芯片，我們都能提供適合的共晶解決方案。所述轉動桿的兩端與所述限位盤和第二限位盤可拆卸連接，和/或所述轉動桿的兩端與所述限位盤和第二限位盤滑動連接，且所述轉動桿的兩端能夠相對所述限位盤和第二限位盤固定。進一步地，所述限位盤和所述第二限位盤分別沿其周向設置有導向槽，所述轉動桿滑動連...