到達基片的原料分子不具有表面移動的能量，立即凝結在基片的表面，所以，在具有臺階的表面上以真空蒸發法淀積薄膜時，一般，表面被覆性（覆蓋程度）是不理想的。但若可將Crambo真空抽至超高真空（<10–8torr），并且控制電流，使得欲鍍物以一顆一顆原子蒸鍍上去即成所謂分子束磊晶生長（MBE：MolecularBeamEpitaxy）。（3）濺鍍（SputteringDeposition）所謂濺射是用高速粒子（如氬離子等）撞擊固體表面，將固體表面的4004的50mm晶圓和Core2Duo的300mm晶圓原子撞擊出來，利用這一現象來形成薄膜的技術即讓等離子體中的離子加速，撞擊原料靶材，將撞擊出...

以滿足不同行業的需求。作為共晶機制造領域的者，泰克光電擁有先進的技術和豐富的經驗。我們的團隊由一群經驗豐富的工程師和技術組成，他們在共晶機設計、制造和維護方面擁有深厚的專業知識。泰克光電的共晶機廣泛應用于電子、光電子、半導體等行業。我們的設備可以用于焊接、封裝、封裝和其他共晶工藝。無論是小型電子元件還是大型半導體芯片，我們都能提供適合的共晶解決方案。也可以是可拆卸且可滑動的安裝方式。轉動桿的安裝形式，是為了方便通過移動轉動桿，而將晶圓放置到片盒架上，或將晶圓從片盒架上取下。在本實施例中，如圖所示，限位盤和第二限位盤均沿其周向設置有導向槽，轉動桿的左端滑動連接在限位盤的導向槽內，轉動桿的...

可同時橫跨兩條滑軌并在兩條滑軌上來回移動。本實用新型的工作過程為：使用者需要搬運晶圓時。泰克光電是一家專注于共晶機制造的公司。我們致力于為客戶提供高質量、高性能的共晶機設備，以滿足不同行業的需求。作為共晶機制造領域的者，泰克光電擁有先進的技術和豐富的經驗。我們的團隊由一群經驗豐富的工程師和技術組成，他們在共晶機設計、制造和維護方面擁有深厚的專業知識。泰克光電的共晶機電子、光電子、半導體等行業。我們的設備可以用于焊接、封裝、封裝和其他共晶工藝。無論是小型電子元件還是大型半導體芯片，我們都能提供適合的共晶解決方案。可先根據晶圓的尺寸，設定兩個托臂之間的間距，具體操作為：通過控制系統控制移動...

晶圓的背面研磨工藝，是在晶圓的正面貼一層膜保護已經制作好的集成電路，然后通過研磨機來進行減薄。晶圓背面研磨減薄后，表面會形成一層損傷層，且翹曲度高，容易破片。為了解決這些問題。泰克光電（TechOptics）是一家專注于共晶機制造的公司。我們致力于為客戶提供高質量、高性能的共晶機設備，以滿足不同行業的需求。作為共晶機制造領域的者，泰克光電擁有先進的技術和豐富的經驗。我們的團隊由一群經驗豐富的工程師和技術組成，他們在共晶機設計、制造和維護方面擁有深厚的專業知識。泰克光電的共晶機廣泛應用于電子、光電子、半導體等行業。我們的設備可以用于焊接、封裝、封裝和其他共晶工藝。無論是小型電子元件還是大...

我們都能提供適合的共晶解決方案。到達基片的原料分子不具有表面移動的能量，立即凝結在基片的表面，所以，在具有臺階的表面上以真空蒸發法淀積薄膜時，一般，表面被覆性（覆蓋程度）是不理想的。但若可將Crambo真空抽至超高真空（<10–8torr），并且控制電流，使得欲鍍物以一顆一顆原子蒸鍍上去即成所謂分子束磊晶生長（MBE：MolecularBeamEpitaxy）。（3）濺鍍（SputteringDeposition）所謂濺射是用高速粒子（如氬離子等）撞擊固體表面，將固體表面的4004的50mm晶圓和Core2Duo的300mm晶圓原子撞擊出來，利用這一現象來形成薄膜的技術即讓等離子體中的...

升降板滑動連接在導軌上。進一步地，為了使托臂能夠在水平方向上自由移動。泰克光電是一家專注于共晶機制造的公司。我們致力于為客戶提供高質量、高性能的共晶機設備，以滿足不同行業的需求。作為共晶機制造領域的者，泰克光電擁有先進的技術和豐富的經驗。我們的團隊由一群經驗豐富的工程師和技術組成，他們在共晶機設計、制造和維護方面擁有深厚的專業知識。泰克光電的共晶機ce-ad-bb-abe-e電子、光電子、半導體等行業。我們的設備可以用于焊接、封裝、封裝和其他共晶工藝。無論是小型電子元件還是大型半導體芯片，我們都能提供適合的共晶解決方案。以便更好地承托晶圓，托臂通過移動模塊安裝在升降板上，移動模塊與控制...

-第二限位盤；-晶圓。具體實施方式下面將結合實施例對本發明的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例是本發明一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本發明中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發明保護的范圍。如圖和圖所示，本實施例提供一種晶圓加工固定裝置，用于在晶圓的清洗步驟中，固定晶圓。該晶圓加工固定裝置包括安裝座、固定架和片盒架。固定架可轉動的安裝在安裝座上，片盒架可轉動的安裝在固定架上。固定架能夠帶動片盒架一起轉動，且片盒架能夠同步相對固定架自轉，固定架的旋轉軸線與片盒架的旋轉軸線非共線設置。可以理解的是，固定架的旋轉軸線...

多個定位槽沿限位桿的長度方向依次間隔布置。在具體使用時，將晶圓依次放置到定位槽內，并通過三根限位桿進行限位固定。可以理解的是，定位槽可使得晶圓固定穩定性得到提高，且使得各個晶圓之間具有間隙，以使每個晶圓都能充分清洗。為了簡化設備，本實施例晶圓加工固定裝置還包括傳動機構。泰克光電（TechOptics）是一家專注于共晶機制造的公司。我們致力于為客戶提供高質量、高性能的共晶機設備，以滿足不同行業的需求。作為共晶機制造領域的者，泰克光電擁有先進的技術和豐富的經驗。我們的團隊由一群經驗豐富的工程師和技術組成，他們在共晶機設計、制造和維護方面擁有深厚的專業知識。泰克光電的共晶機廣泛應用于電子、光...

也即太陽輪的輪軸與驅動輪盤的中心連接軸同軸；行星架的行星輪與片盒架的限位盤的轉動軸連接，且每個行星輪至多連接一個限位盤的轉動軸，每個行星輪的軸線與其對應的轉動軸共線設置；行星架的齒圈固定設置。其中，每個片盒架的轉動軸都需要連接一個行星輪，以實現片盒架的自轉，但是行星輪的數量可以大于片盒架的數量，多余的行星輪可以是空轉，也即不連接片盒架。推薦的，行星輪與片盒架的數量一一對應設置，在本實施例中，行星架的行星輪的數量為個，片盒架的數量為個，行星輪與片盒架一一對應設置。在本實施例中，如圖所示，行星架的太陽輪設置在驅動輪盤靠近從動輪盤的一側，驅動輪盤的背離被動驅動輪盤的一側設置有與電機等驅動機構...

泰克光電的共晶機ce-ad-bb-abe-e電子、光電子、半導體等行業。我們的設備可以用于焊接、封裝、封裝和其他共晶工藝。無論是小型電子元件還是大型半導體芯片，我們都能提供適合的共晶解決方案。但不用來限制本實用新型的范圍。在本實用新型的描述中，應當理解的是，本實用新型中采用術語在本實用新型的描述中，應當理解的是，本實用新型中采用術語“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“頂”、“底”等指示的方位或位置關系為基于附圖所示的方位或位置關系，是為了便于描述本實用新型和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構造和操作，因此不能理...

在外力驅動下實現固定架驅動片盒架的轉動。片盒架安裝在從動輪盤與行星架的行星輪之間，通過行星架的行星輪與太陽輪以及齒圈的連接，構成片盒架的自轉部分。限位輪座安裝在底板上、軸承安裝在限位輪座上，對驅動輪盤進行限位支撐；橫向安裝軸安裝在豎向桿上，與齒圈固定板的安裝凸軸構成與槽體連接的部分。片盒架設置有轉動桿，轉動桿可在限位盤和第二限位盤之間活動，方便晶圓放置和拆卸。本實施例晶圓加工固定裝置通過驅動輪盤帶動整體多個片盒架轉動，可以使浸泡在藥液中的晶圓充分清洗，提高終的清洗效果；且可通過行星輪與齒圈的連接，實現片盒架的自轉，使晶圓加工更加均勻；同時，支持多種片盒架，通過更換片盒架形式，可以多個相...

可同時橫跨兩條滑軌并在兩條滑軌上來回移動。本實用新型的工作過程為：使用者需要搬運晶圓時。泰克光電是一家專注于共晶機制造的公司。我們致力于為客戶提供高質量、高性能的共晶機設備，以滿足不同行業的需求。作為共晶機制造領域的者，泰克光電擁有先進的技術和豐富的經驗。我們的團隊由一群經驗豐富的工程師和技術組成，他們在共晶機設計、制造和維護方面擁有深厚的專業知識。泰克光電的共晶機電子、光電子、半導體等行業。我們的設備可以用于焊接、封裝、封裝和其他共晶工藝。無論是小型電子元件還是大型半導體芯片，我們都能提供適合的共晶解決方案。可先根據晶圓的尺寸，設定兩個托臂之間的間距，具體操作為：通過控制系統控制移動...

槽式清洗機以高效、可靠和批量清洗等特性被應用。隨著晶圓尺寸變大和晶圓表面的數字化圖形尺寸變小，為了保證晶圓加工的均勻性和終清洗效果，對槽式清洗機的要求越來越高。如何提高晶圓的清洗均勻性是目前一直在研究的重要課題。技術實現要素：本發明的目的在于提供一種晶圓加工固定裝置，以提高晶圓的清洗均勻性。本發明的目的還在于提供一種晶圓加工設備，以提供晶圓的清洗均勻性。本發明提供的晶圓加工固定裝置，包括安裝座、固定架和片盒架，所述固定架可轉動的安裝在所述安裝座上。泰克光電（TechOptics）是一家專注于共晶機制造的公司。我們致力于為客戶提供高質量、高性能的共晶機設備，以滿足不同行業的需求。作為共晶...

泰克光電擁有先進的技術和豐富的經驗。我們的團隊由一群經驗豐富的工程師和技術組成，他們在共晶機設計、制造和維護方面擁有深厚的專業知識。泰克光電的共晶機廣泛應用于電子、光電子、半導體等行業。我們的設備可以用于焊接、封裝、封裝和其他共晶工藝。無論是小型電子元件還是大型半導體芯片，我們都能提供適合的共晶解決方案。而后通過固定架帶動片盒架轉動，且片盒架自轉，使得片盒架上的晶圓與清洗槽內的清洗液(藥液)充分接觸，完成晶圓的清洗操作。本發明晶圓加工固定裝置由于固定架的旋轉軸線與片盒架的旋轉軸線是非共線的，所以固定架能夠帶動片盒架在清洗槽內旋轉，使得片盒架能夠與清洗槽內的不同位置的清洗液接觸，可以使浸...

泰克光電是一家專注于共晶機制造的公司。我們致力于為客戶提供高質量、高性能的共晶機設備，以滿足不同行業的需求。作為共晶機制造領域的者，泰克光電擁有先進的技術和豐富的經驗。我們的團隊由一群經驗豐富的工程師和技術組成，他們在共晶機設計、制造和維護方面擁有深厚的專業知識。泰克光電的共晶機ce-ad-bb-abe-e電子、光電子、半導體等行業。我們的設備可以用于焊接、封裝、封裝和其他共晶工藝。無論是小型電子元件還是大型半導體芯片，我們都能提供適合的共晶解決方案。本實用新型涉及半導體加工技術領域，特別是涉及一種晶圓視覺檢測機的晶圓移載機構。背景技術：目前，集成電路產業是我國大力發展的重要科技產業，...

導致硅片邊緣崩裂，且只適合薄晶圓的劃片。超薄金剛石砂輪劃片，由于劃切產生的切削力小，且劃切成本低，是應用的劃片工藝。由于硅片的脆硬特性，劃片過程容易產生崩邊、微裂紋、分層等缺陷，直接影響硅片的機械性能。同時，由于硅片硬度高、韌性低、導熱系數低，劃片過程產生的摩擦熱難于快速傳導出去，易造成刀片中的金剛石顆粒碳化及熱破裂，使刀具磨損嚴重，嚴重影響劃切質量[2]。晶圓制造工藝編輯晶圓表面清洗晶圓表面附著大約2μm的Al2O3和甘油混合液保護層,在制作前必須進行化學刻蝕和表面清洗。晶圓初次氧化由熱氧化法生成SiO2緩沖層，用來減小后續中Si3N4對晶圓的應力氧化技術：干法氧化Si(固)+O2à...

所述升降驅動器的輸出端與所述升降板連接，所述承接裝置包括至少一個用于承托晶圓的托臂，所述托臂安裝在所述升降板上，所述感應裝置與所述控制系統電連接，所述感應裝置安裝在所述托臂上，用于感應晶圓的位置。作為推薦方案，所述升降裝置還包括安裝板，所述安裝板安裝在晶圓視覺檢測機上，所述升降驅動器通過升降絲桿機構與所述升降板連接，所述升降絲桿機構豎直安裝在所述安裝板上，所述升降絲桿機構的輸入端與所述升降驅動器的輸出端連接，所述升降絲桿機構的輸出端與所述升降板連接。作為推薦方案，所述托臂通過移動模塊安裝在所述升降板上，所述移動模塊與所述控制系統電連接，所述移動模塊安裝在所述升降板的頂部且與所述托臂的底...

升降板滑動連接在導軌上。進一步地，為了使托臂能夠在水平方向上自由移動。泰克光電是一家專注于共晶機制造的公司。我們致力于為客戶提供高質量、高性能的共晶機設備，以滿足不同行業的需求。作為共晶機制造領域的者，泰克光電擁有先進的技術和豐富的經驗。我們的團隊由一群經驗豐富的工程師和技術組成，他們在共晶機設計、制造和維護方面擁有深厚的專業知識。泰克光電的共晶機ce-ad-bb-abe-e電子、光電子、半導體等行業。我們的設備可以用于焊接、封裝、封裝和其他共晶工藝。無論是小型電子元件還是大型半導體芯片，我們都能提供適合的共晶解決方案。以便更好地承托晶圓，托臂通過移動模塊安裝在升降板上，移動模塊與控制...

槽式清洗機以高效、可靠和批量清洗等特性被應用。隨著晶圓尺寸變大和晶圓表面的數字化圖形尺寸變小，為了保證晶圓加工的均勻性和終清洗效果，對槽式清洗機的要求越來越高。如何提高晶圓的清洗均勻性是目前一直在研究的重要課題。技術實現要素：本發明的目的在于提供一種晶圓加工固定裝置，以提高晶圓的清洗均勻性。本發明的目的還在于提供一種晶圓加工設備，以提供晶圓的清洗均勻性。本發明提供的晶圓加工固定裝置，包括安裝座、固定架和片盒架，所述固定架可轉動的安裝在所述安裝座上。泰克光電（TechOptics）是一家專注于共晶機制造的公司。我們致力于為客戶提供高質量、高性能的共晶機設備，以滿足不同行業的需求。作為共晶...

泰克光電的共晶機ce-ad-bb-abe-e電子、光電子、半導體等行業。我們的設備可以用于焊接、封裝、封裝和其他共晶工藝。無論是小型電子元件還是大型半導體芯片，我們都能提供適合的共晶解決方案。使得固定連接在同步帶不同輸送側上的托臂相互靠近或相互遠離。通過調節兩個托臂之間的距離，使得托臂能夠托住不同大小的晶圓(一個托臂拖著晶圓的一側)。該晶圓移栽機構可用于承托不同體積大小的晶圓，應用。托臂的形狀為長條形，托臂的縱截面形狀為l形。托臂可分為限位部和水平設置的承托部，限位部豎直固定在承托部遠離另一托臂的一側，用于限定晶圓在承托部上的位置。限位部和承托部形成l形的托臂。當兩個托臂相互靠近，直至...

作為推薦方案，所述固定板的頂部設有至少一條滑軌，所述托臂的底部通過滑塊滑動連接在所述滑軌上，所述滑塊的頂部與所述托臂的底側固定連接，所述滑塊的底部與所述滑軌滑動連接。本實用新型實施例提供的晶圓視覺檢測機的晶圓移載機構與現有技術相比，其有益效果在于：本實用新型實施例的晶圓移載機構包括控制系統、升降裝置、承接裝置和感應裝置，承接裝置包括托臂。泰克光電是一家專注于共晶機制造的公司。我們致力于為客戶提供高質量、高性能的共晶機設備，以滿足不同行業的需求。作為共晶機制造領域的者，泰克光電擁有先進的技術和豐富的經驗。我們的團隊由一群經驗豐富的工程師和技術組成，他們在共晶機設計、制造和維護方面擁有深厚...

我們都能提供適合的共晶解決方案。連接桿的設置應當避免影響片盒架的轉動。具體而言，片盒架包括同軸相對設置的限位盤和第二限位盤，限位盤與第二限位盤之間設置有多根限位桿，多根限位桿沿限位盤的周向間隔設置，多個限位桿之間形成晶圓的放置空間。限位盤與第二限位盤相互遠離的側面分別通過轉動軸與驅動輪盤和從動輪盤轉動連接，且轉動軸與驅動輪盤的軸線平行設置。也即，如圖所示，個片盒架中每個片盒架的限位盤的左側通過轉動軸與驅動輪盤連接，第二限位盤的右側通過轉動軸與從動輪盤連接。轉動軸的軸線與驅動輪盤和從動輪盤的中心共線，在限位盤與第二限位盤之間設置有多根平行設置的限位桿。作為一個具體實現方式，如圖所示，限位...

泰克光電擁有先進的技術和豐富的經驗。我們的團隊由一群經驗豐富的工程師和技術組成，他們在共晶機設計、制造和維護方面擁有深厚的專業知識。泰克光電的共晶機廣泛應用于電子、光電子、半導體等行業。我們的設備可以用于焊接、封裝、封裝和其他共晶工藝。無論是小型電子元件還是大型半導體芯片，我們都能提供適合的共晶解決方案。而后通過固定架帶動片盒架轉動，且片盒架自轉，使得片盒架上的晶圓與清洗槽內的清洗液(藥液)充分接觸，完成晶圓的清洗操作。本發明晶圓加工固定裝置由于固定架的旋轉軸線與片盒架的旋轉軸線是非共線的，所以固定架能夠帶動片盒架在清洗槽內旋轉，使得片盒架能夠與清洗槽內的不同位置的清洗液接觸，可以使浸...

以滿足不同行業的需求。作為共晶機制造領域的者，泰克光電擁有先進的技術和豐富的經驗。我們的團隊由一群經驗豐富的工程師和技術組成，他們在共晶機設計、制造和維護方面擁有深厚的專業知識。泰克光電的共晶機廣泛應用于電子、光電子、半導體等行業。我們的設備可以用于焊接、封裝、封裝和其他共晶工藝。無論是小型電子元件還是大型半導體芯片，我們都能提供適合的共晶解決方案。也可以是可拆卸且可滑動的安裝方式。轉動桿的安裝形式，是為了方便通過移動轉動桿，而將晶圓放置到片盒架上，或將晶圓從片盒架上取下。在本實施例中，如圖所示，限位盤和第二限位盤均沿其周向設置有導向槽，轉動桿的左端滑動連接在限位盤的導向槽內，轉動桿的...

因此對冶金級硅進行進一步提純：將粉碎的冶金級硅與氣態的氯化氫進行氯化反應，生成液態的硅烷，然后通過蒸餾和化學還原工藝，得到了高純度的多晶硅，其純度高達99.%，成為電子級硅。接下來是單晶硅生長，常用的方法叫直拉法（CZ法）。如下圖所示，高純度的多晶硅放在石英坩堝中，并用外面圍繞著的石墨加熱器不斷加熱，溫度維持在大約1400℃，爐中的氣體通常是惰性氣體，使多晶硅熔化，同時又不會產生不需要的化學反應。為了形成單晶硅，還需要控制晶體的方向：坩堝帶著多晶硅熔化物在旋轉，把一顆籽晶浸入其中，并且由拉制棒帶著籽晶作反方向旋轉，同時慢慢地、垂直地由硅熔化物中向上拉出。熔化的多晶硅會粘在籽晶的底端，按...

因在于OH基SiO2膜中的擴散系數比O2的大。氧化反應，Si表面向深層移動，距離為SiO2膜厚的。因此，不同厚度的SiO2膜，去除后的Si表面的深度也不同。SiO2膜為透明，通過光干涉來估計膜的厚度。這種干涉色的周期約為200nm，如果預告知道是幾次干涉，就能正確估計。對其他的透明薄膜，如知道其折射率，也可用公式計算出(dSiO2)/(dox)=(nox)/(nSiO2)。SiO2膜很薄時，看不到干涉色，但可利用Si的疏水性和SiO2的親水性來判斷SiO2膜是否存在。也可用干涉膜計或橢圓儀等測出。SiO2和Si界面能級密度和固定電荷密度可由MOS二極管的電容特性求得。(100)面的Si...

達到阻止下一步中n型雜質注入P型阱中。去除SIO2層退火處理，然后用HF去除SiO2層。干法氧化法干法氧化法生成一層SiO2層，然后LPCVD沉積一層氮化硅。此時P阱的表面因SiO2層的生長與刻蝕已低于N阱的表面水平面。這里的SiO2層和氮化硅的作用與前面一樣。接下來的步驟是為了隔離區和柵極與晶面之間的隔離層。光刻技術和離子刻蝕技術利用光刻技術和離子刻蝕技術，保留下柵隔離層上面的氮化硅層。濕法氧化生長未有氮化硅保護的SiO2層，形成PN之間的隔離區。生成SIO2薄膜熱磷酸去除氮化硅，然后用HF溶液去除柵隔離層位置的SiO2，并重新生成品質更好的SiO2薄膜,作為柵極氧化層。氧化LPCV...

隨同步帶移動而左右移動。托臂通過連接塊與同步帶固定連接，連接塊的底部固定連接在同步帶上，連接塊的頂部與托臂的底部固定連接。托臂位于固定板的頂側，以便托住晶圓。連接塊伸出于固定板的前側或后側，托臂通過連接塊與設于固定板底側的同步帶固定連接。連接塊有利于托臂與同步帶連接穩固。具體地，托臂的數量為兩個，各托臂分別固定連接在同步帶的不同輸送側上，移動電機驅動主動輪轉動，帶動從動輪和同步帶轉動，使得各托臂在固定板上做張合運動。一個托臂通過一個連接塊粘附在同步帶的前側，另一托臂通過另一連接塊連接在同步帶的后側。當同步帶轉動時，連接在不同輸送側的連接塊帶動托臂往不同方向移動，實現兩個托臂在固定板上做...

泰克光電（TechOptics）是一家專注于共晶機制造的公司。我們致力于為客戶提供高質量、高性能的共晶機設備，以滿足不同行業的需求。作為共晶機制造領域的者，泰克光電擁有先進的技術和豐富的經驗。我們的團隊由一群經驗豐富的工程師和技術組成，他們在共晶機設計、制造和維護方面擁有深厚的專業知識。泰克光電的共晶機廣泛應用于電子、光電子、半導體等行業。我們的設備可以用于焊接、封裝、封裝和其他共晶工藝。無論是小型電子元件還是大型半導體芯片，我們都能提供適合的共晶解決方案。本發明涉及晶圓加工技術領域，尤其是涉及一種晶圓加工固定裝置及晶圓加工設備。背景技術：半導體元件在生產過程中極易受到微粒、金屬離子、...

在外力驅動下實現固定架驅動片盒架的轉動。片盒架安裝在從動輪盤與行星架的行星輪之間，通過行星架的行星輪與太陽輪以及齒圈的連接，構成片盒架的自轉部分。限位輪座安裝在底板上、軸承安裝在限位輪座上，對驅動輪盤進行限位支撐；橫向安裝軸安裝在豎向桿上，與齒圈固定板的安裝凸軸構成與槽體連接的部分。片盒架設置有轉動桿，轉動桿可在限位盤和第二限位盤之間活動，方便晶圓放置和拆卸。本實施例晶圓加工固定裝置通過驅動輪盤帶動整體多個片盒架轉動，可以使浸泡在藥液中的晶圓充分清洗，提高終的清洗效果；且可通過行星輪與齒圈的連接，實現片盒架的自轉，使晶圓加工更加均勻；同時，支持多種片盒架，通過更換片盒架形式，可以多個相...