在深亞微米(0.15μm及以下)集成電路制造中,后段工藝日趨重要,為降低阻容遲滯(RCDelay),保證信號傳輸,減小功耗,有必要對后段工藝進行改進,Via阻擋層MOCVD(Metal-organicChemicalVaporDeposition,金屬有機物化學氣相淀積)TiN是其中重要研究課題之一。本論文基于薄膜電阻的理論分析,從厚度、雜質濃度和晶體結構三大薄膜電阻影響因素出發系統研究MOCVDTiN材料在平面薄膜上和真實結構中的各種性質,重點是等離子體處理(PlasmaTreatment,PT)下的晶體生長,制備循環次數的選擇對薄膜雜質濃度、晶體結構及電阻性能的影響,不同工藝薄膜在真實結構...
50. 近幾年來,利用鈦、氮化鈦及碳化鈦作為表面鍍層材料,以增加刀具及磨擦另件的抗磨損能力,取得了良好的效果,其中又以氮化鈦效果比較好。鍍氮化鈦的方法很多,已在應用的有化學方法、物理方法、電子蒸發法、離子轟擊法及離子涂鍍法等。其中又以近幾年新發展起來的離子涂鍍法優點適合多,引起了人們的注意。氮化鈦離子涂鍍技術的主要機理是:將若干塊金屬鈦懸掛于密閉室的四周,在密閉室的壁與金屬鈦之間,始終存在電弧放電。在電弧的局部高溫作用下,固體金屬鈦直接變為蒸氣。這一變為蒸氣的過程,幾乎是在瞬間完成的。并使鈦離子獲得了很大的能量,在上世紀70年代,氮化鈦涂層成功應用于刀具等切割加工工具上,促進了刀具加工行業的發...
TiN 薄膜的研究工作早在20世紀60年代已開始進行,但因材料和器件制備上的困難,使研究工作一度轉入低潮。后來隨著薄膜制備技術的提高,國內外對TiN薄膜的研究工作又開始活躍起來,制備方法也多樣化了,目前已取得很大進展。TiN薄膜的制備方法主要可分為物理物物理相沉積、化學氣相沉積兩大類。應用于工業的各個領域。 TiN 薄膜無毒、質輕、強度高且具有優良的生物相容性,因此它是非常理想的醫用金屬材料,可用作植入人體的植入物和手術器械等閻。此外,氮化鈦薄膜還能作為其他優良生物相溶性薄膜的增強薄膜。國外的Nelea等人通過鍍制TiN 薄膜中間層大幅度提高了醫用常用材料羥磷灰石薄膜(HA)的機械性...
通過多弧離子鍍沉積技術制備了TiN和TiVN涂層,對比了兩種涂層在不同工況下的摩擦磨損性能和切削性能,并指出影響刀具涂層服役性能的主要因素。結果表明,V元素摻雜有效提高了TiN涂層的硬度和結合力、減小了TiN涂層的摩擦因數和低溫下的磨損率,但V容易氧化的特性導致500℃及以上溫度TiVN涂層產生較高的磨損率。切削測試表明,在麻花鉆的主切削刃和橫刃區域兩種涂層發生明顯的剝落,而在后刀面涂層未發生明顯剝落,TiVN涂層較高的膜基結合強度和耐磨性能使得它對刀具的防護效果更佳;刀具涂層的服役性能與其耐磨性能和膜基結合強度有關,刀具的主切削刃和橫刃區域對涂層的耐磨性能和膜基結合強度有著苛刻的要求,且切削...
42.TiN的能帶結構和態密度TiN屬于面心立方結構,晶格中參與成鍵的價電子有過渡族金屬Ti的3d24s2和N的2p3。通過采用綴加平面波方法和靠前性原理計算可以得出TiN的能帶結構和態密度,進而計算出材料中電子的填充態和未填充態,再根據躍遷的選擇定則,計算出躍遷矩陣元和吸收系數,從而得到介電函數的虛部;再根據Kramers-Kronig變換關系就可得出介電函數的實部,據Maxwell關系式就可以確定材料的折射率和消光系數。所以分材料的能帶結構和態密度對材料光學性質的影響就顯得非常重要。DLC涂層相對光滑,粗糙度Ra為0.10μm,而TiN涂層Ra為0.16μm。天津 刀具氮化鈦加工氮化鈦50...
40、氮化鈦 ( Ti N)薄膜獨特的性能不僅在機械工業和商品的表面裝飾行業上有著適合的應用 ,而且在臨床制品及人工替換領域也展示了潛在的應用前景 .研究利用大功率偏壓電源的多弧離子鍍技術 ,采用工具鍍工藝 ,在 Ti- 6 Al- 4V合金材料表面制備了 Ti N薄膜 .用 X射線光電子能譜檢測證明了所制備的薄膜確為 Ti N機械性能測試表明 :具有 Ti N涂層樣品的顯微硬度較為高于 Ti合金基材 ,同時耐磨性能也明顯得到改善 。 40、氮化鈦是一種新型多功能材料,具有高硬度、高耐磨性以及高抗氧化性等優點,可以作為耐磨涂層使用,同時氮化鈦涂層的顏色與黃金極為相似,可以沉積在首飾或...
在鎂碳磚中添加一定量的TiN,可以明顯提高鎂碳磚的抗渣侵蝕性。1)氮化鈦是優良的結構材料,可用于蒸汽噴射推進器和火箭等。在軸承和密封圈領域也大量使用氮化鈦合金,強調了氮化鈦的應用效果。2)基于氮化鈦的優異導電性,可以制作各種電極和點接觸等材料。3)氮化鈦具有高超導臨界溫度,可作為優良的超導材料。4)氮化鈦熔點高于許多過渡金屬氮化物,密度低于許多金屬氮化物,是一種獨特的耐火材料。5)氮化鈦可以作為一種膜鍍在玻璃上,紅外反射率大于75%時,氮化鈦薄膜厚度大于90nm時,可以有效提高玻璃的保溫性能。另外,通過調整氮化鈦中的氮含量,可以改變氮化鈦薄膜的顏色,達到理想的美觀。氮化鈦具有金屬光澤,可作為仿...
自20世紀80年代以來,氮化鈦的研究受到了重視。氮化鈦化學性能穩定,具有較強的耐磨損、耐腐蝕性及良好的生物相容性。在口腔醫學中主要應用于切削及旋轉器械、種植體和義齒等表面鍍膜,以增強其耐磨損性及生物安全性。氮化鈦涂層作為一種新型陶瓷涂層,由于具有高熔點、高硬度、高溫化學穩定性、高耐磨性及高耐腐蝕性能等優點,已被廣泛應用于切削刀具、高溫結構材料和抗磨抗蝕部件上。在不銹鋼表面制備一層氮化鈦涂層來進行表面改性,可有效提高其表面力學性能、耐蝕性能和生物兼容性能,有利于不銹鋼在航空航天、艦船兵器、石油化工、生物醫學等領域應用。氮化鈦涂層刀具由于其優異性能,很快在工業發達國家得以推廣使用,并為機械加工行業...
采用物物理相沉積法(PVD)在45鋼基體表面沉積了TiN和TiAlN涂層.用3種載荷在摩擦磨損試驗機上分別對45鋼、TiN和TiAlN涂層進行了摩擦試驗,用5種載荷分別對3種試樣進行了磨損試驗,用表面輪廓檢測儀檢測了3種試樣的體積磨損,用劃痕儀測量了涂層的臨界載荷.研究結果表明:隨著載荷的增大,TiAlN和TiN涂層的摩擦系數有較大的下降趨勢,TiAlN、TiN有降低摩擦系數的作用,其中TiN的效果更好.45鋼、TiN與TiAlN的磨損量都會隨載荷的增大而增大.TiN、TiAlN涂層比45鋼有較明顯的耐磨損的能力,TiAlN涂層比TiN涂層的抗磨損能力更強.45鋼的比磨損率趨近于線性變化,Ti...
氮化鈦具有耐腐蝕性強、抗氧化性好、化學穩定性高以及電導性好等優點。本文以陽極氧化法制得的納米TiO2薄膜、多孔結構和納米管材料為前驅體,通過氨氣高溫還原氮化法制得了納米氮化鈦薄膜、多孔結構和納米管材料。XRD和EDS分析結果表明,三種納米結構氮化鈦的化學組分均只含Ti、N兩種元素,且前驅體TiO2已經被完全轉化為氮化鈦,主要以TiN相和Ti2N相存在。SEM結果表明,高溫氮化得到的三種納米結構氮化鈦仍保持了前驅體的微觀結構,氮化鈦多孔結構和納米管均具有有序陣列特征,納米管管徑和孔道直徑均小于100nm,TiN薄膜表面具有很多大小不均的突起顆粒。四探針法測試得到三種納米氮化鈦的電阻率約為5.0×...
50.本實驗應用離子束輔助沉積技術在磁性附著體銜鐵鐵鉻鉬合金表面制備氮化鈦納米膜,希望通過氮化鈦納米膜優異的理化性能,增強磁性附著體的耐蝕性和耐磨性,從而改進磁性附著體的性能,并且對鐵鉻鉬合金材料本體特性沒有影響。實驗結果表明:第四軍醫大學碩土學垃論文1.離子束輔助沉積技術可以在鐵鉻銅軟磁合金表面獲得非常致密與基體結合力極強的氮化鈦納米膜,膜與基體界面的結合力在65N—75N之間,完全能夠滿足實驗及臨床長期應用。2.鐵鉻鑰合金表面鍍氮化鈦納米膜處理前后磁性附著體磁力數值無明顯改變,方差分析統計學處理,p勸.05,無統計學差別。即鍍膜后磁固位力無改變。對磁性附著體的銜鐵軟磁合金進行鍍膜處理,來研...
比較TiN和TiAlN涂層刀具加工鋁鋰合金的切削性能和表面質量。方法使用硬質合金、TiN涂層和TiAlN涂層三種刀具,對2198-T8型鋁鋰合金進行干式銑削試驗。改變切削因素的水平,比較刀具磨損、鋁鋰合金的表面粗糙度、切削力和切屑形態。結果銑削鋁鋰合金時,刀具主要磨損為粘附磨損,TiN涂層的粘附程度比較低,硬質合金次之,TiAlN涂層表面粘附較好嚴重,切削效能比較低。粘附磨損嚴重影響銑削成形的表面粗糙度,并使銑削力增加。銑削速度是影響工件表面粗糙度的主要因素,通過提高銑削速度可明顯降低材料的粘結程度,降低表面粗糙度與銑削力,TiN涂層在銑削鋁鋰合金時較好小表面粗糙度可達到0.5μm以下。在相同...
在鎂碳磚中添加一定量的TiN,可以明顯提高鎂碳磚的抗渣侵蝕性。1)氮化鈦是優良的結構材料,可用于蒸汽噴射推進器和火箭等。在軸承和密封圈領域也大量使用氮化鈦合金,強調了氮化鈦的應用效果。2)基于氮化鈦的優異導電性,可以制作各種電極和點接觸等材料。3)氮化鈦具有高超導臨界溫度,可作為優良的超導材料。4)氮化鈦熔點高于許多過渡金屬氮化物,密度低于許多金屬氮化物,是一種獨特的耐火材料。5)氮化鈦可以作為一種膜鍍在玻璃上,紅外反射率大于75%時,氮化鈦薄膜厚度大于90nm時,可以有效提高玻璃的保溫性能。另外,通過調整氮化鈦中的氮含量,可以改變氮化鈦薄膜的顏色,達到理想的美觀。含有納米氨化鈦顆粒的陶瓷材料...
氮化物涂層具有硬度高、耐磨性好、良好的抗氧化性、抗粘附性等性能,常用做刀具的保護涂層。304不銹鋼和鈦合金因為良好的性能而在生活中應用適合,但由于在加工時會出現加工硬化、切削溫度較高、刀具粘結等缺陷,是比較典型的難加工材料。而使用涂層刀具能有效改善刀具的切削性能,并能延長刀具的使用壽命。市場上常用Al CrN和Al TiN涂層來切削這兩種材料。但是這兩種材料容易在刀具表面產生粘附層,會影響刀具的使用壽命,為了改善“粘刀性”,需要先了解不同刀具在不同涂層上的粘附機理。氮化鈦有較高的導電性可用作熔鹽電解的電極以及點觸頭、薄膜電阻等材料。舟山耐磨氮化鈦加工氮化鈦目前,國內外制備氮化鈦涂層一般采用鍍膜...
1.氮化鈦(TiN)具有典型的NaCl型結構,屬面心立方點陣,晶格常數a=0.4241nm,其中鈦原子位于面心立方的角頂。TiN是非化學計量化合物其穩定的組成范圍為TiN0.37-TiN1.16,氮的含量可以在一定的范圍內變化而不引起TiN結構的變化。TiN粉末一般呈黃褐色超細TiN粉末呈黑色,而TiN晶體呈金黃色。TiN熔點為2950℃,密度為5.43-5.44g/cm3,莫氏硬度8-9,抗熱沖擊性好。氫化鈦的理化性質由氫元素的含量來決定,當氨元素含量減少時氮化鈦的晶格參數反而增大,硬度也會有顯微的增大,但氮化鈦的抗震性隨之降低。TiN熔點比大多數過渡金屬氮化物的熔點高,而密度卻比大多數金屬...
TiN 中文名稱氮化鈦薄膜可以減輕切削刃邊材料的附著,提高切削力,改善工件的表面質量,成倍增加切削工具的使用壽命和耐用度。因此,TiN 薄膜被適合用于低速切削工具、高速鋼切削、木板切削刀具和鉆頭的涂覆上。另外,TiN也是磨損部件的理想耐磨涂層,特別是由于其低的黏著傾向拓寬了在許多磨損系統中的應用,如汽車發動機的活塞密封環、各種軸承和齒輪等:此外,TiN還廣泛應用于成型技術工具涂層,如汽車工業中薄板成型工具的涂層等。氮化鈦是用于優良度的金屬陶瓷工具、噴汽推進器、以及火箭等結構材料,較低的摩擦系數可作為高溫潤滑劑。寧波納米氮化鈦檢測氮化鈦自20世紀80年代以來,氮化鈦的研究受到了重視。氮化鈦化學性...
TiN涂層的耐腐蝕性能進行了試驗研究。除采用幾種較弱的腐蝕介質外,還在H2SO4溶液、HCl溶液中對TiN涂層樣品做了浸泡試驗。所有結果表明:涂層后的樣品。其耐腐蝕性能比未涂層樣品提高幾倍至十幾倍。同時,在NaCl溶液、人工汗液和酸溶液中,分別測定了涂層和未涂層樣品的電化學行為。TiN涂層表現出較高的溶解電位,說明它在熱力學上對上述化學介質是比較穩定的。致密TiN涂層的耐腐蝕能力優于不銹鋼,但是如果涂層有貫穿的孔洞或涂展太薄時,則涂層試樣也會被腐蝕。氮化鈦是一種新型的多功能陶瓷材料。在TiC-Mo-Ni系列的金屬陶瓷中加入一定氮化鈦,使硬質相晶粒較為細化。南京納米氮化鈦服務電話氮化鈦TiN和T...
TiN薄膜無毒、質輕、強度高且具有優良的生物相容性,因此它是非常理想的醫用金屬材料,可用作植入人體的植入物和手術器械等閻。此外,氮化鈦薄膜還能作為其他優良生物相溶性薄膜的增強薄膜。國外的Nelea等人通過鍍制TiN薄膜中間層大幅度提高了醫用常用材料羥磷灰石薄膜(HA)的機械性能和附著力。用TiN薄膜涂覆在IF—MS2上。可以提高二鉬化硫潤滑劑的耐磨性。用TIN薄膜涂覆在IF—MS2上,因為它具有的高硬度、高熔點、高磨損抵抗力,優良的化學穩定性等特點,因此可以在提高飛機和航天器的發動機等零件的潤滑性能的同時,又可以保證航天零件的耐高溫和耐摩擦性能。TiN熔點比大多數過渡金屬氮化物的熔點高,而密度...
黃金能保持光澤如初,經久不變的寶貴特性;自古以來做為貨幣使用,并成為財富和永恒的象征.因而,在人們心中喚起深刻的美感,雍雅華貴,燦爛眩目的金色,成為傳統的普遍受人偏愛的色彩.為了裝飾的目的,人們希望在各種基材的物品上獲得金色的表面,仿金技術便成為表面處理工作者們不懈研討的課題. 在眾多的仿金工藝中,近年發展起來的離子沉積氮化鈦(TiN)工藝具有突出的優點.TiN涂層的膜結構穩定,不會變色;它特別耐磨,因此,足以保持被裝飾件的金色外觀于始終;另外它所消耗的原材料廉價;加工過程中無污染公害.這些優點自然引起各方面的濃厚興趣.國內在近十幾年內迅速開展了對離子沉積氮化鈦的研究和推廣應用.氮化鈦還可以作...
氮化鈦的制備方法有哪些 1金屬鈦粉或TiH 2直接氮化法2TiO2碳熱還原氮化法 3微波碳熱還原法 4物物理相沉積法 5化學氣相沉積法 6機械合金化法 7熔鹽合成法8溶膠-凝膠法9自蔓延高溫合成法TiN的性質及結構。 TiN屬于間隙相,熔點高達2955℃,原子之間的結合為共價鍵、金屬鍵及離子鍵的混合鍵,其中金屬原子間存在金屬鍵。因此,TiN薄膜具有高硬度(理論硬度21GPa)、優異的耐熱耐磨和耐腐蝕等特性,并且具有較好的金屬特性:金屬光澤、優良的導電性及超導性。TiN具有典型的NaCl型結構,屬于面心立方點陣(F.C.C),其中Ti原子占據面...
40、氮化鈦(TiN)具有典型的NaCl型結構,屬面心立方點陣,晶格常數a=0.4241nm,其中鈦原子位于面心立方的角頂。TiN是非化學計量化合物,其穩定的組成范圍為TiN0.37-TiN1.16,氮的含量可以在一定的范圍內變化而不引起TiN結構的變化。TiN粉末一般呈黃褐色,超細TiN粉末呈黑色,而TiN晶體呈金黃色。TiN熔點為2950℃,密度為5.43-5.44g/cm3,莫氏硬度8-9,抗熱沖擊性好。TiN熔點比大多數過渡金屬氮化物的熔點高,而密度卻比大多數金屬氮化物低,因此是一種很有特色的耐熱材料。TiN的晶體結構與TiC的晶體結構相似,只是將其中的C原子置換成N原子。有較為的硬度...
TiN和TiAlN涂層常應用于精沖模,采用XRD技術分析了不同厚度TiN和TiAlN涂層的相變化,并采用Sin2ψ法測量了TiN涂層和基體以及TiAlN基體的殘留應力,應用顯微硬度計測量了涂層的顯微硬度。結果表明:TiN涂層(111)和(222)晶面存在明顯擇優取向,涂層殘留應力分布在-2347~-1920MPa,基體殘留應力分布在-154.9~-69.21MPa,均隨厚度增加而減小;TiAlN涂層主要相成分為Ti3Al3N2,且(107)晶面存在擇優取向,基體殘留應力分布在-123.7~469.5MPa,主要呈拉應力狀態,且隨厚度增加而增大,對模具壽命有較大影響;TiN和TiAlN涂層顯微硬...
1.(1)氮化鈦生物兼容性高,可以應用于臨床醫學和口腔醫學方面。(2)氨化鈦摩擦系數較低,可作為高溫潤滑劑。(3)氮化鈦具有金屬光澤,可作為仿真的金色裝飾材料,在代金裝飾行業中具有良好的應用前景;氮化鈦還可以作為金色涂料應用于首飾行業;可以作為替代WC的潛在材料,使材料的應用成本大幅度降低。(4)有較為的硬度和耐磨性,可用于開發新型刀具,這種新型的刀具比普通硬質合金刀具的耐用度和使用壽命都顯著提高。(5)氮化鈦是一種新型的多功能陶瓷材料。在TiC-Mo-Ni系列的金屬陶瓷中加入一定量的氮化鈦,會使硬質相晶粒明顯細化,從而使陶瓷的理學性能不管是在室溫還是在高溫條件下都有了很大程度的改善,繼而使金...
TiN 薄膜用于高溫大氣穩定太陽能吸收層的研究開始于1984年,較好近(Ti,A1)N 涂層也被建議應用于太陽能選擇吸收層和太陽能控制窗口,這主要是因為(Ti,AI)N 涂層耐高溫的特點。關于TiN和TiA1N 涂層在太陽能領域的應用。目前仍處在嘗試和探索之中。 用TiN 薄膜涂覆在IF—MS2上。可以提高二鉬化硫潤滑劑的耐磨性。用TIN 薄膜涂覆在IF—MS2上,因為它具有的高硬度、高熔點、高磨損抵抗力,優良的化學穩定性等特點,因此可以在提高飛機和航天器的發動機等零件的潤滑性能的同時,又可以保證航天零件的耐高溫和耐摩擦性能。 氮化鈦有較高的導電性可用作熔鹽電解的電極以及點觸頭、薄膜...
氮化鈦具有耐腐蝕性強、抗氧化性好、化學穩定性高以及電導性好等優點。本文以陽極氧化法制得的納米TiO2薄膜、多孔結構和納米管材料為前驅體,通過氨氣高溫還原氮化法制得了納米氮化鈦薄膜、多孔結構和納米管材料。XRD和EDS分析結果表明,三種納米結構氮化鈦的化學組分均只含Ti、N兩種元素,且前驅體TiO2已經被完全轉化為氮化鈦,主要以TiN相和Ti2N相存在。SEM結果表明,高溫氮化得到的三種納米結構氮化鈦仍保持了前驅體的微觀結構,氮化鈦多孔結構和納米管均具有有序陣列特征,納米管管徑和孔道直徑均小于100nm,TiN薄膜表面具有很多大小不均的突起顆粒。四探針法測試得到三種納米氮化鈦的電阻率約為5.0×...
TiN 薄膜用于高溫大氣穩定太陽能吸收層的研究開始于1984年,較好近(Ti,A1)N 涂層也被建議應用于太陽能選擇吸收層和太陽能控制窗口,這主要是因為(Ti,AI)N 涂層耐高溫的特點。關于TiN和TiA1N 涂層在太陽能領域的應用。目前仍處在嘗試和探索之中。 用TiN 薄膜涂覆在IF—MS2上。可以提高二鉬化硫潤滑劑的耐磨性。用TIN 薄膜涂覆在IF—MS2上,因為它具有的高硬度、高熔點、高磨損抵抗力,優良的化學穩定性等特點,因此可以在提高飛機和航天器的發動機等零件的潤滑性能的同時,又可以保證航天零件的耐高溫和耐摩擦性能。 TiN有著誘人的金黃色、熔點高、硬度大、化學穩定性好、與...
40、氮化鈦(TiN)具有典型的NaCl型結構,屬面心立方點陣,晶格常數a=0.4241nm,其中鈦原子位于面心立方的角頂。TiN是非化學計量化合物,其穩定的組成范圍為TiN0.37-TiN1.16,氮的含量可以在一定的范圍內變化而不引起TiN結構的變化。TiN粉末一般呈黃褐色,超細TiN粉末呈黑色,而TiN晶體呈金黃色。TiN熔點為2950℃,密度為5.43-5.44g/cm3,莫氏硬度8-9,抗熱沖擊性好。TiN熔點比大多數過渡金屬氮化物的熔點高,而密度卻比大多數金屬氮化物低,因此是一種很有特色的耐熱材料。TiN的晶體結構與TiC的晶體結構相似,只是將其中的C原子置換成N原子。在上世紀70...
比較TiN和TiAlN涂層刀具加工鋁鋰合金的切削性能和表面質量。方法使用硬質合金、TiN涂層和TiAlN涂層三種刀具,對2198-T8型鋁鋰合金進行干式銑削試驗。改變切削因素的水平,比較刀具磨損、鋁鋰合金的表面粗糙度、切削力和切屑形態。結果銑削鋁鋰合金時,刀具主要磨損為粘附磨損,TiN涂層的粘附程度比較低,硬質合金次之,TiAlN涂層表面粘附較好嚴重,切削效能比較低。粘附磨損嚴重影響銑削成形的表面粗糙度,并使銑削力增加。銑削速度是影響工件表面粗糙度的主要因素,通過提高銑削速度可明顯降低材料的粘結程度,降低表面粗糙度與銑削力,TiN涂層在銑削鋁鋰合金時較好小表面粗糙度可達到0.5μm以下。在相同...
TiN 薄膜用于高溫大氣穩定太陽能吸收層的研究開始于1984年,較好近(Ti,A1)N 涂層也被建議應用于太陽能選擇吸收層和太陽能控制窗口,這主要是因為(Ti,AI)N 涂層耐高溫的特點。關于TiN和TiA1N 涂層在太陽能領域的應用。目前仍處在嘗試和探索之中。 用TiN 薄膜涂覆在IF—MS2上。可以提高二鉬化硫潤滑劑的耐磨性。用TIN 薄膜涂覆在IF—MS2上,因為它具有的高硬度、高熔點、高磨損抵抗力,優良的化學穩定性等特點,因此可以在提高飛機和航天器的發動機等零件的潤滑性能的同時,又可以保證航天零件的耐高溫和耐摩擦性能。 氮化鈦是一種優良的結構材料。在軸承和密封環領域也多用氮化...
TiN薄膜因具有高硬度、低摩擦系數、高粘著強度、化學穩定性好、與鋼鐵材料的熱膨脹系數相近等優點而被廣泛應用于各個領域,特別是被用作高質量的切割工具,抗磨粒、磨蝕和磨損部件的表面工程材料。TiN薄膜以其制備工藝成熟穩定、價格低廉以及耐磨耐腐蝕特性好,而廣泛應用于切削工具和機械零件的硬質涂層保護膜。近年來,隨著科技的發展和工業的需求,TiN在MEMS、太陽能電池的背電極、燃料電池、納米生物技術、節能鍍膜玻璃等領域的應用都有相關的報道。TiN是非化學計量化合物穩定的組成范圍為TiN0.37- TiN1.16,氮含量可在一定范圍內變化不引起TiN結構的變化。宿遷鍍黑氮化鈦氮化鈦 TiN 薄膜用于高溫...