自20世紀80年代以來,氮化鈦的研究受到了重視。氮化鈦化學性能穩定,具有較強的耐磨損、耐腐蝕性及良好的生物相容性。在口腔醫學中主要應用于切削及旋轉器械、種植體和義齒等表面鍍膜,以增強其耐磨損性及生物安全性。氮化鈦涂層作為一種新型陶瓷涂層,由于具有高熔點、高硬度、高溫化學穩定性、高耐磨性及高耐腐蝕性能等優點,已被廣泛應用于切削刀具、高溫結構材料和抗磨抗蝕部件上。在不銹鋼表面制備一層氮化鈦涂層來進行表面改性,可有效提高其表面力學性能、耐蝕性能和生物兼容性能,有利于不銹鋼在航空航天、艦船兵器、石油化工、生物醫學等領域應用。氮化鈦涂層刀具由于其優異性能,很快在工業發達國家得以推廣使用,并為機械加工行業帶來巨大的經濟效益。常州涂層氮化鈦價格
TiN薄膜可以減輕切削刃邊材料的附著,提高切削力,改善工件的表面質量,成倍增加切削工具的使用壽命和耐用度。因此,TiN薄膜被適合用于低速切削工具、高速鋼切削、木板切削刀具和鉆頭的涂覆上。另外,TiN也是磨損部件的理想耐磨涂層,特別是由于其低的黏著傾向拓寬了在許多磨損系統中的應用,如汽車發動機的活塞密封環、各種軸承和齒輪等:此外,TiN還廣泛應用于成型技術工具涂層,如汽車工業中薄板成型工具的涂層等TiN薄膜無毒、質輕、強度高且具有優良的生物相容性,因此它是非常理想的醫用金屬材料,可用作植入人體的植入物和手術器械等閻。此外,氮化鈦薄膜還能作為其他優良生物相溶性薄膜的增強薄膜。國外的Nelea等人通過鍍制TiN薄膜中間層大幅度提高了醫用常用材料羥磷灰石薄膜(HA)的機械性能和附著力。鎮江鍍黑氮化鈦生產企業氮化鈦有較高的導電性可用作熔鹽電解的電極以及點觸頭、薄膜電阻等材料。
氮化鈦的制備方法有哪些
1金屬鈦粉或TiH
2直接氮化法2TiO2碳熱還原氮化法
3微波碳熱還原法
4物物理相沉積法
5化學氣相沉積法
6機械合金化法
7熔鹽合成法8溶膠-凝膠法9自蔓延高溫合成法TiN的性質及結構。
TiN屬于間隙相,熔點高達2955℃,原子之間的結合為共價鍵、金屬鍵及離子鍵的混合鍵,其中金屬原子間存在金屬鍵。因此,TiN薄膜具有高硬度(理論硬度21GPa)、優異的耐熱耐磨和耐腐蝕等特性,并且具有較好的金屬特性:金屬光澤、優良的導電性及超導性。TiN具有典型的NaCl型結構,屬于面心立方點陣(F.C.C),其中Ti原子占據面心立方的角頂。并且TiN是非計量化合物,Ti和N組成的化合物TiN1-x可以在很寬的組成范圍內穩定存在,其范圍為TiN0.6—TiN1.16。氮的含量可在一定范圍內變化而不引起TiN的結構變化。
在深亞微米(0.15μm及以下)集成電路制造中,后段工藝日趨重要,為降低阻容遲滯(RCDelay),保證信號傳輸,減小功耗,有必要對后段工藝進行改進,Via阻擋層MOCVD(Metal-organicChemicalVaporDeposition,金屬有機物化學氣相淀積)TiN是其中重要研究課題之一。本論文基于薄膜電阻的理論分析,從厚度、雜質濃度和晶體結構三大薄膜電阻影響因素出發系統研究MOCVDTiN材料在平面薄膜上和真實結構中的各種性質,重點是等離子體處理(PlasmaTreatment,PT)下的晶體生長,制備循環次數的選擇對薄膜雜質濃度、晶體結構及電阻性能的影響,不同工藝薄膜在真實結構中物理形貌、晶體結構和電阻性能的表現和規律,超薄TiN薄膜(<5nm)的實際應用等。俄歇能譜、透射電子顯微鏡和方塊電阻測試證明PT作用下雜質濃度降低,同時晶體生長,薄膜致密化而電阻率降低。PT具有飽和時間和深度,較厚薄膜需多循環制備以充分處理,發現薄膜厚度較小時(本實驗條件下為4nm),增加循環次數雖然進一步降低了雜質濃度,但會引入界面而使薄膜電阻率增加。通過TEM觀測發現由于等離子體運動的各向異性,真實結構中PT效率在側壁遠低于頂部和底部,這導致側壁薄膜在PT后更厚。有較為的硬度和耐磨性,用于開發新型刀具,這種新型的刀具比普通硬質合金刀具的耐用度和使用壽命顯著提高。
TiN薄膜無毒、質輕、強度高且具有優良的生物相容性,因此它是非常理想的醫用金屬材料,可用作植入人體的植入物和手術器械等閻。此外,氮化鈦薄膜還能作為其他優良生物相溶性薄膜的增強薄膜。國外的Nelea等人通過鍍制TiN薄膜中間層大幅度提高了醫用常用材料羥磷灰石薄膜(HA)的機械性能和附著力。用TiN薄膜涂覆在IF—MS2上。可以提高二鉬化硫潤滑劑的耐磨性。用TIN薄膜涂覆在IF—MS2上,因為它具有的高硬度、高熔點、高磨損抵抗力,優良的化學穩定性等特點,因此可以在提高飛機和航天器的發動機等零件的潤滑性能的同時,又可以保證航天零件的耐高溫和耐摩擦性能。TiN有著誘人的金黃色、熔點高、硬度大、化學穩定性好、與金屬的潤濕小的結構材料、并具有導電性和超導性。蘇州潤滑氮化鈦功能
氮化鈦具有良好導電性、高熔點、高硬度及耐磨耐酸堿腐蝕等特性,在開發高耐用的催化劑載體領域具應用前景。常州涂層氮化鈦價格
薄膜材料簡介制造業中高速切削和干式切削等先進技術的發展對刀具提出了較高的要求,作為刀具涂層的薄膜材料Ti N不僅要具有較高的硬度,而且要具有優良的耐磨性、耐熱性、韌性和良好的化學穩定性等。硬質薄膜表面涂層可以實現上述要求。硬質薄膜表面涂層通常指為提高構件表面耐磨性、耐腐蝕性、耐高溫性而涂覆于構件表面的膜層,厚度為幾納米到幾十微米,材料通常是一些由過渡族金屬與非金屬構成的金屬間化合物等。這些化合物一般由金屬鍵、共價鍵、離子鍵,以及離子鍵和金屬鍵的混合鍵鍵合,具有熔點高、硬度大的特征,通常還具有良好的化學穩定性和熱穩定性。基于以上特征和優點,硬質薄膜表面涂層已被廣泛應用于航空、工模具、電子等加工領域,并且在刀具、模具等方面有力推動了制造業的發展。氮化鈦是第一種產業化并被廣泛應用的硬質薄膜材料。氮化鈦薄膜具有硬度高、耐磨、耐熱、耐腐蝕等特性[1],為面心立方晶體結構,由金屬鍵、共價鍵和離子鍵混合而成,同時具有金屬晶體和共價晶體的特性。常州涂層氮化鈦價格
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