類金剛石薄膜(DLC)具有優(yōu)良的摩擦性能和力學性能，也具有較好的耐腐蝕性、組織相容性和血液相容性，可被廣泛應用于骨科、心血管和牙科等領域，是一種很有前途的生物醫(yī)學材料。實驗結論表明DLC有著較好的抗凝血性能，并且與其他醫(yī)用材料對比其抗凝血效果也更佳。另外發(fā)現(xiàn)DLC抑菌能力并不突出，但可通過摻雜其他元素、改變工藝參數(shù)等措施使其成為較為理想的無機抑菌薄膜材料。兩種性能的結合使DLC涂層可能成為人體植入材料的表面鍍層，提高對此類材料的生物學性能DLC涂層在模具上的應用，其他零部件：軸類、齒輪、軸承、凸輪和從動滾輪等。重慶耐磨DLC產品介紹DLC 按輪胎模具加工工藝制備35#鋼基體試樣,Teflon...

1. 類金剛石(diamond-like carbon,DLC)是一類含有金剛石結構(sp3雜化鍵)和石墨結構(sp2雜化鍵)的亞穩(wěn)態(tài)非晶物質，具有高硬度、耐腐蝕、低摩擦因數(shù)、耐磨損等優(yōu)良特性，但也存在著由于制備工藝、沉積參數(shù)等不同導致的內應力大、熱穩(wěn)定性差、摩擦學行為敏感等問題，明顯限制了其產業(yè)化應用。類金剛石薄膜的幾種常見制備方法:等離子增強化學氣相沉積法(PECVD)、脈沖激光沉積法(PLD)、磁過濾陰極真空電弧法(FCVA)、磁控濺射法(MS)。類金剛石(Diamond-like Carbon,DLC)薄膜是碳以sp3和sp2雜化鍵結合形成的一種亞穩(wěn)態(tài)非晶材料,具有高硬度、高耐磨性、良...

1輪胎模具DLC涂層代替Teflon涂層,解決Teflon涂層的硬度較低、耐磨性差這一難題,具有重要的現(xiàn)實意義。為探究DLC涂層在輪胎模具上應用的可行性,本課題主要進行了以下幾個方面的研究:(1)加工并制備了基體試樣,并在試樣上沉積了含氫DLC、無氫DLC和Teflon涂層。按照輪胎模具加工工藝制備35#鋼基體試樣,Teflon涂層完全按照輪胎模具涂層的工藝噴涂,含氫DLC、無氫DLC涂層分別采用等離子體增強化學氣相沉積和電弧離子鍍沉積。(2)對含氫DLC、無氫DLC和Teflon涂層的結構、成分和表面形貌進行了分析和比較。三種涂層具有不同的粗糙度、斷面結構、元素組成,而不同的成分、結構會對涂...

1.類金剛石(Diamond-likeCarbon,DLC)薄膜是碳以sp3和sp2雜化鍵結合形成的一種亞穩(wěn)態(tài)非晶材料,具有高硬度、高耐磨性、良好的透明性和生物相容性等獨特的性質。采用不同的工藝方法制備的DLC薄膜具有不同的微觀結構和性質。特別地,作為光學材料,DLC薄膜具有較寬的禁帶寬度和較低的折射率,且折射率可在一定范圍內調控。 2. 利用DLC來制備晶體硅表面的減反射膜,用于提高太陽能電池的光電轉化效率。使用磁控濺射沉積設備在單晶硅基體上制備了系列DLC薄膜,薄膜的折射率和與sp3含量有關,sp3含量越高,折射率越高。改變工藝參數(shù),DLC薄膜的折射率可在1.64～2.18之間變...

1. 柴油機關鍵部件活塞銷受到周期性的交變機械載荷和熱載荷作用,易因粘著導致磨損。為提高柴油機活塞銷的摩擦磨損性能,采用磁控濺射方法在活塞銷表面沉積了Cr、W、Cr與Ti 3種金屬摻雜的類金剛石薄膜(DLC)涂層，結果表明:3種涂層表面微觀形貌類似,致密、無明顯缺陷和孔洞,但都附著少量的顆粒物,相較而言摻雜Cr的DLC涂層表面更加平滑;摻雜Cr的DLC涂層,Cr以單質和CrC化合物形式存在,具有更高的膜-基結合強度、更優(yōu)的摩擦學性能;摻雜Cr與Ti的DLC涂層性能與摻雜Cr的DLC涂層類似,Cr、Ti以單質和CrC、Ti C化合物的形式存在;摻雜W的DLC涂層,由于生成了WC化合物,涂層脆性高...

DLC涂層的高硬度，防粘連及自潤滑性是有色金屬鉆孔，攻牙，鏡面銑削加工刀具理想的防護涂層，它在解決粘刀，粘著磨損方面比普通涂層有更出色的表現(xiàn)，這涂層刀具的使用壽命是普通刀具的數(shù)倍，加工出來的產品光潔度更高。由于DLC具有極低的摩擦系數(shù)（0.06~0.1）和自潤滑性，涂以DLC的刀具是干切削的比較好選擇。與沒有涂層的刀具相比，在干式切削的條件下DLC涂層刀具的切削力可下降6%；。與其它涂層的刀具相比（如涂以TiN，TiAlN），在干式切削的條件下DLC涂層刀具的切削力可下降23%；同樣也是因為DLC的低摩擦系數(shù)可使金屬切削（鋁合金切削）的切削力大為下降，從而部分降低能源消耗。在玻璃基底上添加DL...

1.DLC類金剛石（鍍鈦）涂層(diamondlikecarbon,簡稱DLC)是一種在微觀結構上含有金剛石成分的涂層。構成DLC的元素為碳。碳原子和碳原子之間的不同結合方式，使其較為終產生不同的物質：金剛石(Diamond)-碳碳以sp3健的形式結合；類金剛石(DLC)-碳碳以sp3和sp2健的形式結合；石墨(Graphite)-碳碳以sp2健的形式結合。DLC涂層的工業(yè)化生產開始于上世紀末和本世紀初，和普通的應用于模具上的硬質涂層（如TiN,TiAlN,CrN,TiCN等）相比是一種嶄新的涂層技術。目前在世界范圍內，能將這一技術很好應用的廠家也沒有。DLC是新一代硬質涂層技術和應用的典型材...

1. 類金剛石碳膜（Diamond-like carbon films，簡稱DLC膜）作為新型的硬質薄膜材料具有一系列優(yōu)異的性能，如高硬度、高耐磨性、高熱導率、高電阻率、良好的光學透明性、化學惰性等，可較為用于機械、電子、光學、熱學、聲學、醫(yī)學等領域，具有良好的應用前景。我們開發(fā)了等離子體-離子束源增強沉積系統(tǒng)，并同過該系統(tǒng)中的磁過濾真空陰極弧和非平衡磁控濺射來進行DLC膜的開發(fā)。該項技術較為用于電子、裝飾、宇航、機械和信息等領域，用于摩擦、光學功能等用途。我國技術正處于發(fā)展和完善階段，有巨大市場潛力。軋制麻花鉆是由軋制工藝成型，鉆頭溝槽的光潔度不高，合理拋光鉆頭溝槽后完全可以進行氮化鈦鍍膜處...

DLC涂層在模具上的應用①沖壓成形模具：凸模、凹模、精密沖裁、壓印成形零件等。②注塑成形模具：模腔和型芯、頂桿及各類鑲件等。③半導體模具：引腳成形模具的刀口件、封裝模具的成形鑲件和鑲塊等。④其他零部件：軸類、齒輪、軸承、凸輪和從動滾輪等。DLC涂層具有高硬度、表面平滑、低磨擦系數(shù)、易脫模、耐磨耗、耐酸堿、熱導性佳及低溫制程等特性。材料的高壓沖刷與顆粒很難對其造成損傷，因而遠比其它材料更適合應用在模具的保護上，大幅度地增加模具使用壽命。涂以DLC的沖壓模具主要應用包括：石墨切削，各種有色金屬切削，非金屬硬質材料切削等。鍍鈦DLC鍍黑鈦DLC 按輪胎模具加工工藝制備35#鋼基體試樣,Teflon...

DLC涂層的高硬度，防粘連及自潤滑性是有色金屬鉆孔，攻牙，鏡面銑削加工刀具理想的防護涂層，它在解決粘刀，粘著磨損方面比普通涂層有更出色的表現(xiàn)，這涂層刀具的使用壽命是普通刀具的數(shù)倍，加工出來的產品光潔度更高。由于DLC具有極低的摩擦系數(shù)（0.06~0.1）和自潤滑性，涂以DLC的刀具是干切削的比較好選擇。與沒有涂層的刀具相比，在干式切削的條件下DLC涂層刀具的切削力可下降6%；。與其它涂層的刀具相比（如涂以TiN，TiAlN），在干式切削的條件下DLC涂層刀具的切削力可下降23%；同樣也是因為DLC的低摩擦系數(shù)可使金屬切削（鋁合金切削）的切削力大為下降，從而部分降低能源消耗。國外采用DLC，提高...

1.DLC類金剛石（鍍鈦）涂層(diamondlikecarbon,簡稱DLC)是一種在微觀結構上含有金剛石成分的涂層。構成DLC的元素為碳。碳原子和碳原子之間的不同結合方式，使其較為終產生不同的物質：金剛石(Diamond)-碳碳以sp3健的形式結合；類金剛石(DLC)-碳碳以sp3和sp2健的形式結合；石墨(Graphite)-碳碳以sp2健的形式結合。DLC涂層的工業(yè)化生產開始于上世紀末和本世紀初，和普通的應用于模具上的硬質涂層（如TiN,TiAlN,CrN,TiCN等）相比是一種嶄新的涂層技術。目前在世界范圍內，能將這一技術很好應用的廠家也沒有。DLC是新一代硬質涂層技術和應用的典型材...

1. 利用DLC來制備晶體硅表面的減反射膜,用于提高太陽能電池的光電轉化效率。使用磁控濺射沉積設備在單晶硅基體上制備了系列DLC薄膜,薄膜的折射率和與sp3含量有關,sp3含量越高,折射率越高。改變工藝參數(shù),DLC薄膜的折射率可在1.64～2.18之間變化。DLC薄膜消光系數(shù)與DLC薄膜中sp2相的含量有關。sp2含量越高,消光系數(shù)越高。甲烷濃度對DLC薄膜光學性質的影響,隨著甲烷濃度的增加,DLC薄膜的透射率呈現(xiàn)逐漸減少的趨勢。當甲烷濃度在5SCCM以下時,薄膜的透光性比較好，在硅基底上添加多層DLC薄膜能夠實現(xiàn)在可見光區(qū)的多波段減反射效果。在玻璃基底上添加DLC薄膜能夠實現(xiàn)在可見光區(qū)的多波...

1. 隨著世界能源需求總量的持續(xù)增長，新型能源的轉換利用與存儲成為目前科學研究的熱點問題。燃料電池作為相當有前景的能源轉換技術之一，因其能量轉化效率高、環(huán)境友好、能量密度高、燃料范圍廣等獨特優(yōu)勢受到來自學術界和產業(yè)界的明顯關注。氧還原反應(ORR)是燃料電池陰極重要的電極反應，然而其動力學過程緩慢、高度依賴于貴金屬鉑、長時間運行后催化性能和耐久性急劇退化，現(xiàn)已嚴重制約燃料電池商業(yè)化的大規(guī)模推廣和應用。因此，研發(fā)低成本、高活性和高穩(wěn)定性的催化劑對推動燃料電池商業(yè)化具有重要意義。氮化鈦(TiN)材料因具有良好導電性、高熔點、高硬度及耐磨耐酸堿腐蝕等優(yōu)異特性，在開發(fā)高度耐用的催化劑載體領域極具應用前...

1. 為提高船用低速柴油機柱塞的耐磨性和柱塞偶件使用壽命，采用離子鍍技術與多弧磁控耦合鍍膜技術分別在柱塞上涂覆了TiN涂層和DLC涂層。這2種涂層晶體生長良好、結構連續(xù)致密，均未出現(xiàn)分層、開裂及剝離的現(xiàn)象，DLC涂層相對光滑，粗糙度Ra為0.10μm,而TiN涂層Ra為0.16μm; DLC涂層表面納米硬度、彈性模量及泊松比均高于TiN涂層；無論在空氣中還是重油環(huán)境下，TiN涂層摩擦系數(shù)均高于DLC涂層，耐磨性低于DLC涂層；臺架試驗后TiN涂層柱塞表面出現(xiàn)比較明顯的平行狀溝槽磨痕，而且整體磨損比較嚴重，而DLC涂層柱塞表面的磨痕非常窄并且淺，不易被發(fā)現(xiàn)，進一步證明DLC的耐磨損性能更優(yōu)越。D...

1.通過調節(jié)DLC薄膜的沉積工藝可以改變DLC薄膜中sp2雜化碳的含量以及氫的含量,進而影響DLC薄膜的摩擦性能;真空、惰性氣體和低濕環(huán)境有利于獲得更好的摩擦效果;過渡層和偏壓有利于提高DLC薄膜與基底之間的附著力,其摩擦性能也會得到提升。 2.類金剛石膜是無定形碳中含sp3鍵的亞穩(wěn)態(tài)結構。由于它的組成、光學透過率、硬度、折射率和在化學腐蝕劑中的惰性以及抗摩擦性能十分相似于金剛石,其應用領域不斷被拓寬,因此對類金剛石的研究也日益成為熱點。 8. 以類金剛石(DLC)薄膜作為電極進行污水處理時,具有比IrO2/Ta2O5鈦涂層電極、PbO2等電極更好的氧化效果。北京醫(yī)療器械DLC產品介...

1. 隨著世界能源需求總量的持續(xù)增長，新型能源的轉換利用與存儲成為目前科學研究的熱點問題。燃料電池作為相當有前景的能源轉換技術之一，因其能量轉化效率高、環(huán)境友好、能量密度高、燃料范圍廣等獨特優(yōu)勢受到來自學術界和產業(yè)界的明顯關注。氧還原反應(ORR)是燃料電池陰極重要的電極反應，然而其動力學過程緩慢、高度依賴于貴金屬鉑、長時間運行后催化性能和耐久性急劇退化，現(xiàn)已嚴重制約燃料電池商業(yè)化的大規(guī)模推廣和應用。因此，研發(fā)低成本、高活性和高穩(wěn)定性的催化劑對推動燃料電池商業(yè)化具有重要意義。氮化鈦(TiN)材料因具有良好導電性、高熔點、高硬度及耐磨耐酸堿腐蝕等優(yōu)異特性，在開發(fā)高度耐用的催化劑載體領域極具應用前...

DLC涂層的主要性能1、力學性能a、硬度及彈性模量。不同的沉積方法制備的DLC膜硬度及彈性模量差異很大，用磁過濾陰極電弧法可以制備出硬度達到甚至超過金剛石的DLC膜，用陰極電弧法制備的DLC膜比較高硬度可達50GPa以上，而用離子源結合非平衡磁控濺射法制備的DLC膜硬度達21GPa。膜層內的成分對膜層的硬度有一定的影響，Si、N的摻入可以提高DLC膜的硬度。DLC膜具有較高的彈性模量，雖低于金剛石（110GPa），但明顯高于一般金屬和陶瓷的彈性模量。b、內應力和結合強度。薄膜的內應力和結合強度是決定薄膜的穩(wěn)定性和使用壽命，影響薄膜性能的兩個重要因素，內應力高和結合強度低的DLC膜容易在應用中產...

1.醫(yī)用植入器件的生物相容性與表面性能密切相關，對其進行有效的表面改性處理是提高其生物相容性的途徑之一。類金剛石薄膜具有良好的細胞相容性、血液相容性及彈性、化學惰性等特點，而成為一種很有應用前景的生物膜材料。本文針對植入器件用316L不銹鋼材料， 2.分析發(fā)現(xiàn)：上述膜改性體系的耐蝕性能與薄膜的結構和成分密切相關。它們的腐蝕是由于膜層中存在的缺陷導致的，膜層本身并不參加電化學反應。電化學腐蝕反應過程為：1)形成閉塞電池；2)自催化過程促進基體材料的腐蝕；3)由于基體材料被破壞，薄膜出現(xiàn)剝離現(xiàn)象。 9. 為提高船用低速柴油機柱塞的耐磨性和柱塞偶件使用壽命，分別在柱塞上涂覆了TiN涂層和D...

1.類石墨碳是含氫類金剛石中的接著一類，它具有類似于石墨的特性，sp2在含量較高在百分之七十左右。現(xiàn)代，類金剛石碳膜因同時具有高硬度和低摩擦系數(shù)而引起較為關注,然而,它與工業(yè)中常用的鐵基材料存在“觸媒效應”,即,鍍的刀具在加工黑色金屬的過程中高硬度砂鍵會轉化成軟的護鍵,使耐磨性急劇下降,因此限制了它的應用范圍年限,柳襄懷等采用離子束輔助沉積功技術制備出了用于滿足電磁功能要求的“石墨化”的膜年,提出存在高硬度“碳結構”，其后,英國及公司采用全封閉非平衡磁控濺射制備出了高硬度碳膜案例一鍍層閱研究表明一以砂結構為主,在與鋼鐵材料摩擦時未出現(xiàn)“觸媒效應”且硬度適中、摩擦系數(shù)小、比磨損率較低一個數(shù)量級,...

1. 類金剛石碳膜（Diamond-like carbon films，簡稱DLC膜）作為新型的硬質薄膜材料具有一系列優(yōu)異的性能，如高硬度、高耐磨性、高熱導率、高電阻率、良好的光學透明性、化學惰性等，可較為用于機械、電子、光學、熱學、聲學、醫(yī)學等領域，具有良好的應用前景。我們開發(fā)了等離子體-離子束源增強沉積系統(tǒng)，并同過該系統(tǒng)中的磁過濾真空陰極弧和非平衡磁控濺射來進行DLC膜的開發(fā)。該項技術較為用于電子、裝飾、宇航、機械和信息等領域，用于摩擦、光學功能等用途。我國技術正處于發(fā)展和完善階段，有巨大市場潛力。DLC膜的開發(fā)，該項技術適合用于電子、裝飾、宇航、機械和信息等領域，用于摩擦、光學功能等用途...

1.DLC類金剛石（鍍鈦）涂層(diamondlikecarbon,簡稱DLC)是一種在微觀結構上含有金剛石成分的涂層。構成DLC的元素為碳。碳原子和碳原子之間的不同結合方式，使其較為終產生不同的物質：金剛石(Diamond)-碳碳以sp3健的形式結合；類金剛石(DLC)-碳碳以sp3和sp2健的形式結合；石墨(Graphite)-碳碳以sp2健的形式結合。DLC涂層的工業(yè)化生產開始于上世紀末和本世紀初，和普通的應用于模具上的硬質涂層（如TiN,TiAlN,CrN,TiCN等）相比是一種嶄新的涂層技術。目前在世界范圍內，能將這一技術很好應用的廠家也沒有。DLC是新一代硬質涂層技術和應用的典型材...

DLC涂層簡介 DLC涂層在在刀具上的應用，采用涂層技術可有效提高切削刀具使用壽命，使刀具獲得優(yōu)良的綜合機械性能，從而大幅度提高機械加工效率。DLC涂層是工業(yè)領域常用涂層之一，是一種由碳元素構成、在性質上和鉆石類似，同時又具有石墨原子組成結構的涂層物質。 類金剛石（DLC）涂層是一種非晶態(tài)薄膜，具有高硬度和高彈性模量、低摩擦因數(shù)、耐磨損以及良好的真空摩擦特性，因此通常作為耐磨涂層使用。 DLC涂層可以使用各種薄膜沉積技術生產，包括物物物理相沉積 (PVD) ，等離子增強化學氣相沉積 (PECVD) ，離子束輔助沉積 (IBAD) ，陰極電弧沉積 (CAD) 和脈沖激光沉積...

DLC涂層的主要性能1、力學性能a、硬度及彈性模量。不同的沉積方法制備的DLC膜硬度及彈性模量差異很大，用磁過濾陰極電弧法可以制備出硬度達到甚至超過金剛石的DLC膜，用陰極電弧法制備的DLC膜比較高硬度可達50GPa以上，而用離子源結合非平衡磁控濺射法制備的DLC膜硬度達21GPa。膜層內的成分對膜層的硬度有一定的影響，Si、N的摻入可以提高DLC膜的硬度。DLC膜具有較高的彈性模量，雖低于金剛石（110GPa），但明顯高于一般金屬和陶瓷的彈性模量。b、內應力和結合強度。薄膜的內應力和結合強度是決定薄膜的穩(wěn)定性和使用壽命，影響薄膜性能的兩個重要因素，內應力高和結合強度低的DLC膜容易在應用中產...

1. 類金剛石(DLC)薄膜由于其優(yōu)異的減摩耐磨性以及良好的生物相容性被引入到人工關節(jié)材質中。該文綜述了DLC薄膜在人工關節(jié)摩擦副表面改性的研究現(xiàn)狀,包括DLC薄膜的分類、制備方法及內應力。介紹了提高DLC膜基結合力的方法及DLC薄膜生物相容性的研究進展。接著,對不同DLC薄膜人工關節(jié)摩擦副的研究成果進行了闡述。然后,針對DLC薄膜存在的問題提出了今后DLC薄膜人造關節(jié)的研究方向。關節(jié)置換術是目前解決關節(jié)疾病明顯直接、有效的手段,隨著國民經濟的增長,人工關節(jié)在我國的需求量不斷增加。通過比較發(fā)現(xiàn),類金剛石(DLC)薄膜在提高人工關節(jié)耐磨損、耐腐蝕性能方面具有更好的應用前景。9. 為提高船用低速柴...

1. 為改善鈦雙極板在質子交換膜(PEM)水電解槽環(huán)境中的耐腐蝕性能和導電性能，采用電泳沉積-熱處理兩步法在鈦基底表面制備碳摻雜氮化鈦(C-TiN)復合保護涂層，并在0.5 mol/L的H2SO4和5 mg/L的F-溶液中模擬PEM水電解槽陽極環(huán)境測試其電化學腐蝕性。結果表明，電泳沉積及熱處理改善了氮化鈦納米顆粒的連通性，增強了涂層與襯底的粘附力，實現(xiàn)了電子在電活性材料中快速傳遞。400℃下制備的碳摻雜氮化鈦涂層(C-TiN-400℃),其導電性與耐蝕性均得到明顯提升；相比于未處理的樣品，鍍有C-TiN-400℃涂層的樣品在146.3 N/cm2壓力下的接觸電阻可達到2.25 mΩ·cm2。在...

1.類石墨碳是含氫類金剛石中的接著一類，它具有類似于石墨的特性，sp2在含量較高在百分之七十左右。現(xiàn)代，類金剛石碳膜因同時具有高硬度和低摩擦系數(shù)而引起較為關注,然而,它與工業(yè)中常用的鐵基材料存在“觸媒效應”,即,鍍的刀具在加工黑色金屬的過程中高硬度砂鍵會轉化成軟的護鍵,使耐磨性急劇下降,因此限制了它的應用范圍年限,柳襄懷等采用離子束輔助沉積功技術制備出了用于滿足電磁功能要求的“石墨化”的膜年,提出存在高硬度“碳結構”，其后,英國及公司采用全封閉非平衡磁控濺射制備出了高硬度碳膜案例一鍍層閱研究表明一以砂結構為主,在與鋼鐵材料摩擦時未出現(xiàn)“觸媒效應”且硬度適中、摩擦系數(shù)小、比磨損率較低一個數(shù)量級,...

DLC涂層的主要性能1、力學性能a、硬度及彈性模量。不同的沉積方法制備的DLC膜硬度及彈性模量差異很大，用磁過濾陰極電弧法可以制備出硬度達到甚至超過金剛石的DLC膜，用陰極電弧法制備的DLC膜比較高硬度可達50GPa以上，而用離子源結合非平衡磁控濺射法制備的DLC膜硬度達21GPa。膜層內的成分對膜層的硬度有一定的影響，Si、N的摻入可以提高DLC膜的硬度。DLC膜具有較高的彈性模量，雖低于金剛石（110GPa），但明顯高于一般金屬和陶瓷的彈性模量。b、內應力和結合強度。薄膜的內應力和結合強度是決定薄膜的穩(wěn)定性和使用壽命，影響薄膜性能的兩個重要因素，內應力高和結合強度低的DLC膜容易在應用中產...

1. 類金剛石(diamond-like carbon,DLC)是一類含有金剛石結構(sp3雜化鍵)和石墨結構(sp2雜化鍵)的亞穩(wěn)態(tài)非晶物質，具有高硬度、耐腐蝕、低摩擦因數(shù)、耐磨損等優(yōu)良特性，但也存在著由于制備工藝、沉積參數(shù)等不同導致的內應力大、熱穩(wěn)定性差、摩擦學行為敏感等問題，明顯限制了其產業(yè)化應用。類金剛石薄膜的幾種常見制備方法:等離子增強化學氣相沉積法(PECVD)、脈沖激光沉積法(PLD)、磁過濾陰極真空電弧法(FCVA)、磁控濺射法(MS)。類金剛石(Diamond-like Carbon,DLC)薄膜是碳以sp3和sp2雜化鍵結合形成的一種亞穩(wěn)態(tài)非晶材料,具有高硬度、高耐磨性、良...

分析CrN過渡層與不同膜厚對DLC薄膜性能的影響,及涂層模具的成型特性。方法采用PECVD方法在718合金試樣及模具表面沉積Cr N/DLC復合膜,預設Cr N過渡層厚度為0.2μm,DLC膜層厚度為0.5～1.2μm。采用無損設備對不同沉積時間(10、15、20、25、30、35 min)的薄膜厚度進行表征,并使用掃描電子顯微鏡(SEM)觀察薄膜表面及截面結構特征。采用拉曼光譜(Raman)分析不同厚度DLC膜的峰位信息以及sp3-C/sp2-C的比例關系,用納米壓痕儀表征膜層硬度,用硬度計分析膜/基結合力,用輪廓儀表征薄膜表面特征,并探討膜厚對薄膜性能的影響機制。結果薄膜的厚度值在預設范圍...

1. 類金剛石(diamond-like carbon,DLC)是一類含有金剛石結構(sp3雜化鍵)和石墨結構(sp2雜化鍵)的亞穩(wěn)態(tài)非晶物質，具有高硬度、耐腐蝕、低摩擦因數(shù)、耐磨損等優(yōu)良特性，但也存在著由于制備工藝、沉積參數(shù)等不同導致的內應力大、熱穩(wěn)定性差、摩擦學行為敏感等問題，明顯限制了其產業(yè)化應用。類金剛石薄膜的幾種常見制備方法:等離子增強化學氣相沉積法(PECVD)、脈沖激光沉積法(PLD)、磁過濾陰極真空電弧法(FCVA)、磁控濺射法(MS)。類金剛石(Diamond-like Carbon,DLC)薄膜是碳以sp3和sp2雜化鍵結合形成的一種亞穩(wěn)態(tài)非晶材料,具有高硬度、高耐磨性、良...