1.DLC類金剛石(鍍鈦)涂層(diamondlikecarbon,簡稱DLC)是一種在微觀結構上含有金剛石成分的涂層。構成DLC的元素為碳。碳原子和碳原子之間的不同結合方式,使其較為終產生不同的物質:金剛石(Diamond)-碳碳以sp3健的形式結合;類金剛石(DLC)-碳碳以sp3和sp2健的形式結合;石墨(Graphite)-碳碳以sp2健的形式結合。DLC涂層的工業化生產開始于上世紀末和本世紀初,和普通的應用于模具上的硬質涂層(如TiN,TiAlN,CrN,TiCN等)相比是一種嶄新的涂層技術。目前在世界范圍內,能將這一技術很好應用的廠家也沒有。DLC是新一代硬質涂層技術和應用的典型材...
類金剛石涂層是一種與金剛石涂層性能相似的新型薄膜材料,它具有較高的硬度,良好的熱傳導率,極低的摩擦系數,優異的電絕緣性能,高的化學穩定性及紅外透光性能.類金剛石涂層作為質量硬質涂層的材料,在不同領域展現了適合的應用前景,國內外對它的研究一直是熱點問題,然而由于涂層過程和摩擦磨損過程影響因素眾多,對于涂層疲勞磨損作用機理和失效機理的研究目前還遠遠不夠.本文以等離子增強化學氣相沉積法在45鋼基體表面上噴涂類金剛石涂層,與45淬火鋼組成圓盤滾滑摩擦副,在M-2000型磨損試驗機上進行了全接觸,水平往復運動,垂直運動三種不同工況下的疲勞磨損試驗研究,并根據試驗數據和現象對不同工況下類金剛石涂層的摩擦磨...
1.類金剛石(diamond-likecarbon,DLC)是一類含有金剛石結構(sp3雜化鍵)和石墨結構(sp2雜化鍵)的亞穩態非晶物質,具有高硬度、耐腐蝕、低摩擦因數、耐磨損等優良特性,但也存在著由于制備工藝、沉積參數等不同導致的內應力大、熱穩定性差、摩擦學行為敏感等問題,明顯限制了其產業化應用。2.類金剛石薄膜的幾種常見制備方法如下:等離子增強化學氣相沉積法(PECVD)、脈沖激光沉積法(PLD)、磁過濾陰極真空電弧法(FCVA)、磁控濺射法(MS)。采用DLC涂層可有效提高切削刀具使用壽命,使刀具獲得優良的綜合機械性能,從而大幅度提高機械加工效率。泰州耐磨DLC鍍黑鈦DLCDLC涂層簡...
1.類金剛石(DLC)薄膜由于其優異的減摩耐磨性以及良好的生物相容性被引入到人工關節材質中。該文綜述了DLC薄膜在人工關節摩擦副表面改性的研究現狀,包括DLC薄膜的分類、制備方法及內應力。介紹了提高DLC膜基結合力的方法及DLC薄膜生物相容性的研究進展。接著,對不同DLC薄膜人工關節摩擦副的研究成果進行了闡述。然后,針對DLC薄膜存在的問題提出了今后DLC薄膜人造關節的研究方向。關節置換術是目前解決關節疾病明顯直接、有效的手段,隨著國民經濟的增長,人工關節在我國的需求量不斷增加。通過比較發現,類金剛石(DLC)薄膜在提高人工關節耐磨損、耐腐蝕性能方面具有更好的應用前景。類金剛石(Diamond...
目的比較分析CrN過渡層與不同膜厚對DLC薄膜性能的影響,以及涂層模具的成型特性。方法采用PECVD方法在718合金試樣及模具表面沉積CrN/DLC復合膜,預設CrN過渡層厚度為0.2μm,DLC膜層厚度為0.5~1.2μm。采用無損設備對不同沉積時間(10、15、20、1.以類金剛石(DLC)薄膜作為電極進行污水處理時,具有比IrO2/Ta2O5鈦涂層電極、PbO2等電極更好的氧化效果,這是由于DLC具有更寬的電勢窗口和更低的背景電流.此外,DLC還具有耐酸、耐腐蝕以及低吸附特性等特點,不會在酸性、腐蝕性的污水中破損,因此比其他的電極更適合在污水中長時間工作.為此,對DLC的制備、DLC電極...
類金剛石涂層是一種與金剛石涂層性能相似的新型薄膜材料,它具有較高的硬度,良好的熱傳導率,極低的摩擦系數,優異的電絕緣性能,高的化學穩定性及紅外透光性能.類金剛石涂層作為質量硬質涂層的材料,在不同領域展現了適合的應用前景,國內外對它的研究一直是熱點問題,然而由于涂層過程和摩擦磨損過程影響因素眾多,對于涂層疲勞磨損作用機理和失效機理的研究目前還遠遠不夠.本文以等離子增強化學氣相沉積法在45鋼基體表面上噴涂類金剛石涂層,與45淬火鋼組成圓盤滾滑摩擦副,在M-2000型磨損試驗機上進行了全接觸,水平往復運動,垂直運動三種不同工況下的疲勞磨損試驗研究,并根據試驗數據和現象對不同工況下類金剛石涂層的摩擦磨...
1.隨著世界能源需求總量的持續增長,新型能源的轉換利用與存儲成為目前科學研究的熱點問題。燃料電池作為相當有前景的能源轉換技術之一,因其能量轉化效率高、環境友好、能量密度高、燃料范圍廣等獨特優勢受到來自學術界和產業界的明顯關注。氧還原反應(ORR)是燃料電池陰極重要的電極反應,然而其動力學過程緩慢、高度依賴于貴金屬鉑、長時間運行后催化性能和耐久性急劇退化,現已嚴重制約燃料電池商業化的大規模推廣和應用。因此,研發低成本、高活性和高穩定性的催化劑對推動燃料電池商業化具有重要意義。氮化鈦(TiN)材料因具有良好導電性、高熔點、高硬度及耐磨耐酸堿腐蝕等優異特性,在開發高度耐用的催化劑載體領域極具應用前景...
1.DLC類金剛石(鍍鈦)涂層(diamondlikecarbon,簡稱DLC)是一種在微觀結構上含有金剛石成分的涂層。構成DLC的元素為碳。碳原子和碳原子之間的不同結合方式,使其較為終產生不同的物質:金剛石(Diamond)-碳碳以sp3健的形式結合;類金剛石(DLC)-碳碳以sp3和sp2健的形式結合;石墨(Graphite)-碳碳以sp2健的形式結合。DLC涂層的工業化生產開始于上世紀末和本世紀初,和普通的應用于模具上的硬質涂層(如TiN,TiAlN,CrN,TiCN等)相比是一種嶄新的涂層技術。目前在世界范圍內,能將這一技術很好應用的廠家也沒有。DLC是新一代硬質涂層技術和應用的典型材...
醫用植入器件的生物相容性與表面性能密切相關,對其進行有效的表面改性處理是提高其生物相容性的途徑之一。類金剛石薄膜具有良好的細胞相容性、血液相容性及彈性、化學惰性等特點,而成為一種很有應用前景的生物膜材料。本文針對植入器件用316L不銹鋼材料,分析發現:上述膜改性體系的耐蝕性能與薄膜的結構和成分密切相關。它們的腐蝕是由于膜層中存在的缺陷導致的,膜層本身并不參加電化學反應。電化學腐蝕反應過程為:1)形成閉塞電池;2)自催化過程促進基體材料的腐蝕;3)由于基體材料被破壞,薄膜出現剝離現象。類金剛石涂層作為質量硬質涂層的材料,在不同領域展現了適合的應用前景,國內外對它的研究一直是熱點問題。寧波鍍鈦DL...
1輪胎模具DLC涂層代替Teflon涂層,解決Teflon涂層的硬度較低、耐磨性差這一難題,具有重要的現實意義。為探究DLC涂層在輪胎模具上應用的可行性,本課題主要進行了以下幾個方面的研究:(1)加工并制備了基體試樣,并在試樣上沉積了含氫DLC、無氫DLC和Teflon涂層。按照輪胎模具加工工藝制備35#鋼基體試樣,Teflon涂層完全按照輪胎模具涂層的工藝噴涂,含氫DLC、無氫DLC涂層分別采用等離子體增強化學氣相沉積和電弧離子鍍沉積。(2)對含氫DLC、無氫DLC和Teflon涂層的結構、成分和表面形貌進行了分析和比較。三種涂層具有不同的粗糙度、斷面結構、元素組成,而不同的成分、結構會對涂...
1.DLC薄膜結構、性能及其制備方法,并結合目前DLC薄膜在人工關節摩擦配副表面改性中應用所面臨的主要問題,介紹了目前用于降低DLC薄膜內應力、增加DLC薄膜/基體結合力的方法。通過調節DLC薄膜的沉積工藝可以改變DLC薄膜中sp2雜化碳的含量以及氫的含量,進而影響DLC薄膜的摩擦性能;真空、惰性氣體和低濕環境有利于獲得更好的摩擦效果;過渡層和偏壓有利于提高DLC薄膜與基底之間的附著力,其摩擦性能也會得到提升。類金剛石膜是無定形碳中含sp3鍵的亞穩態結構。由于它的組成、光學透過率、硬度、折射率和在化學腐蝕劑中的惰性以及抗摩擦性能十分相似于金剛石,其應用領域不斷被拓寬,因此對類金剛石的研究也日益...
1.類金剛石碳膜(Diamond-likecarbonfilms,簡稱DLC膜)作為新型的硬質薄膜材料具有一系列優異的性能,如高硬度、高耐磨性、高熱導率、高電阻率、良好的光學透明性、化學惰性等,可較為用于機械、電子、光學、熱學、聲學、醫學等領域,具有良好的應用前景。我們開發了等離子體-離子束源增強沉積系統,并同過該系統中的磁過濾真空陰極弧和非平衡磁控濺射來進行DLC膜的開發。該項技術較為用于電子、裝飾、宇航、機械和信息等領域,用于摩擦、光學功能等用途。我國技術正處于發展和完善階段,有巨大市場潛力。DLC膜被稱為非晶碳膜,具有良好的耐磨蝕性、抗摩擦氧化性和附著性,適用于極端磨損情況和高相對速度使...
采用拉曼光譜(Raman)分析不同厚度DLC膜的峰位信息以及sp3-C/sp2-C的比例關系,用納米壓痕儀表征膜層硬度,用硬度計分析膜/基結合力,用輪廓儀表征薄膜表面特征,并探討膜厚對薄膜性能的影響機制。結果薄膜的厚度值在預設范圍以內,該方法制備的薄膜結構致密,表面光滑,無分層、凹坑、液滴粘附等缺陷。隨涂層厚度的增加,薄膜中sp3-C/sp2-C的比例呈先減小后增大的趨勢,G峰也先向D峰靠近,而后遠離。薄膜硬度同樣隨膜層厚度的增加呈先增加后減小的趨勢,1.06μm厚的CrN/DLC膜的硬度比較高(3600HV)。薄膜的結合力等級比較高可以達到工業級的HF2。表面輪廓無較大量動,表面粗糙度Ra比...
1.通過調節DLC薄膜的沉積工藝可以改變DLC薄膜中sp2雜化碳的含量以及氫的含量,進而影響DLC薄膜的摩擦性能;真空、惰性氣體和低濕環境有利于獲得更好的摩擦效果;過渡層和偏壓有利于提高DLC薄膜與基底之間的附著力,其摩擦性能也會得到提升。2.類金剛石膜是無定形碳中含sp3鍵的亞穩態結構。由于它的組成、光學透過率、硬度、折射率和在化學腐蝕劑中的惰性以及抗摩擦性能十分相似于金剛石,其應用領域不斷被拓寬,因此對類金剛石的研究也日益成為熱點。DLC將摩擦損失降至較為小,良好的耐腐蝕性使基體免受破壞性攻擊。青島納米DLC加工中心DLCDLC涂層在模具上的應用①沖壓成形模具:凸模、凹模、精密沖裁、壓印成...
1.類金剛石(diamond-likecarbon,DLC)是一類含有金剛石結構(sp3雜化鍵)和石墨結構(sp2雜化鍵)的亞穩態非晶物質,具有高硬度、耐腐蝕、低摩擦因數、耐磨損等優良特性,但也存在著由于制備工藝、沉積參數等不同導致的內應力大、熱穩定性差、摩擦學行為敏感等問題,明顯限制了其產業化應用。類金剛石薄膜的幾種常見制備方法:等離子增強化學氣相沉積法(PECVD)、脈沖激光沉積法(PLD)、磁過濾陰極真空電弧法(FCVA)、磁控濺射法(MS)。類金剛石(Diamond-likeCarbon,DLC)薄膜是碳以sp3和sp2雜化鍵結合形成的一種亞穩態非晶材料,具有高硬度、高耐磨性、良好的透...
1.DLC薄膜結構、性能及其制備方法,并結合目前DLC薄膜在人工關節摩擦配副表面改性中應用所面臨的主要問題,介紹了目前用于降低DLC薄膜內應力、增加DLC薄膜/基體結合力的方法。通過調節DLC薄膜的沉積工藝可以改變DLC薄膜中sp2雜化碳的含量以及氫的含量,進而影響DLC薄膜的摩擦性能;真空、惰性氣體和低濕環境有利于獲得更好的摩擦效果;過渡層和偏壓有利于提高DLC薄膜與基底之間的附著力,其摩擦性能也會得到提升。類金剛石膜是無定形碳中含sp3鍵的亞穩態結構。由于它的組成、光學透過率、硬度、折射率和在化學腐蝕劑中的惰性以及抗摩擦性能十分相似于金剛石,其應用領域不斷被拓寬,因此對類金剛石的研究也日益...
1.柴油機關鍵部件活塞銷受到周期性的交變機械載荷和熱載荷作用,易因粘著導致磨損。為提高柴油機活塞銷的摩擦磨損性能,采用磁控濺射方法在活塞銷表面沉積了Cr、W、Cr與Ti3種金屬摻雜的類金剛石薄膜(DLC)涂層,結果表明:3種涂層表面微觀形貌類似,致密、無明顯缺陷和孔洞,但都附著少量的顆粒物,相較而言摻雜Cr的DLC涂層表面更加平滑;摻雜Cr的DLC涂層,Cr以單質和CrC化合物形式存在,具有更高的膜-基結合強度、更優的摩擦學性能;摻雜Cr與Ti的DLC涂層性能與摻雜Cr的DLC涂層類似,Cr、Ti以單質和CrC、TiC化合物的形式存在;摻雜W的DLC涂層,由于生成了WC化合物,涂層脆性高,韌性...
DLC涂層適用于極端磨損情況和高相對速度,甚至是在無潤滑運轉的條件下使用,具有較好的耐磨蝕性、抗摩擦氧化性和附著性(防磨損),可承受在正常條件下會立刻導致磨損和冷焊的表面壓力,將摩擦損失降至比較小,良好的耐腐蝕性使基體免受破壞性攻擊。DLC涂層在醫療器械的應用近年研究發現,以DLC涂層具有很好的生物相容性,它對蛋白質的吸附率高,對血小板的吸附率低,促進材料表面白蛋白和內皮細胞的吸附以及減小血小板吸附,從而減少血液凝固的可能性,使生物組織與植入的人工材料和平相處,不發生排斥反應,可作為人工關節材料、齒科材料、人工骨、人工心瓣材料、手術針和醫用導管等的表面涂層。在以非燃油為燃料的新能源汽車發動機中...
1.類金剛石(Diamond-likeCarbon,DLC)薄膜是碳以sp3和sp2雜化鍵結合形成的一種亞穩態非晶材料,具有高硬度、高耐磨性、良好的透明性和生物相容性等獨特的性質。采用不同的工藝方法制備的DLC薄膜具有不同的微觀結構和性質。特別地,作為光學材料,DLC薄膜具有較寬的禁帶寬度和較低的折射率,且折射率可在一定范圍內調控。2.利用DLC來制備晶體硅表面的減反射膜,用于提高太陽能電池的光電轉化效率。使用磁控濺射沉積設備在單晶硅基體上制備了系列DLC薄膜,薄膜的折射率和與sp3含量有關,sp3含量越高,折射率越高。改變工藝參數,DLC薄膜的折射率可在1.64~2.18之間變化。DLC薄膜...
1.利用DLC來制備晶體硅表面的減反射膜,用于提高太陽能電池的光電轉化效率。使用磁控濺射沉積設備在單晶硅基體上制備了系列DLC薄膜,薄膜的折射率和與sp3含量有關,sp3含量越高,折射率越高。改變工藝參數,DLC薄膜的折射率可在1.64~2.18之間變化。DLC薄膜消光系數與DLC薄膜中sp2相的含量有關。sp2含量越高,消光系數越高。甲烷濃度對DLC薄膜光學性質的影響,隨著甲烷濃度的增加,DLC薄膜的透射率呈現逐漸減少的趨勢。當甲烷濃度在5SCCM以下時,薄膜的透光性比較好,在硅基底上添加多層DLC薄膜能夠實現在可見光區的多波段減反射效果。在玻璃基底上添加DLC薄膜能夠實現在可見光區的多波段...
DLC涂層與天然鉆石一樣硬,甚至更硬,切削刀具涂上極高硬度和低摩擦的DLC,它可以劃傷鉆石,在上面留下劃痕。類金剛石碳(DLC)涂層在維氏硬度測試中測量4000-9000HV,其他類型硬度范圍1000-4000HV。因此,DLC涂層可以代替鉆石的某些特性,應用于許多常見材料的表面。DLC涂層較好用于:各種模具、五金模具、五金沖壓模、沖針、鎢鋼模具、五金拉伸成型模具、各種塑膠模具以及各種鏡面模具、、各種鎢鋼刀具、各種鋸片、沖針、各種工具刀具、各種抗磨軸承、齒輪、各種醫療器械、人造關節、各種精密五金零配件、五金電子零件及汽車、摩托車零配件、航天航空配件、新能源等行業。DLC涂層柱塞表面的磨痕非常窄...
1.醫用植入器件的生物相容性與表面性能密切相關,對其進行有效的表面改性處理是提高其生物相容性的途徑之一。類金剛石薄膜具有良好的細胞相容性、血液相容性及彈性、化學惰性等特點,而成為一種很有應用前景的生物膜材料。本文針對植入器件用316L不銹鋼材料,2.分析發現:上述膜改性體系的耐蝕性能與薄膜的結構和成分密切相關。它們的腐蝕是由于膜層中存在的缺陷導致的,膜層本身并不參加電化學反應。電化學腐蝕反應過程為:1)形成閉塞電池;2)自催化過程促進基體材料的腐蝕;3)由于基體材料被破壞,薄膜出現剝離現象。DLC具有更寬的電勢窗口和更低的背景電流.此外,DLC還具有耐酸、耐腐蝕以及低吸附特性等特點。威海鍍黑D...
醫用植入器件的生物相容性與表面性能密切相關,對其進行有效的表面改性處理是提高其生物相容性的途徑之一。類金剛石薄膜具有良好的細胞相容性、血液相容性及彈性、化學惰性等特點,而成為一種很有應用前景的生物膜材料。本文針對植入器件用316L不銹鋼材料,分析發現:上述膜改性體系的耐蝕性能與薄膜的結構和成分密切相關。它們的腐蝕是由于膜層中存在的缺陷導致的,膜層本身并不參加電化學反應。電化學腐蝕反應過程為:1)形成閉塞電池;2)自催化過程促進基體材料的腐蝕;3)由于基體材料被破壞,薄膜出現剝離現象。DLC膜的開發,該項技術適合用于電子、裝飾、宇航、機械和信息等領域,用于摩擦、光學功能等用途。江蘇壓鑄模具DLC...
耐腐蝕性純DLC膜具有優異的耐蝕性,各類酸、堿甚至王水都很難侵蝕它。但摻雜有其他元素的DLC膜的耐蝕性有所下降,這是由于摻雜的元素首先被侵蝕,從而破壞了膜的連續性所致。 表面狀態DLC膜表面一般較光潔,對基材的表面光潔度沒有太大的影響,但隨著膜厚的增加,表面光潔度會下降。不同的沉積方法所得到的DLC膜表面光潔度也是不同的,采用離子源技術沉積的DLC膜表面質量明顯優于電弧離子鍍。DLC膜具有很好的抗粘結性,特別是對有色金屬(如銅、鋁、鋅等),對塑料、橡膠、陶瓷等也有抗粘結性。? DLC涂層適合用于:各種模具、五金模具、五金沖壓模、沖針、鎢鋼模具、五金拉伸成型模具、各種塑膠模具。青島耐磨...
1. 類金剛石碳膜(diamond-like carbon films,簡稱DLC膜),是含有類似金剛石結構的非晶碳膜,也是我們在這里真正需要介紹的一種。DLC膜的基本成分是碳,由于其碳的來源和制備方法的差異,DLC膜可分為含氫和不含氫兩大類。DLC膜是一種亞穩態長程無序的非晶材料,碳原子間的鍵合方式是共價鍵,主要包含sp2和sp3兩種雜化鍵,在含氫DLC膜中還存在一定數量的C-H鍵。我們從1996年起開始磁過濾真空弧及沉積DLC膜研究,正在完善工業化技術。如等離子體源沉積法、離子束源沉積法、孿生中頻磁控濺射法、真空陰極電弧沉積法和脈沖高壓放點等。不同的制備方法,DLC膜的成分、結構和性能不同...
1. 類金剛石碳膜(diamond-like carbon films,簡稱DLC膜),是含有類似金剛石結構的非晶碳膜,也是我們在這里真正需要介紹的一種。DLC膜的基本成分是碳,由于其碳的來源和制備方法的差異,DLC膜可分為含氫和不含氫兩大類。DLC膜是一種亞穩態長程無序的非晶材料,碳原子間的鍵合方式是共價鍵,主要包含sp2和sp3兩種雜化鍵,在含氫DLC膜中還存在一定數量的C-H鍵。我們從1996年起開始磁過濾真空弧及沉積DLC膜研究,正在完善工業化技術。如等離子體源沉積法、離子束源沉積法、孿生中頻磁控濺射法、真空陰極電弧沉積法和脈沖高壓放點等。不同的制備方法,DLC膜的成分、結構和性能不同...
DLC熱穩定性由于DLC屬亞穩態的材料,熱穩定性差是限制DLC膜應用的一個重要因素,在300℃以上退火時即出現了sp3鍵向sp2鍵轉變,為此,人們進行了大量的工作試圖提高其熱穩定性。有研究發現:Si的加入可以明顯改善DLC膜的熱穩定性,含20at%Si的DLC膜在740℃退火時才出現sp3鍵向sp2鍵轉變。同樣,金屬(如Ti、W、Cr)的摻入也可提高DLC膜的熱穩定性。 耐腐蝕性純DLC膜具有優異的耐蝕性,各類酸、堿甚至王水都很難侵蝕它。但摻雜有其他元素的DLC膜的耐蝕性有所下降,這是由于摻雜的元素首先被侵蝕,從而破壞了膜的連續性所致。 類金剛石涂層作為質量硬質涂層的材料,在不同領域...
1. 研究氮化鈦涂層對牙科鑄造合金腐蝕性能的影響。兩種義齒常用的Ni-Cr合金、Co-Cr合金經常規包埋鑄造成Ni-Cr、Co-Cr合金鑄件,模擬臨床打磨拋光形成20mm×20mm×1mm規格的試件。隨機選擇Ni-Cr、Co-Cr合金試件各6個,采用多弧離子鍍法分別在其表面上沉積一層厚為2.5μm的氮化鈦涂層(TiN)形成TiN/Ni-Cr、TiN/Co-Cr復合體。將Ni-Cr、Co-Cr合金、TiN/Ni-Cr、TiN/Co-Cr4組各6個樣品分別置于人工唾液24h后,采用電化學方法測定每個樣品在人工唾液中的腐蝕電位。【結果】Ni-Cr合金的腐蝕電位為(-0.2453±0.0067)V,涂...
分析CrN過渡層與不同膜厚對DLC薄膜性能的影響,及涂層模具的成型特性。方法采用PECVD方法在718合金試樣及模具表面沉積Cr N/DLC復合膜,預設Cr N過渡層厚度為0.2μm,DLC膜層厚度為0.5~1.2μm。采用無損設備對不同沉積時間(10、15、20、25、30、35 min)的薄膜厚度進行表征,并使用掃描電子顯微鏡(SEM)觀察薄膜表面及截面結構特征。采用拉曼光譜(Raman)分析不同厚度DLC膜的峰位信息以及sp3-C/sp2-C的比例關系,用納米壓痕儀表征膜層硬度,用硬度計分析膜/基結合力,用輪廓儀表征薄膜表面特征,并探討膜厚對薄膜性能的影響機制。結果薄膜的厚度值在預設范圍...
DLC熱穩定性由于DLC屬亞穩態的材料,熱穩定性差是限制DLC膜應用的一個重要因素,在300℃以上退火時即出現了sp3鍵向sp2鍵轉變,為此,人們進行了大量的工作試圖提高其熱穩定性。有研究發現:Si的加入可以明顯改善DLC膜的熱穩定性,含20at%Si的DLC膜在740℃退火時才出現sp3鍵向sp2鍵轉變。同樣,金屬(如Ti、W、Cr)的摻入也可提高DLC膜的熱穩定性。 耐腐蝕性純DLC膜具有優異的耐蝕性,各類酸、堿甚至王水都很難侵蝕它。但摻雜有其他元素的DLC膜的耐蝕性有所下降,這是由于摻雜的元素首先被侵蝕,從而破壞了膜的連續性所致。 DLC可以有效減少摩擦,進一步降低摩擦功損耗,...