杭州智能氦質譜檢漏儀供應廠家

氦質譜檢漏儀的注意事項：1.設備應在施工工作完成后進行本測試，測試完成后不得進行焊縫的修磨等。2.若設備被浸濕或有殘余的液體都會影響毛細管的泄漏而影響測試結果的真實性。3.因氦比空氣輕，因此要注意檢漏的順序，檢查順序應依照由下而上，由近而遠的順序進行。4.檢漏過程中，如發現大量氦氣進人質譜檢漏儀，應立即移去吸口，防止因儀器長時間消除不掉氦影響而延誤測試。氦質譜檢漏儀應用領域：學校科研單位、真空制造、真空鍍膜、航空航天、核工業、電力、電子元器件、汽車及制冷、低溫容器、閥門、儀器儀表、聚酯等行業。氦檢儀是磁偏轉型的質譜分析計。杭州智能氦質譜檢漏儀供應廠家

氦檢儀現已普遍應用于半導體設備檢漏。半導體設備及材料需要檢漏原因：1、半導體設備要求高真空，比如磁控濺射臺、電子束蒸發臺、ICP、PECVD等設備。出現泄漏就會導致高真空達不到或需要大量的時間，耗時耗力；2、在高真空環境潔凈度高、水蒸氣很少。一旦出現泄漏周圍環境中的灰塵和懸浮顆粒或塵埃就會對晶元造成污染，對半導體的特性改變并破壞其性能，因此在半導體器件生產過程中必須進行氦質譜檢漏；3、一些半導體設備要用到有毒或有腐蝕性的特殊氣體，經過氦質譜檢漏后，在低漏率真空條件下，這些氣體不易外泄，設備能及時抽走未反應氣體和氣態反應產物，保障工作人員安全和大氣環境。4、芯片封裝，一旦出現泄漏，芯片就會失效。綜上所述，氦檢儀在半導體行業起著至關重要的作用。浙江臺式氦質譜檢漏儀原理氦檢儀是根據質譜學原理，用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。

氦質譜檢漏儀特點：1.檢測時間和周期非常短，可以達到5s以內；2.檢測的介質比較常用，只需壓縮空氣即可；3.不會受到主觀因素判斷的影響；4.檢測的數據精確；5.自動生成數據保存，可追溯數據來源。氫質譜檢漏儀能為不同的應用提供不同的測試方法，含有渦輪分子泵、內置機械泵、外置機械泵、光譜、儀管、閥組、檢漏儀電子元件和操作頁面，以及可選功能組件。氨質譜檢漏儀在許多領域里得到普遍的應用，例如，在航空航天領域里宇宙飛船、航天飛機、火箭、衛星、飛機等這些都要用到真空檢漏技術。

氦質譜檢漏儀的優點體現在以下幾個方面：（1）便攜式：很多小型便攜式檢漏儀不但靈敏度高，而且便于攜帶，給野外作業和高空作業提供了比較大的方便。（2）高壓強下檢漏：檢漏口壓強可高達數百帕左右，對檢測大系統和有大漏的工件很有益。（3）自動化程度高：自動校準氦峰，自動調節零點，量程自動轉換，自動數據處理，可外接打印機。整機由微機控制，菜單選擇功能，一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。（4）全無油的干式檢漏：有些國家生產的檢漏儀，可采用干式泵，達到無油蒸氣的效果，為無油系統及芯片等半導體器件的檢漏，提供了有利條件。掌握和了解氦質譜檢漏儀常見故障的維修技術，有利于檢漏工作的順利開展以及設備的保養。

氦檢儀的基本原理是采集被檢件中的氣體將其電離，根據不同種類氣體離子質荷比不同的特點，利用磁偏轉分離原理將其區分開來。儀器只對示漏氣體氦氣有相應信號，而對其他氣體沒有反應，屬于唯1性氦檢儀器。檢漏過程中，一旦出現信號，就說明有氦氣通過漏孔進入被檢件，從而指示出漏孔的位置與大小。而之所以選擇氦氣作為示漏氣體，主要是因為氦質量輕，易于穿過漏孔，擴散快，對分析設備制造的要求相對簡單；同時氦氣在空氣中含量少，本底壓力小，又為惰性氣體，不易發生反應等等，都為提高儀器靈敏度創造了條件。掌握和了解氦檢儀常見故障的維修技術，有利于檢漏工作的順利開展以及設備的保養。南京客制化氦質譜檢漏儀多少錢

氦質譜檢漏儀由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規組成的質譜室和抽氣系統及電氣部分等組成。杭州智能氦質譜檢漏儀供應廠家

使用氦檢儀需注意哪些問題？響應時間與清理時間:正常運行的儀器響應時間與清理時間不應大于3s。氦檢儀的響應時間會影響檢漏工作的速度:檢漏時噴有在漏孔處停留的時間應為儀器響應時間的3倍,該時間再加上氦氣在真空系統中的傳遞時間,即為兩次噴氦的較小間隔時間,當然真空系統越龐大,該間隔時間也越長。根據經驗,兩次噴氦的較小間隔時間控制在30s,如果第1次噴氦后30s內氦檢儀還沒有反應,則可進行第二次噴氦。儀器的清理時間在理論上與響應時間相同,但由于儀器零件對氦的吸附和脫附作用的影響,清理時間一般要更長些。另外,噴氦量的多少也影響清理時間的長短,噴氦時噴頭移動速率合理,可以縮短儀器的清理時間,提高檢漏效率。杭州智能氦質譜檢漏儀供應廠家