氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理,用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。質(zhì)譜室里的燈絲發(fā)射出來的電子,在室內(nèi)來回地振蕩,并與室內(nèi)氣體和經(jīng)漏孔進(jìn)人室內(nèi)的氦氣相互碰撞使其電離成正離子,這些氦離子在加速電場作用下進(jìn)人磁場,由于洛倫茲力作用產(chǎn)生偏轉(zhuǎn),形成圓弧形軌道,改變加速電壓可使不同質(zhì)量的離子通過磁場和接收縫到達(dá)接收極而被檢測。噴氦法、吸氦法是氦質(zhì)譜檢漏儀在電阻爐檢漏中常用的兩種方法。氦質(zhì)譜檢漏儀是質(zhì)譜儀器中的一種。溫州自動(dòng)氦質(zhì)譜檢漏儀單位
氦質(zhì)譜檢漏儀是180°磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計(jì),其基本原理是根據(jù)離子在磁場中運(yùn)動(dòng)時(shí),不同質(zhì)荷比的離子具有不同的偏轉(zhuǎn)半徑來實(shí)現(xiàn)不同種類離子的分離。檢漏儀主要由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)及電氣控制部分組成。檢漏工作時(shí)先打開抽空閥前級(jí)泵對(duì)檢漏接口抽真空,當(dāng)真空度P1優(yōu)于200Pa時(shí),打開入口閥1、2,關(guān)閉抽空閥,氦氣將逆著分子泵的抽氣方向進(jìn)入質(zhì)譜室中被檢測出來,此時(shí)檢漏儀的可檢漏率為10-10Pa·m3/s。前級(jí)泵繼續(xù)對(duì)檢漏接口抽真空,當(dāng)P1降至20Pa時(shí),入口閥2關(guān)閉,入口閥3打開,分子泵的高抽速用于抽空試件,檢漏儀的反應(yīng)時(shí)間縮短,此時(shí)檢漏儀的可檢漏率為10-12Pa·m3/s。紹興推車式氦質(zhì)譜檢漏儀一臺(tái)多少錢氦檢儀成功應(yīng)用于調(diào)節(jié)閥中的氣路管道檢漏,經(jīng)過檢漏后的調(diào)節(jié)閥普遍應(yīng)用于電廠、生物制藥、化工等行業(yè)。
氦質(zhì)譜檢漏儀的保養(yǎng)注意事項(xiàng):1.如果儀器不是每天使用,建議每周開機(jī)檢查一下,使儀器高真空系統(tǒng)保持真空,縮短儀器使用時(shí)的開機(jī)時(shí)間2.拆卸儀器部件(如離子源)后,安裝時(shí)要避免安裝部位出現(xiàn)泄漏,可用儀器進(jìn)行自身檢漏。3.適時(shí)對(duì)儀器可能出現(xiàn)的泄漏處(如放氣閥等)進(jìn)行自身檢漏,發(fā)現(xiàn)漏點(diǎn)后要及時(shí)取下清洗或固緊,以免在檢漏時(shí)干擾檢漏工作。4.氦質(zhì)譜檢漏儀維修每隔一段時(shí)間保養(yǎng)油泵。(散熱口灰塵處理,和泵油的檢查更換)。5.禁止任何外來物掉在或?yàn)⒃诤べ|(zhì)譜檢漏儀上,尤其是進(jìn)氣口中,由于氦質(zhì)譜檢漏儀為高精度精密儀器,其存放和使用環(huán)境要保持干凈、衛(wèi)生。
氦檢儀作為一種磁偏轉(zhuǎn)型質(zhì)譜分析儀器,結(jié)構(gòu)上分單級(jí)磁偏轉(zhuǎn)型和雙級(jí)串聯(lián)偏轉(zhuǎn)性,而在結(jié)構(gòu)組成上,大部分氦檢儀就是由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)以及電氣系統(tǒng)3部分組成的:質(zhì)譜室是這種真空氦檢儀器的心臟,又包括離子源、分析器、收集器、前級(jí)放大器、冷陰極電離真空計(jì)等組成部分;真空系統(tǒng)用于為質(zhì)譜室提供真空工作條件,保證氦離子的傳輸率;電氣系統(tǒng)的重點(diǎn)功能就是為質(zhì)譜室供電與測量。另外在有些條件下,氦質(zhì)譜檢漏可能還會(huì)需要輔助真空系統(tǒng),完成一些預(yù)抽、保證氦檢儀真空度等工作。氦檢儀噪聲是哪兒來的?
氦檢儀怎么選,這取決于客戶的需求:應(yīng)用類型:(例如:生產(chǎn),維護(hù)等)-干式/傳統(tǒng)的油泵?性能:(進(jìn)入檢漏模式所需要的時(shí)間,靈敏度,響應(yīng)時(shí)間,恢復(fù)時(shí)間,初抽的能力)。重量以及大小。氦氦檢儀的性能衡量,主要是通過以下參數(shù):初抽的能力:(m3/h),檢測允許的較大進(jìn)氣口壓力:(mbar),進(jìn)入檢測模式所需要的時(shí)間:(s),氦抽速:(l/s))靈敏度,較低可測的氦信號(hào):(mbar.l/s),響應(yīng)時(shí)間:(s),恢復(fù)時(shí)間:(s),初抽能力:將決定進(jìn)入檢測模式的時(shí)間)將決定是否只使用氦檢儀進(jìn)行檢測就可以(是否需要輔助泵)。檢測允許的較大進(jìn)氣口壓力:〉將決定進(jìn)入檢測模式所需要的時(shí)間。進(jìn)入檢測模式所需要的時(shí)間:是由初抽能力和檢測允許的較大壓力共同決定的。其他可能會(huì)影響檢測時(shí)間的參數(shù):腔體的脫氣以及非常大的泄漏。氦檢儀現(xiàn)已普遍應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備檢漏。紹興推車式氦質(zhì)譜檢漏儀一臺(tái)多少錢
氦檢儀適用于工業(yè)、分析研究、鍍膜市場等。溫州自動(dòng)氦質(zhì)譜檢漏儀單位
氦檢儀的撿漏方法:正壓法(吸入法)。可分為真空箱法和正壓法兩張模式,工件內(nèi)充氦氣,吸搶檢測可根據(jù)工件漏率選擇性充入一定比例混合氦氣可檢測工件的具體漏點(diǎn)。檢測精度高。適用行業(yè):特種閥門,高壓管道,制冷管路,汽輪機(jī)組等。因?yàn)榭諝庵泻?ppm的氦氣,正壓法檢漏靈敏度相對(duì)負(fù)壓法要低。氦檢儀正壓法有二種方式,即移動(dòng)嗅探式和氦罩累積式。前者只能定性檢測大漏,后者則可定量檢測微漏。氦質(zhì)譜檢漏正壓氦罩法注意事項(xiàng):氦罩要專門設(shè)計(jì),一般用金屬制作(塑料布在長時(shí)間累積中滲透量太大)。如果累積時(shí)間短,也可用0.10~0.15mm的塑料布制作。檢測時(shí)氦罩應(yīng)盡量小,以便提高氦的壓升率。氦罩要密封。探測口要方便檢測。檢漏過程中,儀器靈敏度和吸頭在校準(zhǔn)后不得進(jìn)行調(diào)整,否則要重新進(jìn)行校準(zhǔn)。吸頭不應(yīng)一直插在檢測口內(nèi),以免影響累積信號(hào)。在低溫探測時(shí),環(huán)境濕度應(yīng)盡量降低,被檢件應(yīng)先加高壓示漏氣體而后降溫,以免小孔阻塞。溫州自動(dòng)氦質(zhì)譜檢漏儀單位