南京真空氦質譜檢漏儀售后服務

氦檢儀現已普遍應用于半導體設備檢漏。半導體設備及材料需要檢漏原因：1、半導體設備要求高真空，比如磁控濺射臺、電子束蒸發臺、ICP、PECVD等設備。出現泄漏就會導致高真空達不到或需要大量的時間，耗時耗力；2、在高真空環境潔凈度高、水蒸氣很少。一旦出現泄漏周圍環境中的灰塵和懸浮顆粒或塵埃就會對晶元造成污染，對半導體的特性改變并破壞其性能，因此在半導體器件生產過程中必須進行氦質譜檢漏；3、一些半導體設備要用到有毒或有腐蝕性的特殊氣體，經過氦質譜檢漏后，在低漏率真空條件下，這些氣體不易外泄，設備能及時抽走未反應氣體和氣態反應產物，保障工作人員安全和大氣環境。4、芯片封裝，一旦出現泄漏，芯片就會失效。綜上所述，氦檢儀在半導體行業起著至關重要的作用。氦質譜檢漏儀可以對具有內腔的微電子或半導體器件封裝的氣密性進行細檢漏。南京真空氦質譜檢漏儀售后服務

氦檢儀怎么選，這取決于客戶的需求：應用類型：(例如：生產，維護等)-干式/傳統的油泵?性能：(進入檢漏模式所需要的時間，靈敏度，響應時間，恢復時間，初抽的能力)。重量以及大小。氦氦檢儀的性能衡量，主要是通過以下參數：初抽的能力：(m3/h)，檢測允許的較大進氣口壓力：(mbar)，進入檢測模式所需要的時間：(s)，氦抽速：(l/s))靈敏度，較低可測的氦信號：(mbar.l/s)，響應時間：(s)，恢復時間：(s)，初抽能力：將決定進入檢測模式的時間)將決定是否只使用氦檢儀進行檢測就可以(是否需要輔助泵)。檢測允許的較大進氣口壓力：〉將決定進入檢測模式所需要的時間。進入檢測模式所需要的時間：是由初抽能力和檢測允許的較大壓力共同決定的。其他可能會影響檢測時間的參數：腔體的脫氣以及非常大的泄漏。嘉興臺式氦質譜檢漏儀多少錢氦檢儀檢漏范圍寬：不只可檢測氦氣，而且能檢測其它氣體。

氦檢儀分子泵出現故障如何快速定位維修？1.TMP(分子泵工作頻率)在儀器的顯示界面提示為0，即為分子泵不工作。可能是前級壓力過高(分子泵啟動壓力為200Pa)導致分子泵不能正常啟動。2.檢查真空表是不是出現了問題，分子泵出口是否打開，機械泵油是否太臟，機械泵是否旋轉，系統是否漏氣。分子泵的葉片或轉子也可能損壞。您可以使用自己的工具移動刀片來判斷它是否可以旋轉。分子泵加速指示燈不亮。電路板上的保險絲被燒毀了。更換保險絲或檢查是否有短路。3.分子泵故障燈亮。檢查電路板設置開關是否在R位置，此時應在N位置。檢查風扇是否停止。如果風扇正常，可能是分子泵電源故障。請聯系制造商。4.氦泄漏檢測儀的燈絲不能正常啟動。在確認機械泵和分子泵處于正常工作狀態后，如果燈絲仍不能發射離子流，則需要更換離子源。如果燈絲指示燈閃爍，請檢查航空插座和離子源端子是否開啟。如果開路，請更換燈絲。如果沒有，請檢查端子是否與其他連接器連接，以消除短路。

氦檢儀測量數據處理：漏率示值誤差，①漏率的溫度修正，標準漏孔漏率易受溫度變化影響，溫度對標準漏孔漏率的影響一般為3%/℃，所以如果實際環境溫度和標準漏孔證書中溫度不一致，需要將標準漏孔證書中漏率和標準漏孔漏率的氦檢儀示值修正至同一環境溫度下來計算，并在測試結果中加以說明，修正方法如下:方法一:將標準漏孔證書中的漏率修正至實際環境溫度下，用標準漏孔證書中的漏率加上或減去溫度對標準漏孔漏率的影響系數計算值；方法二:將標準漏孔漏率的氦檢儀示值平均值修正至標準漏孔證書中環境溫度下，用標準漏孔漏率的氦檢儀示值平均值加上或減去溫度對標準漏孔漏率的影響系數計算值。氦檢儀在電廠檢漏領域被普遍使用。

選擇氦檢儀時主要考慮以下問題：（1）儀器的功能能滿足檢漏的要求。如有些儀器沒有逆流檢漏功能，就不適合正壓法檢漏；有些儀器沒有報廢漏率的設置功能，不宜作為批量產品篩選檢漏用；流水線上要求一定的檢漏速度，此時應選擇有多工位的氦檢儀。（2）儀器的靈敏度能滿足檢漏的要求。國內外生產的不同類型的氦檢儀的靈敏度是不一樣的，如果檢漏要求的靈敏度較高，就要認真選擇。（3）被檢件如果害怕油的污染，就應選擇無油真空系統的氦檢儀。（4）被檢件容積如果較大，必須選用預抽泵抽速大的氦檢儀，否則就要外加預抽泵。（5）如果被檢對象不固定，體積時大時小，靈敏度要求時高時低，就要選擇功能較全、靈敏度較高、檢漏范圍寬的氦檢儀。（6）如果檢漏地點不固定，需要經常搬運儀器時，就要選擇小型便攜式儀器。（7）在滿足上述檢漏基本要求的基礎上，還要綜合考慮儀器的價格是否低、操作是否簡易、維修是否方便等方面的問題。氦質譜檢漏儀是根據質譜學原理，用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。紹興推車式氦質譜檢漏儀單位

氦檢儀是磁偏轉型的質譜分析計。南京真空氦質譜檢漏儀售后服務

氦質譜檢漏技術是真空檢漏領域里不可缺少的一種技術，由于檢漏效率高，簡便易操作，儀器反應靈敏，精度高，不易受其他氣體的干擾，在電阻爐檢漏中得到了普遍應用。氦檢儀是根據質譜學原理，用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規組成的質譜室和抽氣系統及電氣部分等組成。質譜室里的燈絲發射出來的電子，在室內來回地振蕩，并與室內氣體和經漏孔進人室內的氦氣相互碰撞使其電離成正離子，這些氦離子在加速電場作用下進人磁場，由于洛倫茲力作用產生偏轉，形成圓弧形軌道，改變加速電壓可使不同質量的離子通過磁場和接收縫到達接收極而被檢測。噴氦法、吸氦法是氦檢儀在電阻爐檢漏中較常用的兩種方法。南京真空氦質譜檢漏儀售后服務