氦質譜檢漏儀的優點體現在以下幾個方面:(1)便攜式:很多小型便攜式檢漏儀不但靈敏度高,而且便于攜帶,給野外作業和高空作業提供了比較大的方便。(2)高壓強下檢漏:檢漏口壓強可高達數百帕左右,對檢測大系統和有大漏的工件很有益。(3)自動化程度高:自動校準氦峰,自動調節零點,量程自動轉換,自動數據處理,可外接打印機。整機由微機控制,菜單選擇功能,一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。(4)全無油的干式檢漏:有些國家生產的檢漏儀,可采用干式泵,達到無油蒸氣的效果,為無油系統及芯片等半導體器件的檢漏,提供了有利條件。氦質譜檢漏儀為什么會選擇氦氣作為主要的示漏氣體?河北氦質譜檢漏儀多少錢
氦質譜檢漏儀的的故障和處理:1、內部的泄漏,當檢漏儀內部存在泄漏時,會對檢漏工作造成較大干擾,容易造成誤檢、誤判。各零部件接口處的密封部位。如放大器與質譜室、離子源與質譜室、分子泵與質譜室、標準漏孔與閥門組件、真空計與閥門組件等接口間的橡膠圈密封。采用噴氦法尋找漏點,更換密封件。2、本底信號不穩定,1)本底信號過高有可能是環境本底被污染,注意檢查室內是否有氦氣源在泄漏。將室內的門窗打開通風,降低環境本底。2)本底信號過高也有可能是因為質譜室被污染。檢漏儀若經常檢測含有油污、粉塵等雜質較多的被檢件時,質譜室極易被污染,需返廠進行清洗,本底信號不穩定,檢查電源電壓是否穩定,氦質譜檢漏儀應有可靠的接地。分體式氦質譜檢漏儀生產廠家影響氦質譜檢漏儀檢測精度的原因是什么?
氦檢儀噪聲是哪兒來的?高靈敏度氦檢儀的噪聲來源大體上可以分為兩種,一個是離子流接收放大機輸出電路的噪聲,另一個就是本底噪聲。實際上,目前通過對電子線路的改進,儀器中離子流接收放大及輸出電路引起的噪聲已經降到很低的一個程度,因此已經不是限制設備靈敏度的主要因素,如果特殊情況下仍然是限制靈敏度的主要因素的話,可以通過放大信號的辦法來提高信噪比來改善靈敏度。而本底噪聲則是由本底峰的不穩定造成,與本底的大小以及電磁場參數的穩定度有關,具體的包括:1、離子源發射電子流的不穩定性,加速電壓、分析器電磁參數的不穩定性;2、氦氣在真空系統內的吸附和再放出(如真空油脂、人造橡膠、有機絕緣材料都可以吸附和再放出氦氣),電離真空計特別是磁放電真空計對氦氣的記憶效應(被污染的情況下更為嚴重);3、抽氣系統中氦氣的反擴散與對氦氣抽速的不穩定性;4、氦檢儀本身漏氣和氦氣的滲透;5、殘余氣體分子對氦離子的散射等等。這些因素對本底噪聲及靈敏度的影響都很大。
氦檢儀的撿漏方法:正壓法(吸入法)。可分為真空箱法和正壓法兩張模式,工件內充氦氣,吸搶檢測可根據工件漏率選擇性充入一定比例混合氦氣可檢測工件的具體漏點。檢測精度高。適用行業:特種閥門,高壓管道,制冷管路,汽輪機組等。因為空氣中含有5ppm的氦氣,正壓法檢漏靈敏度相對負壓法要低。氦檢儀正壓法有二種方式,即移動嗅探式和氦罩累積式。前者只能定性檢測大漏,后者則可定量檢測微漏。氦質譜檢漏正壓氦罩法注意事項:氦罩要專門設計,一般用金屬制作(塑料布在長時間累積中滲透量太大)。如果累積時間短,也可用0.10~0.15mm的塑料布制作。檢測時氦罩應盡量小,以便提高氦的壓升率。氦罩要密封。探測口要方便檢測。檢漏過程中,儀器靈敏度和吸頭在校準后不得進行調整,否則要重新進行校準。吸頭不應一直插在檢測口內,以免影響累積信號。在低溫探測時,環境濕度應盡量降低,被檢件應先加高壓示漏氣體而后降溫,以免小孔阻塞。氦檢儀現已普遍應用于半導體設備檢漏。
氦質譜檢漏儀在使用過程中需特別注意以下幾點:①使用的電源電壓要在額定的電壓范圍之內,電壓過低儀器啟動困難,且性能不穩定,電壓過高會燒壞電源,嚴重時還會燒毀母板的電路板和分子泵,應連接穩壓電源(UPS)。②儀器在運行過程中不能移動。渦輪分子泵處于高速運轉中,若搬動檢漏儀,容易使分子泵內的葉片與轉子的筒體相碰撞。③氦質譜檢漏儀應按照說明書的要求定期進行保養,保養的項目有更換機械泵油、更換過濾網、更換過濾器。靈敏度、反應時間、消除時間、工作真空度、極限真空度及儀器入口處抽速是評價氦質譜檢漏儀的主要性能指標。由于氦質譜檢漏儀儀為高精度精密儀器,其存放和使用環境要保持干凈、衛生。紹興自動氦質譜檢漏儀定制
氦檢儀由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規組成的質譜室和抽氣系統及電氣部分等組成。河北氦質譜檢漏儀多少錢
氦檢儀的撿漏方法有哪些?背壓法(壓氦法)真空模式。工件先在壓氦罐中打入高壓氦氣,迫使氦氣進入泄漏工件,再放入檢漏罐中檢測是否有氦氣漏出??筛鶕ぜ笮《ㄖ乒摅w大小??蓹z測工件的整體漏點。檢測精度較高。適用行業:電子元器件,電子封裝等。氦質譜檢漏背壓法優點:檢測靈敏度高;可以進行批量化檢測;一般小型電子器件宜采用這種檢漏方法。首先將儀器調整好,再將器件放入加壓罐內壓入氦氣,氦氣進入有漏孔的器件內部,無漏孔的器件只是表面吸咐氦氣。器件加壓壓力和時間根據GB2423,2328文件而定,器件從加壓罐中取出后將表面吸咐的氦氣吹掉再放入檢漏夾具中抽空,待真空抽至設定值后自動將夾具連至儀器的測量系統。這時壓入存在漏孔器件內部的氦氣泄漏出來被檢測,其漏率在漏率表上顯示出來。一般壓氦法檢漏時采用排除法。在夾具中放一定數量的器件,這一批的總漏率沒超過報廢預定值,說明這一批合格;總漏率超過報廢預定值可以取出一半,剩下的一半繼續檢漏,這一半合格說明有漏的器件在取出的那一半中,依此檢漏直至檢出有漏孔的器件。河北氦質譜檢漏儀多少錢
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