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C.1.1檢測目的檢測的目的是確認過濾系統安裝正確，使用過程中無滲漏發生，不要將已裝過濾器系統的檢漏與過濾器出廠時的效率檢測混為一談，過濾器出廠前應經過檢漏雨測試。此項檢測用于驗證過濾系統不存在影響設施潔凈狀況的滲漏；確認過濾系統下風向空氣中懸浮粒子的濃度足夠滿足潔凈室設計潔凈度。C.1.2檢測過程檢測中，在過濾器的上風向注入氣溶膠，在下風向緊靠過濾器的安裝框架的地方掃描，或在風管中的過濾器下風向采樣。檢漏包括濾材、過濾器邊框、密封墊和支撐架在內的整個過濾系統。已裝過濾系統的檢漏只在“空態”或“靜態”下進行，且該項檢測是在新建潔凈室調試時，或現有設施需要再檢測時，或更換了末端過濾器之后進行。工業管道穿過潔凈室墻壁或樓板處的管段不應有焊縫。北京實驗室環境潔凈室檢測服務至上

7.3.1潔凈廠房中的凈化空調系統可分為集中式凈化空調系統和分散式凈化空調系統。凈化空調系統的型式應根據潔凈廠房的規模、空氣潔凈度等級和產品生產工藝特點確定。潔凈室（區）面積較小或只有局部要求凈化時，宜采用分散式凈化空調系統。7.3.2潔凈廠房的潔凈室(區）送風方式可分為集中送風、隧道送風、風機過濾器機組送風等。應根據潔凈室(區）使用功能和降低能量消耗的要求，經技術經濟比較，采用運行經濟、節約能源的送風方式。7.3.3凈化空調系統新風的室外吸入口位置，應遠離本建筑或其他建筑物排放有害物質或可燃物的排氣口。7.3.4多套凈化空調系統同時運行或較大型電子工業潔凈廠房的凈化空調系統的新風，應集中處理。上海氣流潔凈室檢測公司潔凈室(區)內工業管道不應穿越無關的房間。

8.2.1潔凈廠房內的給水系統應根據各種用途(包括工藝冷卻水)對水質、水溫、水壓、水量的要求確定，宜按生產、生活、消防分別設置的給水系統。8.2.2當設有危險化學品儲存和分配室時，應根據化學品的物理化學性能和人身安全的要求，設置緊急淋浴器和洗眼器，其給水管道應環形敷設布置。8.2.3給水管道的管材及附件的選擇，應符合下列要求：1給水系統的管材和附件的選用，應滿足生產工藝和系統工作參數的要求；2埋地管道應耐腐蝕，并應具有承受相應地面荷載的能力；3生產設備循環冷卻水給水和回水管道，應按生產工藝和水質要求，采用不銹鋼管、鋼塑管、塑料管等，不宜采用焊接鋼管；4閥門及附件應采用與管材相同的材質。

潔凈廠房中生產區、輔助區和各類生產設備的布置與潔凈室(區)內的氣流流型、空氣潔凈度等級的保持密切相關，所以本規范規定：在潔凈室(區)內要求空氣潔凈度嚴格的工序(設備)應遠離出人口和可能干擾氣流的場所設置，并宜布置在上風側；空氣潔凈度等級要求相同的工序或工作室相對集中布置等都是電子產品潔凈室（區）內布置的基本要求。另外，由于電子產品更新換代快，電子工廠在實際生產中，在線維修及調試、邊生產邊增加設備擴大生產能力的情況很多，因此在做工藝布局時，應根據具體情況，考慮這些因素，留出相應的運作空間。為避免不同空氣潔凈度等級的潔凈室(區)之間的頻繁聯系發生交叉污染，應根據電子產品生產工藝要求合理選擇相應技術措施，如人的聯系應采用氣閘室或空氣吹淋室；大物件的運送也可以采用氣閘室，一般物件的運送可采用傳遞窗；穿越隔墻的管線應采用可靠氣密措施等。斷截面上風速一致，有垂直單向潔凈室，準垂直單向流，水平單向流潔凈室等。

B.1自凈檢測是測定潔凈室設施***空氣懸浮粒子的能力。潔凈室污染潔凈度的恢復性能是設施**重要的能力之一。自凈檢測*對非單向流系統重要并推薦采用，因為自凈性能與受控區內循環空氣比例（換氣次數)、送風與出風的幾何位置、熱條件和空氣分布特性因素相關，而單向流系統中，污染被受控氣流置換，自凈時間只受位置和距離的影響。自凈檢測應在設施處于空態或靜態時進行。潔凈度ISO8級和ISO9級的潔凈室（區）不推薦自凈檢測。檢測若使用人工氣溶膠，應防止氣溶膠對設施的殘留污染。B.2自凈性能的評估方法有100：1自凈時間或潔凈度恢復率。100：1自凈時間的定義：粒子濃度降低到0.01倍初始濃度所需時間。100：1自凈時間檢測是優先方法。潔凈恢復率的定義：粒子濃度隨時間的變化速率。該方法可以使用粒子濃度衰減曲線進行描述(縱座標表示濃度，為對數刻度；橫座標表示濃度，為線性刻度)。非單向流潔凈室中都有渦流存在，不適宜用于高潔凈度的潔凈室中，宜用于6~9級的潔凈室中。浙江潔凈室檢測標準

凈化空調系統設計應合理利用回風。北京實驗室環境潔凈室檢測服務至上

空氣過濾器的處理風量應小于或等于額定風量；3中效(高中效)空氣過濾器宜集中設置在空調箱的正壓段；4高效(亞高效)空氣過濾器宜設置在凈化空調系統的末端；超高效空氣過濾器應設置在凈化空調系統的末端；5同一凈化空調系統內末端安裝的高效（亞高效、超高效）空氣過濾器的阻力、效率應相近；6同一凈化空調系統內末端安裝的高效（亞高效、超高效）空氣過濾器的使用風量與額定風量之比值宜相近；7對化學污染物有控制要求的潔凈室(區)，在凈化空調系統中應根據環境條件設置化學過濾器或其他去除裝置；8高效(亞高效、超高效)空氣過濾器應采用不燃或難燃材料制作。7.4.2風機過濾器機組的設置應符合下列要求：1應根據空氣潔凈度等級和送風量選用；2應按潔凈室（區)內生產工藝對氣流流型的要求布置，3終阻力時的疊加噪聲及振動應滿足生產工藝和本規范的規定；4送風量應能調節；5應便于安裝、維修及過濾器更換。滿布或布置率較高時，外殼強度應滿足檢修要求。北京實驗室環境潔凈室檢測服務至上