浙江無(wú)塵室檢測(cè)

17.3.4在系統(tǒng)和設(shè)備的外觀檢查后應(yīng)進(jìn)行單機(jī)試運(yùn)轉(zhuǎn)檢查，并應(yīng)確認(rèn)運(yùn)轉(zhuǎn)正常。其中風(fēng)機(jī)的試運(yùn)行時(shí)間不少于2h，不得反轉(zhuǎn)，其滑動(dòng)軸承最高溫度不得超過(guò)70℃。17.3.5安裝確認(rèn)后應(yīng)進(jìn)行空態(tài)或靜態(tài)條件下的運(yùn)行確認(rèn)，應(yīng)進(jìn)行帶冷（熱）源的系統(tǒng)正常聯(lián)合試運(yùn)轉(zhuǎn)，并不應(yīng)少于8h。系統(tǒng)中各項(xiàng)設(shè)備部件和自動(dòng)控制環(huán)節(jié)聯(lián)動(dòng)運(yùn)轉(zhuǎn)應(yīng)協(xié)調(diào)，動(dòng)作正確，無(wú)異常現(xiàn)象。17.3.4在系統(tǒng)和設(shè)備的外觀檢查后應(yīng)進(jìn)行單機(jī)試運(yùn)轉(zhuǎn)檢查，并應(yīng)確認(rèn)運(yùn)轉(zhuǎn)正常。其中風(fēng)機(jī)的試運(yùn)行時(shí)間不少于2h，不得反轉(zhuǎn)，其滑動(dòng)軸承最高溫度不得超過(guò)70℃。17.3.5安裝確認(rèn)后應(yīng)進(jìn)行空態(tài)或靜態(tài)條件下的運(yùn)行確認(rèn)，應(yīng)進(jìn)行帶冷（熱）源的系統(tǒng)正常聯(lián)合試運(yùn)轉(zhuǎn)，并不應(yīng)少于8h。系統(tǒng)中各項(xiàng)設(shè)備部件和自動(dòng)控制環(huán)節(jié)聯(lián)動(dòng)運(yùn)轉(zhuǎn)應(yīng)協(xié)調(diào)，動(dòng)作正確，無(wú)異常現(xiàn)象。將產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程與操作人員、污染物進(jìn)行嚴(yán)格分隔的隔離空間。浙江無(wú)塵室檢測(cè)

無(wú)塵車間工程主要包括無(wú)塵車間設(shè)計(jì)、施工和運(yùn)行管理前后相關(guān)的三個(gè)環(huán)節(jié)。質(zhì)量源于設(shè)計(jì)，設(shè)計(jì)是**。而凈化工程的施工又區(qū)別于一般的建筑工程，包括圍護(hù)結(jié)構(gòu)(俗稱“房中房”)；空調(diào)凈化系統(tǒng)；供電、自控、弱電系統(tǒng)；純水、特氣、物料供應(yīng)系統(tǒng)；廢氣、廢水處理系統(tǒng)及相關(guān)設(shè)施。運(yùn)行管理包括：實(shí)時(shí)檢測(cè)，人員培訓(xùn)，設(shè)備維護(hù)，以保證受控的生產(chǎn)科研環(huán)境持續(xù)符合要求。三個(gè)環(huán)節(jié)涵蓋了空態(tài)、靜態(tài)、動(dòng)態(tài)三個(gè)占有狀態(tài)；環(huán)境受控又融合了風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估、生產(chǎn)認(rèn)證的概念和程序；加之潔凈技術(shù)跨行業(yè)、跨專業(yè)、跨學(xué)科的特點(diǎn)：使之無(wú)塵車間工程的難度和復(fù)雜性增加。因此對(duì)于無(wú)塵車間工程行業(yè)來(lái)說(shuō)，優(yōu)化設(shè)計(jì)、現(xiàn)場(chǎng)施工環(huán)境的協(xié)調(diào)與管控、工程相關(guān)技術(shù)細(xì)節(jié)的經(jīng)驗(yàn)積累，對(duì)客戶需求的理解和實(shí)現(xiàn)，以及對(duì)設(shè)計(jì)變更的準(zhǔn)備和響應(yīng)程度等都是衡量無(wú)塵車間施工團(tuán)隊(duì)能力的重要指標(biāo)。上海半導(dǎo)體凈化車間無(wú)塵室檢測(cè)目的室內(nèi)空氣的流動(dòng)形態(tài)和分布。

7.3.1潔凈廠房中的凈化空調(diào)系統(tǒng)可分為集中式凈化空調(diào)系統(tǒng)和分散式凈化空調(diào)系統(tǒng)。凈化空調(diào)系統(tǒng)的型式應(yīng)根據(jù)潔凈廠房的規(guī)模、空氣潔凈度等級(jí)和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點(diǎn)確定。潔凈室（區(qū))面積較小或只有局部要求凈化時(shí)，宜采用分散式凈化空調(diào)系統(tǒng)。7.3.2潔凈廠房的潔凈室（區(qū))送風(fēng)方式可分為集中送風(fēng)、隧道送風(fēng)、風(fēng)機(jī)過(guò)濾器機(jī)組送風(fēng)等。應(yīng)根據(jù)潔凈室（區(qū)）使用功能和降低能量消耗的要求，經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟(jì)比較，采用運(yùn)行經(jīng)濟(jì)、節(jié)約能源的送風(fēng)方式。

E.5.1無(wú)恒溫恒濕要求的溫濕度檢測(cè)應(yīng)符合下列要求：1室內(nèi)空氣溫度和相對(duì)濕度測(cè)定之前，空調(diào)凈化系統(tǒng)應(yīng)已連續(xù)運(yùn)行至少8h。2溫度的檢測(cè)可采用玻璃溫度計(jì)、數(shù)字式溫濕度計(jì)；濕度的檢測(cè)可采用通風(fēng)式干濕球溫度計(jì)、數(shù)字式溫濕度計(jì)、電容式濕度檢測(cè)儀或露點(diǎn)傳感器等。根據(jù)溫濕度的波動(dòng)范圍，應(yīng)選擇足夠精度的測(cè)試儀表。溫度檢測(cè)儀表的極小刻度不宜高于0.4℃，濕度檢測(cè)儀表的極小刻度不宜高于2%。測(cè)點(diǎn)為房間中間一點(diǎn)，應(yīng)在溫濕度讀數(shù)穩(wěn)定后記錄。測(cè)完室內(nèi)溫濕度后，還應(yīng)同時(shí)測(cè)出室外溫濕度。潔凈室(區(qū))已處于正常生產(chǎn)狀態(tài),設(shè)備在指定的方式下進(jìn)行,并且有人員按照規(guī)范操作。

6.3.1管道安裝前應(yīng)進(jìn)行以下準(zhǔn)備工作：1配管下料時(shí)應(yīng)采用“等離子切割”或**切割鋸、割管刀等工具，不應(yīng)采用氧-乙炔焰切割，不得涂抹油脂或潤(rùn)滑劑。2管道切口應(yīng)與管軸線垂直，切口表面應(yīng)平整、無(wú)裂紋，應(yīng)去除毛刺。3在主管道上連接支管或部件時(shí)，宜用成品連接件。4普通不銹鋼管應(yīng)在工廠的清洗槽中用酸洗液清洗后再用清水沖洗干凈。5氧氣管道及附件，安裝前應(yīng)按相關(guān)規(guī)定方法進(jìn)行脫脂，脫脂應(yīng)在遠(yuǎn)離潔凈室的地點(diǎn)進(jìn)行，并做好操作人員的安全與環(huán)境保護(hù)工作。指潔凈室內(nèi)離地面高度0.8~15m(除工藝特殊要求外）的區(qū)域。上海半導(dǎo)體凈化車間無(wú)塵室檢測(cè)目的

高濕度實(shí)際上減小了潔凈室表面的靜電荷積累──這是人們希望的結(jié)果。浙江無(wú)塵室檢測(cè)

11.3.6安裝空調(diào)設(shè)備四周的設(shè)備層地面應(yīng)作防水處理，并應(yīng)平整、無(wú)麻面、不起塵。該處地面應(yīng)設(shè)擋水線，不應(yīng)設(shè)排水溝。擋水線范圍之內(nèi)設(shè)地漏，地漏水封高度應(yīng)符合設(shè)備技術(shù)文件要求。當(dāng)無(wú)明確要求時(shí)，不應(yīng)小于70mm。冷凝水出水管應(yīng)有閥門，無(wú)冷凝水排出季節(jié)閥門應(yīng)關(guān)閉，并應(yīng)有提示標(biāo)志。11.3.7當(dāng)空調(diào)設(shè)備內(nèi)表冷器設(shè)在負(fù)壓段時(shí)，地面應(yīng)設(shè)不小于冷凝水出水水封段高度的水泥底座，底座高度不宜低于200mm。11.3.8空調(diào)設(shè)備內(nèi)加濕器的安裝應(yīng)設(shè)**支吊架，不得在空調(diào)機(jī)組壁板上開(kāi)設(shè)固定支架用的安裝孔。加濕器噴管與機(jī)組壁板間應(yīng)做好絕熱、密封處理。浙江無(wú)塵室檢測(cè)