半導體晶圓搬運設備是指通過機器自動搬運,將晶圓從工序A的晶圓盒子或容器中移動道工序B的晶圓盒子或容器中。在這個過程中,晶圓儲片盒或容器中的晶圓被高速地、清潔地搬運和處理。狹義來說,半導體晶圓搬運設備只指單一半導體自動搬運機器,廣義來說半導體搬運設備應當為半導體自動物料搬運系統。半導體晶圓廠按功能不同可分為兩種型態,一為晶圓代工(Foundry Fab),其生產策略為客戶下單后按其交貨期來投片。另一為單一產品如DRAM、SRAM廠,生產策略為大量投片,大量產出。不論是哪種晶圓生產廠,其晶圓生產的流程和生產區域部件基本一致。這些流程經過不斷重復加工,直至完成產品,在經過電性測試合格后,出貨給下游客戶。在重復的過程中,各個環節之間晶圓運輸的高效和潔凈對成品的品質影響巨大。設備搬運要根據設備的重心位置合理安排著力點。云南醫療器械設備搬運公司
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