光刻機隔振臺電子顯微鏡STM

LFSLFS傳感器在三個軸上測量水平和垂直加速度，直到頻率約為0.2Hz。該傳感器直接放置在地板上，并與標準AVI/LP系統(tǒng)結合使用在前饋環(huán)路中，以提高非常低頻率的振動隔離。LFS可以改裝為現有的AVI-LP系統(tǒng)。LFS-3的設計、制造和測試均符合測量和控制設備的安全規(guī)定，并滿足EEC指令73/23的相關要求。系統(tǒng)符合EEC指令89/336（電磁兼容性）每個單獨的AVI元件必須連接到傳感器后部的D-Sub15插座之一。LFS的實際位置并不重要，但它當然必須放置在支持AVI單元的同一表面上。將AVI單元的上D-Sub15插座（診斷插座）連接到傳感器。傳感器LFS-3有一個單獨的電源，通過D-Sub25插座連接到LFS-3控制單元。光刻機隔振臺電子顯微鏡STM

LFS控制單元上的每個D-Sub15插座都有4個對應于AVI元件的開關輸出，這些AVI元件以任意4個矩形方向（即平行或直角）放置，不允許其他方向。面向LFS傳感器的藍色LED直立。將弟一個AVI元件連接到后面板上的12個D-Sub15插座中的任何一個。使用筆在位置A和D之間滑動開關。傳感器的位置:傳感器可以移動到任何所需位置。它可能位于負載下方或外部，但必須位于支持AVI元件的同一表面上。連接后，傳感器與AVI單元的方向必須保持不變。支承面剛度:支承面的剛度很重要。水平傳感器無法區(qū)分水平加速度和傾斜。因此，LFS和AVI元件所在的支承面必須盡可能堅硬，以便在附近移動時不會明顯傾斜。傾斜將導致傳感器輸出飽和，隔離將失效。原子力顯微鏡AFM隔振臺電子顯微鏡STMTS-140的高度只有84毫米。

TS-150安全守則?只能將系統(tǒng)插入具有單獨接地的插座。不要斷開此連接通過插座或使用不接地的延長線接地。?在打開本設備之前，請確保已將其連接到正確的電源電壓。?請勿卸下任何蓋子或讓任何金屬物體進入設備的任何開口。?請勿拆卸或嘗試維修系統(tǒng)。這可能會導致電擊或損壞到系統(tǒng)。?卸下任何主機蓋之前，請先斷開電源。請把維修交給合格的人員。?請勿在有BZ危險的環(huán)境中使用。?請勿在頂板上鉆任何孔。這會損壞系統(tǒng)。?如果您懷疑系統(tǒng)有任何不安全之處，請拔下電源插頭并防止可能發(fā)生的意外事故用法。請與您蕞近的服務中心聯(lián)系。

AVI400-XLAVI400-XL的基本配置包括兩個緊湊型隔振模塊和一個控制單元，最大負載為800公斤。通過增加緊湊型單元的數量，可以輕松實現對更高負載的支持。為了使AVI400-M適應用戶特定的應用，可以使用不同長度的緊湊型裝置。AVI400-XL的隔離始于1,2Hz，超過10HZ以上迅速增加至35db減少低頻諧振可得到比普通的被動空氣阻尼系統(tǒng)更好的性能AVI400-XL系統(tǒng)固有的剛性賦予其出色的方向性和位置穩(wěn)定性AVI400-XL的出色性能包括所有六個方向水平和垂直振動模式AVI400-XL緊湊型裝置不需要任何大型安裝工具。我們努力提供一種簡單，友好的概念-因此，在裝置上放置沉重的設備（例如SEM）時，避免了任何復雜的過程。技術指標：頻率：：0-800公斤（單個）：400公斤。TS系統(tǒng)的固有剛度賦予其出色的方向和位置穩(wěn)定性。

關鍵詞：主動式隔震臺、主動式隔振臺、主動式防振臺、防振臺、AVI、Herz、Tablestable、·AVI系列振動傳遞率橫坐標為頻率，縱坐標為傳遞率的數據，在10hz頻率以上時，傳遞率的數據小于0.02，很好地起到了隔振作用。AVI承載不同重量時不同方向上振動衰減的數據（實驗室實驗數據）垂直方向上的振動傳遞衰減，在承重時10hz的頻率以上時，蕞大可以達到40dB的衰減。隔振效率可以達到99%以上的效果。10Hz以上的頻率正常情況下是30dB到40dB的衰減。隔振效率可以達到99%以上的效果。10Hz以上的頻率正常情況下是30dB到40dB的衰減。AVI-400XLP隔振臺輪廓儀防震臺應用

LFS傳感器在三個軸上測量水平和垂直加速度，直到頻率約為0.2Hz。光刻機隔振臺電子顯微鏡STM

水平X軸方向上的振動傳遞衰減，在承重時10hz的頻率以上時，蕞大可以達到-40dB的衰減。隔振效率可以達到99%以上的效果。10Hz以上的頻率正常情況下是30dB到40dB的衰減。水平Y軸方向上的振動傳遞衰減，在承重時10hz的頻率以上時，蕞大可以達到-40dB的衰減。隔振效率可以達到99%以上的效果。10Hz以上的頻率正常情況下是30dB到40dB的衰減。AVI系列產品在振動加速度上的隔振效果。如果想要了解更多信息請聯(lián)系我們岱美儀器。或者訪問我們的官網。光刻機隔振臺電子顯微鏡STM