重慶納米壓印推薦型號

來源: 發布時間:2024-07-31

在EVG的NILPhotonics®解決方案支援中心,雙方合作研發用于制造光學傳感器的新材料,以及適用于大眾化市場的晶圓級光學元件。(奧地利)與WINDACH(德國),2019年11月27日――EV集團(EVG)這一全球領仙的為微機電系統、納米技術與半導體市場提供晶圓鍵合與光刻設備的供應商,金天宣布與高科技工業粘合劑制造商DELO在晶圓級光學元件(WLO)領域開展合作。這兩家公司均在光學傳感器制造領域處于領仙地位。它們的合作將充分利用EVG的透鏡注塑成型與納米壓印光刻(NIL)加工設備與DELO先進的粘合劑與抗蝕材料,在工業,汽車,消費類電子產品市場開發與應用新型光學設備,例如生物特征身份認證,面部識別。目前雙方正在EVG的NILPhotonics®解決方案支援中心(位于EVG總部,奧地利Florian)以及DELO在德國Windach的總部展開合作。雙方致力于改善與加快材料研發周期。EVG的NILPhotonics解決方案支援中心為NIL供應鏈的客戶與合作伙伴提供了開放的創新孵化器,旨在通過合作來縮短創新設備與應用的研發與推廣周期。該中心的基礎設施包括領仙技術的潔凈室與支持NIL制造的主要步驟的設備,例如分步重復母版,透鏡模制,以及EVG的SmartNIL®技術,晶圓鍵合與必要的測量設備。IQ Aligner?是EVG的可用于晶圓級透鏡成型和堆疊的高精度UV壓印系統。重慶納米壓印推薦型號

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SmartNIL是行業領仙的NIL技術,可對小于40nm*的極小特征進行圖案化,并可以對各種結構尺寸和形狀進行圖案化。SmartNIL與多用途軟戳技術相結合,可實現無人可比的吞吐量,并具有顯著的擁有成本優勢,同時保留了可擴展性和易于維護的操作。EVG的SmartNIL兌現了納米壓印的長期前景,即納米壓印是一種用于大規模制造微米級和納米級結構的低成本,大批量替代光刻技術。注:*分辨率取決于過程和模板。如果需要詳細的信息,請聯系我們岱美儀器技術服務有限公司。重慶納米壓印推薦型號在納米生物傳感器中,納米壓印可以用于制備納米級的生物傳感器,用于檢測生物分子的存在和濃度。

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EVG®520HE特征:用于聚合物基材和旋涂聚合物的熱壓印和納米壓印應用自動化壓花工藝EVG專有的獨力對準工藝,用于光學對準的壓印和壓印氣動壓花選項軟件控制的流程執行EVG®520HE技術數據加熱器尺寸:150毫米,200毫米蕞大基板尺寸:150毫米,200毫米蕞小基板尺寸:單芯片,100毫米蕞大接觸力:10、20、60、100kN最高溫度:標準:350°C;可選:550°C粘合卡盤系統/對準系統150毫米加熱器:EVG®610,EVG®620,EVG®6200200毫米加熱器:EVG®6200,MBA300,的SmartView®NT真空:標準:0.1毫巴可選:0.00001mbar 

EVG®520HE熱壓印系統特色:經通用生產驗證的熱壓印系統,可滿足蕞高要求EVG520HE半自動熱壓印系統設計用于對熱塑性基材進行高精度壓印。EVG的這種經過生產驗證的系統可以接受直徑蕞大為200mm的基板,并且與標準的半導體制造技術兼容。熱壓印系統配置有通用壓花腔室以及高真空和高接觸力功能,并管理適用于熱壓印的整個聚合物范圍。結合高縱橫比壓印和多種脫壓選項,提供了許多用于高質量圖案轉印和納米分辨率的工藝。如果需要詳細的信息,請聯系岱美儀器技術服務有限公司。EVG的納米壓印設備包括不同的單步壓印系統,大面積壓印機以及用于高效母版制作的分步重復系統。

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EVG®610紫外線納米壓印光刻系統具有紫外線納米壓印功能的通用研發掩膜對準系統,從碎片到蕞大達150毫米。該工具支持多種標準光刻工藝,例如真空,軟,硬和接近曝光模式,并且可以選擇背面對準。此外,該系統還為多功能配置提供了附加功能,包括鍵對準和納米壓印光刻(NIL)。EVG610提供快速的處理和重新安裝工具,以改變用戶需求,光刻和NIL之間的轉換時間瑾為幾分鐘。其先進的多用戶概念可以適應從初學者到**級別的所有需求,因此使其成為大學和研發應用程序的理想選擇。EVG系統是客戶進行大批量晶圓級鏡頭復制(制造)的弟一選擇。重慶納米壓印推薦型號

納米壓印技術具有高效、低成本、高精度等優點,可以實現大規模的納米結構制備。重慶納米壓印推薦型號

SmartNIL技術簡介SmartNIL是基于紫外線曝光的全域型壓印技術,可提供功能強大的下一代光刻技術,幾乎具有無限的結構尺寸和幾何形狀功能。由于SmartNIL集成了多次使用的軟標記處理功能,因此還可以實現無人能比的吞吐量,并具有顯著的擁有成本的優勢,同時保留了可擴展性和易于維護的操作功能。另外,主模板的壽命延長到與用于光刻的掩模相當的時間。岱美作為EVG在中國區的代理商,歡迎各位聯系我們,探討納米壓印光刻的相關知識。岱美儀器愿意與您共同進步。重慶納米壓印推薦型號

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