EVG®850LT特征利用EVG的LowTemp?等離子基活技術進行SOI和直接晶圓鍵合適用于各種熔融/分子晶圓鍵合應用生產系統可在高通量,高產量環境中運行盒到盒的自動操作(錯誤加載,SMIF或FOUP)無污染的背面處理超音速和/或刷子清潔機械平整或缺口對準的預鍵合先進的遠程診斷技術數據:晶圓直徑(基板尺寸)100-200、150-300毫米全自動盒帶到盒帶操作預鍵合室對準類型:平面到平面或凹口到凹口對準精度:X和Y:±50μm,θ:±0.1°結合力:ZUI高5N鍵合波起始位置:從晶圓邊緣到中心靈活真空系統:9x10-2mbar(標準)和9x10-3mbar(渦輪泵選件)EVG鍵合機可以使用適合每個通用鍵合室的zhuan用卡盤來處理各種尺寸晶圓和鍵合工藝。原裝進口鍵合機保修期多久
封裝技術對微機電系統 (micro-electro-mechanical system,MEMS) 器件尺寸及功能的影響巨大,已成為 MEMS技術發展和實用化的關鍵技術[1]。實現封裝的技術手段很多,其中較關鍵的工藝步驟就是鍵合工藝。隨著 MEMS 技術的發展,越來越多的器件封裝需要用到表面帶有微結構的硅片鍵合,然而MEMS器件封裝一般采用硅—硅直接鍵合( silicon directly bonding,SDB) 技術[2]。由于表面有微結構的硅片界面已經受到極大的損傷,其平整度和光滑度遠遠達不到SDB的要求,要進行復雜的拋光處理,這DADA加大了工藝的復雜性和降低了器件的成品率[3]。晶片鍵合機原理EVG所有鍵合機系統都可以通過遠程通信。
GEMINI自動化生產晶圓鍵合系統集成的模塊化大批量生產系統,用于對準晶圓鍵合特色技術數據GEMINI自動化生產晶圓鍵合系統可實現ZUI高水平的自動化和過程集成。批量生產的晶圓對晶圓對準和ZUI大200毫米(300毫米)的晶圓鍵合工藝都在一個全自動平臺上執行。器件制造商受益于產量的增加,高集成度以及多種鍵合工藝方法的選擇,例如陽極,硅熔合,熱壓和共晶鍵合。特征全自動集成平臺,用于晶圓對晶圓對準和晶圓鍵合底部,IR或Smaiew對準的配置選項多個鍵合室晶圓處理系統與鍵盤處理系統分開帶交換模塊的模塊化設計結合了EVG的精密對準EVG所有優點和®500個系列系統與duli系統相比,占用空間ZUI小可選的過程模塊:LowTemp?等離子活化晶圓清洗涂敷模塊紫外線鍵合模塊烘烤/冷卻模塊對準驗證模塊技術數據蕞大加熱器尺寸150、200、300毫米裝載室5軸機器人ZUI高鍵合模塊4個ZUI高預處理模塊200毫米:4個300毫米:6個。
BONDSCALE?自動化生產熔融系統啟用3D集成以獲得更多收益特色技術數據EVGBONDSCALE?自動化生產熔融系統旨在滿足廣fan的熔融/分子晶圓鍵合應用,包括工程化的基板制造和使用層轉移處理的3D集成方法,例如單片3D(M3D)。借助BONDSCALE,EVG將晶片鍵合應用于前端半導體處理中,并幫助解決內部設備和系統路線圖(IRDS)中確定的“超摩爾”邏輯器件擴展的長期挑戰。結合增強的邊緣對準技術,與現有的熔融鍵合平臺相比,BONDSCALE大幅提高了晶圓鍵合生產率,并降低了擁有成本(CoO)。晶圓鍵合系統EVG501是適用于學術界和工業研究的多功能手動晶圓鍵合機器。
1)由既定拉力測試高低溫循環測試結果可以看出,該鍵合工藝在滿足實際應用所需鍵合強度的同時,解決了鍵合對硅晶圓表面平整度和潔凈度要求極高、對環境要求苛刻的問題。2)由高低溫循環測試結果可以看出,該鍵合工藝可以適應復雜的實際應用環境,且具有工藝溫度低,容易實現圖形化,應力匹配度高等優點。3)由破壞性試驗結果可以看出,該鍵合工藝在圖形邊沿的鍵合率并不高,鍵合效果不太理想,還需對工藝流程進一步優化,對工藝參數進行改進,以期達到更高的鍵合強度與鍵合率。EVG所有鍵合機系統都可以通過遠程通信的。北京鍵合機用于生物芯片
EVG500系列鍵合機是基于獨特模塊化鍵合室設計,能夠實現從研發到大批量生產的簡單技術轉換。原裝進口鍵合機保修期多久
中國貿易型正面臨百年未有之大變局,行業行家認為,中美貿易戰不會有終點,中美關系時好時壞將成為常態,儀器儀表行業無法排除大局勢的影響,且不要把問題聚焦在關稅上。中國經濟的高速發展得益于WTO框架下的全球化分工;現在中國制造的競爭力在于工業門類齊全、供應鏈完整、供應鏈的高度專業和細分。隨著儀器儀表和計算機的完美結合,為了更好地滿足人們對精神世界的需求,體驗多維世界給人們帶來的快樂,儀器儀表的虛擬化開始發展。身臨其境接受客觀實物,給美又增添了一絲創意。隨著中國的不斷進步,世界上只有一個救世主——市場,能救企業的只有你自己——自強,提高貿易型重點競爭力才是中國制造業的獨一出路。以顯微科學儀器行業的發展與變化為例,以親身的實踐為例,毛磊認為,隨著經濟的不斷發展,我國的環境和實力都發生了巨大變化,有了完全不同的基礎,這為國產科學儀器走向高階水平增強了信心。我國現有其他有限責任公司企業數千多家,已經形成門類品種比較齊全,具有一定技術基礎和生產規模的產業體系。但同時業內**也指出,雖然我國測試儀器產業有了一定的發展,但遠遠不能滿足國民經濟各行各業日益增長的迫切需求。原裝進口鍵合機保修期多久
岱美儀器技術服務(上海)有限公司公司是一家專門從事半導體工藝設備,半導體測量設備,光刻機 鍵合機,膜厚測量儀產品的生產和銷售,是一家貿易型企業,公司成立于2002-02-07,位于金高路2216弄35號6幢306-308室。多年來為國內各行業用戶提供各種產品支持。在孜孜不倦的奮斗下,公司產品業務越來越廣。目前主要經營有半導體工藝設備,半導體測量設備,光刻機 鍵合機,膜厚測量儀等產品,并多次以儀器儀表行業標準、客戶需求定制多款多元化的產品。岱美儀器技術服務(上海)有限公司每年將部分收入投入到半導體工藝設備,半導體測量設備,光刻機 鍵合機,膜厚測量儀產品開發工作中,也為公司的技術創新和人材培養起到了很好的推動作用。公司在長期的生產運營中形成了一套完善的科技激勵政策,以激勵在技術研發、產品改進等。岱美儀器技術服務(上海)有限公司注重以人為本、團隊合作的企業文化,通過保證半導體工藝設備,半導體測量設備,光刻機 鍵合機,膜厚測量儀產品質量合格,以誠信經營、用戶至上、價格合理來服務客戶。建立一切以客戶需求為前提的工作目標,真誠歡迎新老客戶前來洽談業務。