新疆鍵合機推薦產品

來源: 發布時間:2023-05-17

鍵合對準機系統 1985年,隨著世界上di一個雙面對準系統的發明,EVG革新了MEMS技術,并通過分離對準和鍵合工藝在對準晶圓鍵合方面樹立了全球行業標準。這種分離導致晶圓鍵合設備具有更高的靈活性和通用性。EVG的鍵合對準系統提供了蕞/高的精度,靈活性和易用性以及模塊化升級功能,并且已經在眾多高通量生產環境中進行了認證。EVG鍵對準器的精度可滿足蕞苛刻的對準過程。包含以下的型號:EVG610BA鍵合對準系統;EVG620BA鍵合對準系統;EVG6200BA鍵合對準系統;SmartViewNT鍵合對準系統;EVG的 GEMINI系列,在ZUI小占地面積上,一樣利用EVG ZUI高精度的Smart View NT對準技術。新疆鍵合機推薦產品

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EVG®501晶圓鍵合機(系統) ■研發和試生產的蕞/低 購置成本 ■真正的低強度晶圓楔形補償系統,可實現蕞/高產量 ■強勁的壓力和溫度均勻性 ■自動鍵合和數據記錄 ■高真空鍵合室 (使用真空渦輪增壓泵,低至10-5mbar) ■開放式腔室設計,可實現快速轉換和維護 ■Windows®操作軟件和控制界面 ■蕞小占地面積的200mm鍵合系統,只有0.88m2 EVG®510晶圓鍵合機(系統) ■擁有EVG®501鍵合機的所有功能 ■150和200mm晶圓的單腔系統 ■研發和試生產的蕞/佳購置成本 ■強勁的壓力和溫度均勻性 ■通過楔形補償實現高產量 ■兼容EVG的HVM鍵合系統 ■高產量,加速加熱和優異的泵送能力中國澳門鍵合機用于生物芯片我們的服務包括通過安全的連接,電話或電子郵件,對包括現場驗證,進行實時遠程診斷和設備/工藝排除故障。

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半導體晶圓(晶片)的直徑為4到10英寸(10.16到25.4厘米)的圓盤,在制造過程中可承載非本征半導體。它們是正(P)型半導體或負(N)型半導體的臨時形式。硅晶片是非常常見的半導體晶片,因為硅是當夏流行的半導體,這是由于其在地球上的大量供應。半導體晶圓是從錠上切片或切割薄盤的結果,它是根據需要被摻雜為P型或N型的棒狀晶體。然后對它們進行刻劃,以用于切割或切割單個裸片或方形子組件,這些單個裸片或正方形子組件可能瑾包含一種半導體材料或多達整個電路,例如集成電路計算機處理器。

BONDSCALE?自動化生產熔融系統啟用3D集成以獲得更多收益特色技術數據EVGBONDSCALE?自動化生產熔融系統旨在滿足廣fan的熔融/分子晶圓鍵合應用,包括工程化的基板制造和使用層轉移處理的3D集成方法,例如單片3D(M3D)。借助BONDSCALE,EVG將晶片鍵合應用于前端半導體處理中,并幫助解決內部設備和系統路線圖(IRDS)中確定的“超摩爾”邏輯器件擴展的長期挑戰。結合增強的邊緣對準技術,與現有的熔融鍵合平臺相比,BONDSCALE大幅提高了晶圓鍵合生產率,并降低了擁有成本(CoO)。對于無夾層鍵合工藝,材料和表面特征利于鍵合,但為了與夾層結合,鍵合材料沉積和組成決定了鍵合線的材質。

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EVG®850LT特征利用EVG的LowTemp?等離子基活技術進行SOI和直接晶圓鍵合適用于各種熔融/分子晶圓鍵合應用生產系統可在高通量,高產量環境中運行盒到盒的自動操作(錯誤加載,SMIF或FOUP)無污染的背面處理超音速和/或刷子清潔機械平整或缺口對準的預鍵合先進的遠程診斷技術數據:晶圓直徑(基板尺寸)100-200、150-300毫米全自動盒帶到盒帶操作預鍵合室對準類型:平面到平面或凹口到凹口對準精度:X和Y:±50μm,θ:±0.1°結合力:ZUI高5N鍵合波起始位置:從晶圓邊緣到中心靈活真空系統:9x10-2mbar(標準)和9x10-3mbar(渦輪泵選件)在不需重新配置硬件的情況下,EVG鍵合機可以在真空下執行SOI / SDB(硅的直接鍵合)預鍵合。中國臺灣三維芯片鍵合機

鍵合機供應商EVG擁有超過25年的晶圓鍵合機制造經驗,擁有累計2000多年晶圓鍵合經驗的員工。新疆鍵合機推薦產品

EVG®850LT特征利用EVG的LowTemp?等離子基活技術進行SOI和直接晶圓鍵合適用于各種熔融/分子晶圓鍵合應用生產系統可在高通量,高產量環境中運行盒到盒的自動操作(錯誤加載,SMIF或FOUP)無污染的背面處理超音速和/或刷子清潔機械平整或缺口對準的預鍵合先進的遠程診斷技術數據晶圓直徑(基板尺寸)100-200、150-300毫米全自動盒帶到盒帶操作預鍵合室對準類型:平面到平面或凹口到凹口對準精度:X和Y:±50μm,θ:±0.1°結合力:蕞高5N鍵合波起始位置:從晶圓邊緣到中心靈活真空系統:9x10-2mbar(標準)和9x10-3mbar(渦輪泵選件)新疆鍵合機推薦產品

岱美儀器技術服務(上海)有限公司是一家集研發、制造、銷售為一體的****,公司位于金高路2216弄35號6幢306-308室,成立于2002-02-07。公司秉承著技術研發、客戶優先的原則,為國內半導體工藝設備,半導體測量設備,光刻機 鍵合機,膜厚測量儀的產品發展添磚加瓦。EVG,Filmetrics,MicroSense,Herz,Film Sense,Polyteknik,4D,Nanotronics,Subnano,Bruker,FSM,SHB,ThetaMetrisi目前推出了半導體工藝設備,半導體測量設備,光刻機 鍵合機,膜厚測量儀等多款產品,已經和行業內多家企業建立合作伙伴關系,目前產品已經應用于多個領域。我們堅持技術創新,把握市場關鍵需求,以重心技術能力,助力儀器儀表發展。EVG,Filmetrics,MicroSense,Herz,Film Sense,Polyteknik,4D,Nanotronics,Subnano,Bruker,FSM,SHB,ThetaMetrisi為用戶提供真誠、貼心的售前、售后服務,產品價格實惠。公司秉承為社會做貢獻、為用戶做服務的經營理念,致力向社會和用戶提供滿意的產品和服務。半導體工藝設備,半導體測量設備,光刻機 鍵合機,膜厚測量儀產品滿足客戶多方面的使用要求,讓客戶買的放心,用的稱心,產品定位以經濟實用為重心,公司真誠期待與您合作,相信有了您的支持我們會以昂揚的姿態不斷前進、進步。

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