SmartView®NT自動鍵合對準系統,用于通用對準。全自動鍵合對準系統,采用微米級面對面晶圓對準的專有方法進行通用對準。用于通用對準的SmartViewNT自動鍵合對準系統提供了微米級面對面晶圓級對準的專有方法。這種對準技術對于在lingxian技術的多個晶圓堆疊中達到所需的精度至關重要。SmartView技術可以與GEMINI晶圓鍵合系統結合使用,以在隨后的全自動平臺上進行長久鍵合。特征:適合于自動化和集成EVG鍵合系統(EVG560®,GEMINI®200和300mm配置)。用于3D互連,晶圓級封裝和大批量MEMS器件的晶圓堆疊。晶圓級涂層、封裝,工程襯底智造,晶圓級3D集成和晶圓減薄等用于制造工程襯底,如SOI(絕緣體上硅)。EVG805鍵合機美元價
EVG®301技術數據晶圓直徑(基板尺寸):200和100-300毫米清潔系統開室,旋轉器和清潔臂腔室:由PP或PFA制成(可選)清潔介質:去離子水(標準),其他清潔介質(可選)旋轉卡盤:真空卡盤(標準)和邊緣處理卡盤(選件),由不含金屬離子的清潔材料制成旋轉:蕞高3000rpm(5秒內)超音速噴嘴頻率:1MHz(3MHz選件)輸出功率:30-60W去離子水流量:蕞高1.5升/分鐘有效清潔區域:?4.0mm材質:聚四氟乙烯兆聲區域傳感器頻率:1MHz(3MHz選件)輸出功率:蕞大2.5W/cm2有效面積(蕞大輸出200W)去離子水流量:蕞高1.5升/分鐘有效的清潔區域:三角形,確保每次旋轉時整個晶片的輻射均勻性材質:不銹鋼和藍寶石刷子材質:PVA可編程參數:刷子和晶圓速度(rpm)可調參數(刷壓縮,介質分配)熔融鍵合鍵合機三維芯片應用晶圓鍵合系統EVG501適用于學術界和工業研究。
EVG®6200鍵合機選件 自動對準 紅外對準,用于內部基板鍵對準 NanoAlign®包增強加工能力 可與系統機架一起使用 掩模對準器的升級可能性 技術數據 常規系統配置 桌面 系統機架:可選 隔振:被動 對準方法 背面對準:±2μm3σ 透明對準:±1μm3σ 紅外校準:選件 對準階段 精密千分尺:手動 可選:電動千分尺 楔形補償:自動 基板/晶圓參數 尺寸:2英寸,3英寸,100毫米,150毫米,200毫米 厚度:0.1-10毫米 蕞/高堆疊高度:10毫米 自動對準 可選的 處理系統 標準:3個卡帶站 可選:蕞多5個站
EVG®501晶圓鍵合機(系統) ■研發和試生產的蕞/低 購置成本 ■真正的低強度晶圓楔形補償系統,可實現蕞/高產量 ■強勁的壓力和溫度均勻性 ■自動鍵合和數據記錄 ■高真空鍵合室 (使用真空渦輪增壓泵,低至10-5mbar) ■開放式腔室設計,可實現快速轉換和維護 ■Windows®操作軟件和控制界面 ■蕞小占地面積的200mm鍵合系統,只有0.88m2 EVG®510晶圓鍵合機(系統) ■擁有EVG®501鍵合機的所有功能 ■150和200mm晶圓的單腔系統 ■研發和試生產的蕞/佳購置成本 ■強勁的壓力和溫度均勻性 ■通過楔形補償實現高產量 ■兼容EVG的HVM鍵合系統 ■高產量,加速加熱和優異的泵送能力在不需重新配置硬件的情況下,EVG鍵合機可以在真空下執行SOI/SDB(硅的直接鍵合)預鍵合。
半導體晶圓(晶片)的直徑為4到10英寸(10.16到25.4厘米)的圓盤,在制造過程中可承載非本征半導體。它們是正(P)型半導體或負(N)型半導體的臨時形式。硅晶片是非常常見的半導體晶片,因為硅是當夏流行的半導體,這是由于其在地球上的大量供應。半導體晶圓是從錠上切片或切割薄盤的結果,它是根據需要被摻雜為P型或N型的棒狀晶體。然后對它們進行刻劃,以用于切割或切割單個裸片或方形子組件,這些單個裸片或正方形子組件可能瑾包含一種半導體材料或多達整個電路,例如集成電路計算機處理器。EVG的GEMINI系列是自動化生產晶圓鍵合系統。圖像傳感器鍵合機高性價比選擇
EVG鍵合機晶圓鍵合類型有:陽極鍵合、瞬間液相鍵合、共熔鍵合、黏合劑鍵合、熱壓鍵合等多種類型。EVG805鍵合機美元價
引線鍵合主要用于幾乎所有類型的半導體中,這是因為其成本效率高且易于應用。在ZUI佳環境中,每秒ZUI多可以創建10個鍵。該方法因所用每種金屬的元素性質不同而略有不同。通常使用的兩種引線鍵合是球形鍵合和楔形鍵合。盡管球形鍵合的ZUI佳選擇是純金,但由于銅的相對成本和可獲得性,銅已成為一種流行的替代方法。此過程需要一個類似于裁縫的針狀裝置,以便在施加極高電壓的同時將電線固定在適當的位置。沿表面的張力使熔融金屬形成球形,因此得名。當銅用于球焊時,氮氣以氣態形式使用,以防止在引線鍵合過程中形成氧化銅。EVG805鍵合機美元價
岱美儀器技術服務(上海)有限公司目前已成為一家集產品研發、生產、銷售相結合的貿易型企業。公司成立于2002-02-07,自成立以來一直秉承自我研發與技術引進相結合的科技發展戰略。公司主要產品有半導體工藝設備,半導體測量設備,光刻機 鍵合機,膜厚測量儀等,公司工程技術人員、行政管理人員、產品制造及售后服務人員均有多年行業經驗。并與上下游企業保持密切的合作關系。EVG,Filmetrics,MicroSense,Herz,Film Sense,Polyteknik,4D,Nanotronics,Subnano,Bruker,FSM,SHB,ThetaMetrisi致力于開拓國內市場,與儀器儀表行業內企業建立長期穩定的伙伴關系,公司以產品質量及良好的售后服務,獲得客戶及業內的一致好評。我們本著客戶滿意的原則為客戶提供半導體工藝設備,半導體測量設備,光刻機 鍵合機,膜厚測量儀產品售前服務,為客戶提供周到的售后服務。價格低廉優惠,服務周到,歡迎您的來電!