Polos光刻機與德國Lab14集團、弗勞恩霍夫研究所等機構合作,推動光子集成與半導體封裝技術發展。例如,Quantum X align系統的高對準精度(100 nm)為光通信芯片提供可靠解決方案,彰顯德國精密制造與全球產業鏈整合的優勢。無掩模激光光刻 (MLL) 是一種微加工技術,用于在基板上以高精度和高分辨率創建復雜圖案。一個新加坡研究團隊通過無縫集成硬件和軟件組件,開發出一款緊湊且經濟高效的 MLL 系統。通過與計算機輔助設計軟件無縫集成,操作員可以輕松輸入任意圖案進行曝光。該系統占用空間小,非常適合研究實驗室,并broad應用于微流體、電子學和納/微機械系統等各個領域。該系統的經濟高效性使其優勢擴展到大學研究實驗室以外的領域,為半導體和醫療公司提供了利用其功能的機會。跨學科應用:覆蓋微機械、光子晶體、仿生傳感器與納米材料合成領域。湖北BEAM-XL光刻機
對于納 / 微機械系統的研究與制造,德國 Polos 光刻機系列展現出強大實力。無掩模激光光刻技術賦予它高度的靈活性,科研人員能夠快速將創新設計轉化為實際器件。在制造微型齒輪、納米級懸臂梁等微機械結構時,Polos 光刻機可precise控制激光,確保每個部件的尺寸和形狀都符合設計要求。 借助該光刻機,科研團隊成功研發出新型微機械傳感器,其靈敏度和響應速度遠超傳統產品。并且,由于系統占用空間小,即使是小型實驗室也能輕松引入。Polos 光刻機以其低成本、高效率的特性,成為納 / 微機械系統領域的制造先鋒,助力科研人員不斷探索微納世界的奧秘。廣東桌面無掩模光刻機不需要緩慢且昂貴的光掩模POLOS 光刻機:微型化機身,納米級曝光精度,微流體芯片制備周期縮短 40%。
德國 Polos 光刻機系列是電子學領域不可或缺的精密設備。其無掩模激光光刻技術,讓電路圖案曝光不再受限于掩模,能夠實現超高精度的圖案繪制。在芯片研發過程中,Polos 光刻機可precise刻畫出納米級別的電路結構,為芯片性能提升奠定基礎。 科研團隊使用 Polos 光刻機,成功開發出更高效的集成電路,降低芯片能耗,提高運算速度。而且,該光刻機可輕松輸入任意圖案,滿足不同電子元件的多樣化設計需求。無論是新型傳感器的電路制作,還是微型處理器的研發,Polos 光刻機都能以高精度、低成本的優勢,為電子學領域的科研成果產出提供有力保障,推動電子技術不斷創新。
無掩模激光光刻:科研效率的revolution性提升!Polos-BESM系列采用無掩模激光直寫技術,用戶可通過軟件直接輸入任意圖案,省去傳統光刻中掩膜制備的高昂成本與時間。其405 nm紫外光源和亞微米分辨率(most小線寬0.8 m)支持5英寸晶圓的高精度加工,特別適合實驗室快速原型開發。閉環自動對焦系統(1秒完成)和半自動多層對準功能,remarkable提升微流體芯片和MEMS器件的研發效率62。無掩模激光光刻 (MLL) 是一種微加工技術,用于在基板上以高精度和高分辨率創建復雜圖案。一個新加坡研究團隊通過無縫集成硬件和軟件組件,開發出一款緊湊且經濟高效的 MLL 系統。通過與計算機輔助設計軟件無縫集成,操作員可以輕松輸入任意圖案進行曝光。該系統占用空間小,非常適合研究實驗室,并broad應用于微流體、電子學和納/微機械系統等各個領域。該系統的經濟高效性使其優勢擴展到大學研究實驗室以外的領域,為半導體和醫療公司提供了利用其功能的機會。用戶案例broad:全球超500家科研機構采用,覆蓋高校、研究所與企業實驗室。
Polos-BESM在電子器件原型開發中展現高效性。例如,其軟件支持GDS文件直接導入,多層曝光疊加功能簡化了射頻器件(如IDC電容器)的制造流程。研究團隊利用同類設備成功制備了高頻電路元件,驗證了其在5G通信和物聯網硬件中的潛力。無掩模光刻技術可以隨意進行納米級圖案化,無需使用速度慢且昂貴的光罩。這種便利對于科研和快速原型制作非常有用。POL0S@ Beam XL在性能上沒有任何妥協的情況下,將該技術帶到了桌面上,進一步提升了其優勢。無掩模光刻技術可以隨意進行納米級圖案化,無需使用速度慢且昂貴的光罩。這種便利對于科研和快速原型制作非常有用。POL0S@ Beam XL在性能上沒有任何妥協的情況下,將該技術帶到了桌面上,進一步提升了其優勢。成本效益:單次曝光成本低于傳統光刻 1/3,小批量研發更經濟。河南德國POLOS桌面無掩模光刻機MAX基材尺寸4英寸到6英寸
微型傳感器量產:80 m開環諧振器加工能力,推動工業級MEMS傳感器升級。湖北BEAM-XL光刻機
可編程微流控芯片需要集成電路控制與流體通道,傳統工藝需多次掩模對準,良率only 30%。Polos 光刻機的多材料同步曝光技術,支持在同一塊基板上直接制備金屬電極與 PDMS 通道,將良率提升至 85%。某微系統實驗室利用該特性,開發出可實時切換流路的生化分析芯片,通過軟件輸入不同圖案,10 分鐘內即可完成從 DNA 擴增到蛋白質檢測的模塊切換。該成果應用于 POCT 設備,使現場快速檢測系統的體積縮小 60%,檢測時間縮短至傳統方法的 1/3。無掩模激光光刻 (MLL) 是一種微加工技術,用于在基板上以高精度和高分辨率創建復雜圖案。一個新加坡研究團隊通過無縫集成硬件和軟件組件,開發出一款緊湊且經濟高效的 MLL 系統。通過與計算機輔助設計軟件無縫集成,操作員可以輕松輸入任意圖案進行曝光。該系統占用空間小,非常適合研究實驗室,并broad應用于微流體、電子學和納/微機械系統等各個領域。該系統的經濟高效性使其優勢擴展到大學研究實驗室以外的領域,為半導體和醫療公司提供了利用其功能的機會。湖北BEAM-XL光刻機