若干所述側支撐件44固定設置在所述固定板423的端面上;所述固定板423兩端均設置有至少兩個固定卡塊427,所述固定卡塊427一般設置為矩形橫截面結構,便于所述固定板423端面的朝向定位;對應的,所述調節槽內設置有固定槽426,當所述固定板423兩端各自的兩所述固定卡塊427分別設置于對應的所述固定槽426內時,設置有所述側支撐件44的端面對應所述豎直平板421上的所述側支撐件44,且設置所述側支撐件44的所述豎直平板421和所述固定板423設置在所述底支撐件43的兩側,從而實現對所述盛放部內玻璃的支撐限位。其中,如圖3所示,所述側板422上所述調節槽的一種實施方式為,所述調節槽包括若干水平槽424和與所述水平槽424均豎直貫通連接的豎直槽425,所述固定槽426設置于所述水平槽424的下邊緣,所述固定槽426對應所述固定卡塊427設置為u型槽,從而便于固定所述固定卡塊427的擺放位置。所述水平槽424和所述豎直槽425的尺寸均對應所述固定卡塊427的尺寸設置,使所述固定卡塊427可在所述水平槽424和所述豎直槽425內自由移動。在本實施方式中,兩所述豎直平板421中一所述豎直平板421上設置有所述側支撐件44,同一所述水平槽424多只設置一個所述固定卡塊427。哪家減薄用清洗劑的是口碑推薦?安徽清洗效果好的減薄用清洗劑費用
產生不良次品;同時由于所述側支撐件44的移動,可帶動玻璃在所述玻璃加工治具4上的擺動,從而實現玻璃與噴淋液的充分均勻接觸。較佳的,所述底座41和實施支撐架42上均設置有若干流通孔,所述流通孔便于所述玻璃加工治具4上的所述噴淋液流至所述收集槽內。實施例四所述支撐架42包括對應設置的架體和第二架體,所述架體和所述第二架體均固定設置在所述底座41上,所述架體包括平行對應設置的兩豎直平板421,所述第二架體為與所述豎直平板421連接的對應兩側板422,所述架體和所述第二架體形成盛放部,玻璃設置在所述盛放部內;所述側板422和所述豎直平板421可均固定設置于所述底座41上,也可相互固定連接形成穩定的矩形框架。所述架體和所述第二架體均設置有若干所述側支撐件44,且所述側支撐件44對應所述底支撐件43設置。較佳的,所述架體上固定設置有若干固定孔,所述側支撐件44可根據玻璃的具體尺寸在相應所述固定孔上固定設置;所述第二架體上設置有調節槽,對應所述調節槽還設置有固定板423,所述固定板423的兩端分別設置在對應兩所述側板422的所述調節槽上,并可在所述調節槽內調節移動,從而可使所述玻璃加工治具4適用于不同尺寸的玻璃放置。一般的。南京市面上哪家減薄用清洗劑銷售價格減薄用清洗劑的的概費用是多少?
將待加工部件固定在托盤上包括:采用光刻膠將待加工部件固定在托盤上。具體地,將待加工部件背面噴涂厚度約為2μm的光刻膠,如az4620光刻膠,然后在托盤表面噴涂厚度約為3μm的光刻膠,如az4620光刻膠,之后,將托盤光刻膠面向上放于溫度為90℃的熱板上,將待加工部件光刻膠面和托盤光刻膠面貼合,在2×10-2mabr真空下,施加1bar壓強于待加工部件上進行鍵合,鍵合時間20min。s102:通過噴頭向待加工部件的待加工表面噴涂拋光液,來對待加工表面進行拋光;s103:通過磁轉子旋轉對待加工表面進行機械研磨,來對待加工表面進行減薄。可選地,本發明實施例中,s102和s103可以交替進行,也就是說,控制磁轉子旋轉一段時間后,控制磁轉子停止旋轉,并控制噴頭噴涂拋光液,停止噴涂拋光液后,再次控制磁轉子旋轉,以此類推。本發明實施例中,通過磁轉子和噴頭交替工作,實現了減薄和拋光兩種工藝交替作用,使得減薄和拋光一體化完成,整個過程穩定,速度快,控制性好,重復度高,無粉塵污染,襯底減薄終厚度達到20μm,拋光面ra<2nm。由于減薄過程中待加工部件20如inp基晶圓本身不旋轉,因此,可以降低拋光減薄過程中對待加工部件20如inp基晶圓的擠壓應力。
來對所述待加工表面進行減薄。可選地,還包括:在所述磁轉子運行一段時間后,更換所述磁轉子。可選地,將待加工部件固定在托盤上包括:采用光刻膠將所述待加工部件固定在所述托盤上。可選地,對所述待加工部件的待加工表面進行拋光和減薄之后,還包括:對所述待加工部件進行清洗;采用特定溶液對所述光刻膠進行腐蝕,以將所述待加工部件與所述托盤分離。與現有技術相比,本發明所提供的技術方案具有以下優點:本發明所提供的拋光減薄裝置和拋光減薄方法,采用托盤固定待加工部件,采用噴頭向待加工部件的待加工表面噴涂拋光液,來對所述待加工表面進行拋光,采用磁轉子旋轉對待加工表面進行機械研磨,來對所述待加工表面進行減薄,由于減薄過程中待加工部件如inp基晶圓本身不旋轉,因此,可以降低拋光減薄過程中對待加工部件如inp基晶圓的擠壓應力,降低待加工部件如inp基晶圓的機械加工損傷。附圖說明為了更清楚地說明本發明實施例或現有技術中的技術方案,下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹,顯而易見地,下面描述中的附圖是本發明的實施例,對于本領域普通技術人員來講,在不付出創造性勞動的前提下,還可以根據提供的附圖獲得其他的附圖。蘇州哪家公司的減薄用清洗劑的價格比較劃算?
圖2為所述蝕刻區的結構示意圖;圖3為所述玻璃加工治具的種結構正視圖;圖4為所述玻璃加工治具的第二種結構正視圖;圖5為圖3中的局部放大圖;圖6為所述玻璃加工治具的結構俯視圖;圖7為所述底支撐件的結構正視圖;圖8為所述底支撐件的結構側視圖。圖中數字表示:1-轉換區;2-沖洗區;3-蝕刻區;4-玻璃加工治具;31-腔室;32-主厚度測量儀;33-噴淋組件;41-底座;42-支撐架;43-底支撐件;44-側支撐件;421-豎直平板;422-側板;423-固定板;424-水平槽;425-豎直槽;426-固定槽;427-固定卡塊;428-定位槽;429-定位孔;431-支撐條;432-第二支撐條;433-連接部;434-接觸部;435-磁性件;436-第二磁性件;437-限位孔;438-限位塊;439-第二限位塊。具體實施方式以下結合附圖,對本發明上述的和另外的技術特征和優點作更詳細的說明。實施例一如圖1所示,圖1為所述玻璃減薄設備的結構視圖;本發明中所述玻璃減薄設備包括轉換區1、沖洗區2和蝕刻區3,所述沖洗區2設置于所述轉換區1和所述蝕刻區3之間,豎直容納在玻璃加工治具4中的多個玻璃通過所述轉換區1被加載到所述沖洗區2中,在所述沖洗區2中進行減薄前清潔并且在所述蝕刻區3中經歷減薄處理。什么地方需要使用 減薄用清洗劑。廣東市面上哪家減薄用清洗劑費用是多少
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所述控制器控制所述玻璃加工治具4在所述蝕刻區3內作往復移動,所述主厚度測量儀32測量玻璃厚度并且將關于測得厚度的信息實時發送到所述控制器;當測得玻璃厚度達到預設目標厚度時,所述控制器停止在所述蝕刻區3中噴射噴淋液的減薄處理,并且控制所述玻璃加工治具4向所述沖洗區2移動。一般的,在所述腔室31內,減薄處理的具體工藝參數為:所述玻璃加工治具4的往復運動中單程單向時間設置為~4s,來回往復一次時間設置為3s~8s,往復移動幅度設置約為180mm左右;所述噴淋系統控制的噴淋液流量設置為1500lpm~2400lpm,在所述腔室31內的酸蝕溫度一般設置為20℃~40℃;在上述參數下,玻璃的酸蝕速率一般在μm/min~μm/min,可有效實現對玻璃的整體減薄處理。s2,完成減薄處理的所述玻璃加工治具4在所述沖洗區2內經減薄后初清洗后待機,所述控制器進行次減薄厚度確認操作;具體的,通過設置于所述沖洗區2內的所述輔助厚度測量儀,進行檢測厚度比較,從而實現所述減薄厚度確認操作,當所述減薄厚度未達到目標厚度時,所述控制器可控制所述玻璃加工治具4再次回撤至所述腔室31內進行再次減薄處理。s3,所述玻璃加工治具4移動至所述第三沖洗區2進行減薄后終清洗。安徽清洗效果好的減薄用清洗劑費用