輔助系統的設計，氣體柜或控制面板在安裝和運輸的過程中由于搬運和震動，閥門、接頭、過濾器等的更換、或其他原因、需要對其重新進行高壓氣密性試驗和氦檢，氣體的置換也需要用到高壓氮氣或氦氣，所以特氣柜需設計接入高壓惰性氣體氦氣或氮氣。一般選擇在特氣房設置一臺或多臺惰性氣體柜。其連接形式為：特氣柜中裝有各種氣體驅動閥，主管路在送氣前必須進行管道的吹掃和空氣的置換，所以還需輔助有高純氮氣和潔凈壓縮空氣系統。氮氣系統采用SUS316L-EP管，CDA可采用SUS316L-BA管，其管徑根據氣柜的多少來計算決定。管道支架制作安裝采用機械切割，臺鉆鉆孔，嚴禁氣割。泰州大口徑特氣管道安裝連接圖
系統檢測，特氣管道施工結束后都需要進行壓力檢測，氦檢漏，顆粒度和水分、氧分測試。壓力檢測一般采用比較精密的圓盤式壓力檢測儀或電子檢測儀，不用壓力表。這樣較大程度上提高了檢測的精密度。水、氧測試采用水氧分析儀;顆粒度測試目前基本采用激光顆粒測試儀，精度達到0.1微米;而對要求更高的采用核凝結技術(CNC)它可達到0.01微米。其它氣相雜質的測試根據具體要求確定。以上，便是特氣管道安裝的8大注意事項，希望能在您自己安裝特氣管道系統時，提供一點小小幫助，當然如果您的自己安裝不好，也可去找專業氣體管道安裝公司。常州工業特氣管道安裝精選廠家選擇特氣管道工程安裝公司的標準：施工技藝先進，驗收嚴格按照規定標準。
特種氣體管道的施工，特種氣體管道的施工采用全自動軌道焊接，同時制定和實施嚴格的超高純施工和QA/QC保證程序，對施工的質量和程序進行嚴格的監控和管理。然后整個系統還要進行氦檢漏、水分、氧分和顆粒度檢測、以及其他要求做的氣相雜質的測試。其現場基本的施工程序為：施工圖紙會審﹣→施工組織編寫﹣→預制間的搭設﹣→施工機具的準備﹣→施工人員的培訓﹣→預制圖紙的編寫﹣→管道的預制﹣→管道的現場安裝﹣→系統檢測﹣→系統驗收。主要的施工機具，特種氣體管道的主要施工機具有:全自動軌道焊機(D100、MIOO等)管道切割機（GF鋸）、管子割刀、平口機、彎管器、倒角器、管口毛刺修理刮刀、有的需要配置電源穩壓器、防止施工現場電流波動對焊接質量造成影響、臺虎鉗、配電箱、拖線盤、臺鉆、電鉆、沖擊鉆、切割機、電焊機、手工氬弧焊機、其他輔助工具。
特氣管道工程安裝需要注意以下幾點，首先一定要找專業的安裝公司，公司必須是擁有建筑安全施工資質和氣體管道施工資質的，比如沃飛科技，這就是一家資質非常齊全的公司，另外要找一個能提供系統幫助的公司，包括一定要有良好的售后服務，保證后期出現任何問題都有責任方。為了在電子工廠特種氣體系統工程設計和施工中正確貫徹國家法律、法規，確保安全可靠，保護環境，滿足電子產品生產要求，保護人身和財產安全，做到安全適用、技術先進，經濟合理。為了在電子工業工廠特種氣體系統及配套裝置的工程設計、施工及驗收中貫徹國家現行法律、法規，滿足產品生產要求，確保人身和財產安全、做到安全適用、技術先進、保護環境、節約能源、經濟合理，制定本標準。特氣管道安裝時，在管子對口前應檢查平直度，在距離接口中心200mm處測量。
尾氣處理裝置進場驗收應符合下列規定：1 尾氣處理裝置進場應對外觀、外形尺寸、構成、接口、銘牌、氣密試驗、閥門動作、信號傳輸等性能進行檢查和核對；2 尾氣處理裝置的主要組成件、附件應符合設計與合同的要求，隨機資料和專門使用工具應齊全；3 酸堿中和裝置的洗滌塔、風機、泵、控制盤、酸(堿)儲罐以及連接管路等應進行外觀檢查，隨機資料應齊全；4 尾氣處理裝置、風機、泵的出廠合格證、性能測試報告，銘牌、標識應齊全；5 系統流程圖、控制原理圖、設備使用說明書應齊全。在雙層管道彎管時，于內外管間套不銹鋼彈簧圈，作為內外管傳力物，確保彎管過程中內外管的真圓度。常州工業特氣管道安裝精選廠家
在施工過程中，采取必要的安全措施，如佩戴防護用品、設置警示標志等，確保施工人員的安全和健康。泰州大口徑特氣管道安裝連接圖
管道系統的設計：材料的選擇，特氣管路系統普遍采用316L不銹鋼電解拋光（EP）管道，閥門一般采用高純調壓閥、隔膜閥、高精密過濾器、（＜0.003微米）、VCR接頭等。接觸氣體的管路部件表面粗糙度可控制在5uin。對于某些高腐蝕性的氣體如CL2等，采用經過特殊處理的耐腐蝕強的EP管 。2.主管路系統的設計，在確定好氣體房和用氣點以后,主管路系統一般遵循管道線路較短,拐彎較少,布置緊湊合理,給人簡單美觀的感覺。輸送系統的數量和管徑的大小一般根據機臺用氣點的多少和流量大小確定，基本都采用小管徑輸送（1/4-3/4）而且多設計了備用系統。由于氣體本身的危險性，許多地方采用把管道鋪設在電纜橋架里，對于穿墻或穿過夾道的地方，周圍有危險源和經常有危險作業的地方，露天的地方管道一般布置在全封閉的橋架里。泰州大口徑特氣管道安裝連接圖