常規供氣系統，常規供氣系統主要應用于4-6英寸 大規模集成電路廠，50MW以下的太陽能電池生產線，發光二極管的芯片工序線以及其它用氣量中等規模的電子行業。對氣體純度控制的要求不苛刻，系統配備在滿足安全的前提下盡量簡單，節省投資。特種氣體采用普通鋼瓶（<50L）供氣。特氣輸送系統采用氣瓶柜。配置全自動PLC控制器，彩色觸摸屏；氣體面板采用氣動閥門和壓力傳感器，可實現自動切換，自動氮氣吹掃，自動真空輔助放空；多重安全防護措施，泄漏偵測，遠程緊急切斷；專門使用氮氣吹掃起源等等。VMB采用支路氣動閥，氮氣吹掃，真空輔助排空。惰性氣體多采用半自動氣瓶架，繼電器控制，自動切換，手動吹掃，手動放空；VMB主管氣動閥，氮氣吹掃；支路氣動閥，氮氣吹掃，真空輔助排空。氣體房和抽風系統根據氣體性質進行分類?，F在市面上的特氣管道供應商非常的多，但是大多數的氣體管道廠商只是提供產品，并不包括安裝這一方面。上海專業特氣管道安裝規范
對于低蒸汽壓氣體（WF6，DCS，BCl3，C5F8，ClF3等），需要考慮鋼瓶加熱，氣體面板加熱，管道伴熱等。為了精確控制流量，在氣源端一般會考慮配置高精度的壓力變送器、電子秤、溫控器等。在機臺用氣點也都配置了質量流量計，壓力調節閥。對于劇毒、高反應性和自燃氣體，應使用雙套管輸送。同時管道的設計要采用零死區設計，即整個管道系統從氣柜到VMB、從VMB到用氣點，要點對點，中間不允許有在氣體置換時有殘留空氣的死角。因此，整個管路系統中由VMB完成氣體的分配，中間沒有三通。然后管道還要有良好的接地。江蘇大口徑特氣管道安裝注意事項選擇特氣管道工程安裝公司的標準：十幾年行業經驗，技術的積累。
尾氣處理裝置及純化器的安裝10.5.1尾氣處理裝置安裝應符合現行國家標準《機械設備安裝工程施工及驗收通用規范》GB50231的有關規定。10.5.2尾氣處理裝置的基礎應堅固平整，水平度不得大于3‰。10.5.3每個系統的管線及閥門都應貼上明顯的正確標識，閥門應開關靈活，鎖定裝置應可靠。干式尾氣處理裝置及純化器安裝時，應防止吸附劑長期接觸空氣。低蒸汽壓特種氣體管道施工除應符合本標準第10.6.1條～第10.6.3條的規定外，還應符合下列規定：1 管路應安裝伴熱帶并用保溫棉包覆管路；2 當管道穿越溫差較大區域時應分段加熱。
大宗特氣供氣系統，大規模供氣系統主要針對大規模量產的8-12英寸（1英寸=25.4毫米）超大規模集成電路廠（氣體種類包括SiH 4 、N 2 O、 2 、 C 2 F 6 、 NH 3 等），100MW以上的太陽能電池生產線（氣體種類包括NH3），發光二極管的磊晶工序線（氣體種類包括NH3）、5代以上液晶顯示器工廠（氣體種類包括SIH4、CL2、NH3、NF 3 ）等、光纖（氣體種類包括SiCl 4 ）、硅材料外延生產線（氣體種類包括HCL）等行業。它們的投資規模巨大，采用先進的工藝制程設備，用氣需求量大，對穩定和不間斷供應、純度控制和安全生產提出較嚴格的要求。特種氣體管道的施工采用全自動軌道焊接，同時制定和實施嚴格的超高純施工和QA/QC保證程序。
特氣管道工程安裝需要注意以下幾點，首先一定要找專業的安裝公司，公司必須是擁有建筑安全施工資質和氣體管道施工資質的，比如沃飛科技，這就是一家資質非常齊全的公司，另外要找一個能提供系統幫助的公司，包括一定要有良好的售后服務，保證后期出現任何問題都有責任方。為了在電子工廠特種氣體系統工程設計和施工中正確貫徹國家法律、法規，確保安全可靠，保護環境，滿足電子產品生產要求，保護人身和財產安全，做到安全適用、技術先進，經濟合理。為了在電子工業工廠特種氣體系統及配套裝置的工程設計、施工及驗收中貫徹國家現行法律、法規，滿足產品生產要求，確保人身和財產安全、做到安全適用、技術先進、保護環境、節約能源、經濟合理，制定本標準。了解特種氣體的基本知識,從而加深對特種管道施工質量重要性的認識。浙江特氣管道安裝供應商
施工中，可通過設計使用彎管裝置，現場制作彎頭，解決此加工問題。上海專業特氣管道安裝規范
預制間的選擇，特種氣體管道的施工對環境的要求比較高，管道施工采用大批量預制然后現場 安裝的方法。按照標準，預制作業需要在潔凈度達到百級的凈化間進行，作業人員也按照百級凈化間的管理著裝。因此對于大宗特氣項目，一般都建有一個標準的預制間。但我們在實際的施工中,大宗特氣項目很少,一般都是簡單系統和常規系統,為了節約成本和資金,在要求不是很高的情況下、一般采用在施工現場找一塊相對潔凈的房間采取一定的防塵措施就地施工,除作業人員和檢察人員外,應禁止無關人員出入。如果業主要求比較嚴格，也采用彩鋼板搭設一個簡單的預制件，房間內鋪上地板革，在屋中用潔凈塑料布封出一塊裝上兩臺層流罩，做一個簡單的凈化空間，進行管道的預制工作。上海專業特氣管道安裝規范