高純/特種氣體的概念,半導體集成電路制造所需要的高純氣體主要分為兩大類:1.普通氣體:也叫大宗氣體,主要有:H2 、N2 、O2 、Ar 、He等。2.特種氣體:主要指各種摻雜用氣體、外延用氣體、離子注入用氣體、刻蝕用氣體等。氣力輸送設計的計算方法:1、確定各工作參數。氣力輸送的主要工作參數包括輸送量、混合比(輸送濃度)和氣流速度等,這些參數的正確確定,對氣力輸送系統的選擇和運行的經濟性有很大的影響。2、確定各主要部件的型式和結構尺寸,如選用吸送式氣力輸送型式,則要注意吸嘴的選型,繪制出系統示意圖。3、計算出系統各部分的壓力損失及管道總壓力損失。4、根據風網總風量和總壓力損失選擇合適的風機,并計算風機所需功率配用電機。使用氫氣及可燃氣體的實驗室應設置報警裝置。江蘇大樓氣體管道設計服務商
負壓吸引系統:系統需設水分離器,地面必須有排水槽。油潤滑滑片式真空泵:具有空氣冷卻、低噪音、震動少的優點。內部單向閥保護吸引系統不被污染,油霧分離器保護環境和減少油的損失。由于該設備是空氣冷卻,設備機房必須要有良好的透風。負壓吸引系統附屬設備:雙重細菌過濾器:防止真空泵及真空罐被污染。不中斷氣流可替換過濾器:2個可交替使用的微粒過濾器。污物接收器:收集污染的及液體,保護真空系統正常運轉,不中斷氣流可清理污染物。真空緩沖罐:防止真空泵頻繁起動。江蘇大樓氣體管道設計服務商放空管應高出層頂2m以上,并應設在防雷保護區內。
醫用氣體常用參數:常用氣體管徑的選用,氧氣管徑的計算式:式中:d=0.0188d—— 管道內徑(m),v—— 氣體流速(m/s),Q—— 氣體在工作狀態下的實際體積流量(m3/h ),Q=Q2—— 自由狀態下的體積流量(m3/h ),t —— 氣體工作狀態時溫度,p —— 氣體工作狀態時的盡對壓力(MPa),氧氣管道中流速較大不應超過下表中數值:氧氣工作壓力 (MPa) 0~0.1 0.1~0.3 0.3~0.6 0.6~1.6 1.6~3.5 >10,氧氣較大流速 (m/s) 20以下 15 12 10 8 4,真空管道管徑:,由于負壓管道不易方便精確計算,可參考下表經驗數據選取:,吸引管道管徑估算表,管徑 (mm) 15 20 25 32 40 50,吸引嘴數 (個) 12 21 24 62 84 140。
氣體管道設計規范:1.閥門與氧氣接觸部分應采用非燃燒材料。其密封圈應采用有色金屬、不銹鋼及聚四氟乙烯等材料。填料應采用經除油處理的石墨石棉或聚四氟乙烯。2.氣體管道的連接應采用焊接或法蘭連接等形式,氫氣管道不得用螺紋連接,高純氣體管道應采用承插焊接。3.氣體管道與設備、閥門及其他附件的連接應采用法蘭或螺紋連接,螺紋接頭的絲扣填料應采用聚四氟乙烯薄膜或一氧化鉛、甘油調和填料。4.氣體管道設計的安全技術應符合每臺(組)用氫設備的支管和氫氣放空管上應設置阻火器的規定。系統布線應盡量減少接縫以降低泄漏的可能性。
實驗室氣體管道設計的流程是一個需要經歷多個步驟的過程。對于實驗室來說,氣體管道是非常重要的設施之一,通過管道可以將氣體輸送到不同的實驗設備中,保證實驗室正常運行。下面將以實驗室建設者的角度,來描述實驗室氣體管道設計的流程。首先,進行需求分析。在實驗室氣體管道設計之前,首先需要了解實驗室的具體需求。設計師需要與實驗室使用者進行溝通,了解他們的實驗項目以及所需的氣體類型和使用量。根據實驗室中不同的需求,可能需要設計不同類型的管道,如高壓氣體管道、低壓氣體管道等。每臺(組)用氫設備的支管和氫氣放空管上應設置阻火器。工業氣體管道設計廠商
實驗室氣體管道功能性要求,管道設計應滿足氣體使用的流量和壓力要求,保證實驗過程中供氣的穩定性。江蘇大樓氣體管道設計服務商
氣力輸送設計的計算方法,一般設計程序,輸送系統的布置。在合理選定氣力輸送系統型式后,便可進行系統布置。布置時可根據廠房的設備布置圖,首先確定始點的供料器或吸嘴的位置和終點分離器的位置;其次確定空壓機和附屬設備的位置,再確定空氣管和輸送管道的配管、管件和彎管的數目等。完成布置后,就可以開始進行詳細工程設計。在管道布置時,注意減少彎管的數目,在長距離輸送時要注意使每段水平管不宜過長。通過室外的管段,必要時需進行保溫,以防因溫差懸殊而造成管內壁結露使物料粘壁。在物料輸送管上,不應安裝有礙輸送的管件等。江蘇大樓氣體管道設計服務商