對于低蒸汽壓氣體(WF6，DCS，BCl3，C5F8，ClF3等)，需要考慮鋼瓶加熱，氣體面板加熱，管道伴熱等。為了精確控制流量，在氣源端一般會考慮配置高精度的壓力變送器、電子秤、溫控器等。在機臺用氣點也都配置了質量流量計，壓力調節閥。對于劇毒、高反應性和自燃氣體，應使用雙套管輸送。同時管道的設計要采用零死區設計，即整個管道系統從氣柜到VMB、從VMB到用氣點，要點對點，中間不允許有在氣體置換時有殘留空氣的死角。因此，整個管路系統中由VMB完成氣體的分配，中間沒有三通。然后管道還要有良好的接地。當管道井、管道技術層內敷設有氫氣、氧氣和煤氣管道時，應有換氣次數為每小時1～3次的通風措施。杭州定制氣體管道設計公司
儲氣罐選型通常一個供氣系統都有一個或多個儲氣罐。儲氣罐的大小是要匹配空壓機的氣量大小、控制方式和終端用氣需求的。儲氣罐具有多重功能：如緩沖罐（平衡來自壓縮機的脈動）、冷卻壓縮空氣和除去壓縮空氣中的冷凝水等。所以儲氣罐必須配置冷凝水排放裝置。下面這個公式可以用于儲氣罐大小的計算和選型，但該公式只適用于帶有加卸載控制功能的空壓機系統：儲氣罐容積 (l); qC = 壓縮機 FAD (l/s); p1 = 壓縮機進氣壓力 (bar(a)); T1 = 壓縮機較大進氣溫度 (K); T0 = 儲氣罐中壓縮空氣溫度 (K); (pU -pL) = 加載與卸載之間的設定壓力差; fmax = 較大負載頻率 （1循環/30秒應用于阿特拉斯·科普柯壓縮機）對于帶有可變速度控制（VSD）的壓縮機而言，所需的儲氣罐容積會較大程度上減少。當使用上述公式時，qc應視較低速度時的FAD。杭州定制氣體管道設計公司在亞微米級的集成電路生產中，要求供應10－9級的高純氣體。
氣體管道設計規范?：1、本章規定適用于壓力不大于0.8MPa的氫氣、氧氣、氮氣、煤氣、壓縮空氣和真空等實驗室內氣體管道設計。2、氣體管道設計除應按現行的《城鎮燃氣設計規范》、《工業企業煤氣安全規程》、《氧氣站設計規范》、《氫氣使用安全技術規程》等的規定執行外，尚應符合本規范的規定。3、氫氣、氧氣和煤氣管道以及引入實驗室的各種氣體管道支管宜明敷。當管道井、管道技術層內敷設有氫氣、氧氣和煤氣管道時，應有換氣次數為每小時1～3次的通風措施。4、按標準單元組合設計的通用實驗室，各種氣體管道也應按標準單元組合設計。
管道吹掃,應采用高純氮氣（99.999%），從氣體入口端向末端進行吹掃，現場有時為了方便和節約成本，也可采用高純凈的干燥壓縮空氣（lu點為－70℃，無油，經過0.01μΜ的高精度氣體過濾器過濾）。沿著氣流的方向用木棒輕輕敲打外壁，每個閥門應反復開關幾次后再常開，連續吹掃至少24h以上。檢查后再進行各種純度試驗，吹掃完畢應及時貼好標簽，標簽應包括介質、流向、顏色等內容。醫療氣體管線供給系統是一個現代化醫院重要的且必不可少的組成部分，它包括醫用氧氣系統、負壓吸引系統、壓縮空氣系統、笑氣（N2O）、氮氣系統及二氧化碳系統和中心工作站等。應有適當的過濾和凈化系統，以除去氣體中的雜質和水分。
高純氣體的供氣安全，各種特性氣體的使用安全，易燃易爆氣體：此類氣體只要形成了可燃氣體爆裂混合氣和達到著火溫度。便會發生燃燒爆裂事故因此在可燃氣體入口處、氣體鋼瓶存放間、潔凈室內使用可燃氣體處、敷設可燃氣體的管廊或技術夾層以及可能聚集可燃氣體的場所均應設置可燃氣體報警裝置。具體要求如下：①可燃氣體比空氣輕者，報警裝置設置在所處場所的頂部。②可燃氣體比空氣重者，報警裝置設置在所處場所的較低處。③可燃氣體在適當的管道處應做接地，但接地電阻應符合相關規定。氫氣、氧氣管道應有導除靜電的接地裝置。浙江實驗室氣體管道設計
可采用同等級輸送系統，但是在純度要求高的用氣設備臨近處設末端氣體提純裝置。杭州定制氣體管道設計公司
高純/特種氣體的概念，半導體集成電路制造所需要的高純氣體主要分為兩大類：1.普通氣體：也叫大宗氣體，主要有：H2 、N2 、O2 、Ar 、He等。2.特種氣體：主要指各種摻雜用氣體、外延用氣體、離子注入用氣體、刻蝕用氣體等。氣力輸送設計的計算方法：1、確定各工作參數。氣力輸送的主要工作參數包括輸送量、混合比(輸送濃度)和氣流速度等，這些參數的正確確定，對氣力輸送系統的選擇和運行的經濟性有很大的影響。2、確定各主要部件的型式和結構尺寸，如選用吸送式氣力輸送型式，則要注意吸嘴的選型，繪制出系統示意圖。3、計算出系統各部分的壓力損失及管道總壓力損失。4、根據風網總風量和總壓力損失選擇合適的風機，并計算風機所需功率配用電機。杭州定制氣體管道設計公司