主要的施工機具，特種氣體管道的主要施工機具有:全自動軌道焊機(D100、MIOO等)管道切割機（GF鋸）、管子割刀、平口機、彎管器、倒角器、管口毛刺修理刮刀、有的需要配置電源穩壓器、防止施工現場電流波動對焊接質量造成影響、臺虎鉗、配電箱、拖線盤、臺鉆、電鉆、沖擊鉆、切割機、電焊機、手工氬弧焊機、其他輔助工具。施工管理和現場施工的幾個注意點，項目管理人員和施工人員都要進行施工安全和施工質量的培訓,了解特種管道的施工作業要求和規范,了解特種氣體的基本知識,從而加深對特種管道施工質量重要性的認識。項目管理人員和施工人員都要進行施工安全和施工質量的培訓。上海大口徑特氣管道安裝設計
特種氣體管道安裝：特種氣體管道下料、預制應符合下列規定：1 工作人員應穿戴潔凈服、潔凈口罩、潔凈無塵手套在潔凈室內進行下料、預制等各項操作，不得用裸手接觸管口及管道內壁；2 管外徑小于或等于1/2”的管道切割應使用不銹鋼管切管器，切割后應以平口機處理管口，并應用專門使用倒角器去除管口內外毛刺，管口端面應垂直、不變形，滿足不加絲自動軌道氬弧焊要求；不得使用塑料管割刀替代；3 平口機處理管口時應將管口向下，并應在另一端管口用高純氮氣快速吹掃，不得將剛平口處理的管口向上。實驗室特氣管道安裝服務壓力檢測一般采用比較精密的圓盤式壓力檢測儀或電子檢測儀，不用壓力表。
硅烷（SiH4）是一種在常溫常壓下為具有惡臭的無色氣體。它還是一種在室溫下能著火、在空氣或鹵素氣體中能爆裂性燃燒和劇毒性的特種氣體。硅烷在高科技行業中應用越來越普遍，這與它的特性有關，同時也與行業的特殊需求有關。硅烷（SiH4）可以通過熱分解或與其它氣體的化學反應制得單晶硅、氮化硅和氧化硅等一系列含硅物質。舉例：半導體行業中，硅烷SiH4是顯示屏制造中較關鍵的氣體之一，與氨氣（NH3）結合使用，形成用于a-Si晶體管的氮化硅層；與氧化亞氮（N2O）結合使用形成MO晶體管的氧化硅層。
特氣管道工程是一項危險系數比較高的工程，在選擇施工公司和施工的過程中一定要注意安裝標準規范操作。現在市面上的特氣管道供應商非常的多，但是大多數的氣體管道廠商只是提供產品，并不包括安裝這一方面。大多數人是不知道正確安裝的，下面就為大家具體的來介紹注意事項有哪些。1、 特氣管道安裝的時候，管子對口時應檢查平直度，距離接口中心200mm處測量，當管子公稱直徑小于100mm時，允許偏差為1mm，當管子公稱直徑大于或等于100mm時，允許偏差為2mm，但全長允許偏差均為100mm。2、管道安裝時按不同的管徑和要求設置管卡或吊架,要求位置準確，埋設平整,管卡與管道接觸應緊密，但不得損傷管道表面涂層。管道連接過程中按圖紙要求設伸縮節，設計無要求時，按照規范要求設置，管端伸入伸縮節應預留伸縮間隙。
供氣系統的選擇：簡單供氣系統，簡單供氣系統主要針對4英寸及以下半導體芯片廠、半導體材料的科研機構以及一些單臺的工藝設備等。它們的制程簡單，通常不需要連續性供氣，對氣體供應系統的投資預算低。由于氣體流量小，不經常使用，特種氣體氣源多采用普通鋼瓶（<50L）。輸送系統多采用半自動氣瓶柜或氣瓶架加簡單的控制面板；配置繼電器控制，自動切換，手動吹掃，手動放空，有害性氣體配備緊急切斷閥。惰性氣體瓶架則采用全手動系統，有些甚至用單瓶系統。所有氣體共用一個氣體房，甚至沒有氣體房，特氣鋼瓶和輸送系統有時放在回風夾道，或直接放在工藝制造設備旁邊或隔壁。如果沒有特別危險氣體一般共用一個抽風系統。簡單供氣系統通常存在安全隱患。特氣管道安裝時，在管子對口前應檢查平直度，在距離接口中心200mm處測量。南通化驗室特氣管道安裝
自動焊接施工 半成品和成品的保護措施應及時有效，加工完成或焊接完成后及時將管子兩端密封。上海大口徑特氣管道安裝設計
特種氣體管道配管應符合下列規定：1 管外徑大于1/2”的管道彎頭應采用成品彎頭；管外徑小于或等于1/2”的彎頭可在現場使用專門使用彎管器揻制，BA級管道彎頭彎曲半徑不應小于管外徑的3倍，EP級管道彎頭彎曲半徑不應小于管外徑的5倍，公、英制彎管器不應混用；2不銹鋼管道密封接頭的密封墊片應根據氣體的性質采用不銹鋼墊片或鎳墊片，嚴禁采用非金屬墊片、有劃傷的墊片以及將使用過的墊片，在同一密封面應采用一個墊片；3特種氣體管道與用氣生產工藝設備之間的連接應采用不銹鋼管道面密封接頭或自動軌道氬弧焊機焊接，不得采用非金屬軟管；管道穿墻部位應設套管，并應以難燃材料填充套管與管道之間的間隙：同時應對穿墻部位加以密封。上海大口徑特氣管道安裝設計