硅烷管道要求：1.硅烷特氣管道安裝一般好選擇管道系統是316或316L無縫EP級不銹鋼，其內、外表面極其光亮，且具有焊接結構，額定壓力為較大運轉壓力的1.5倍，在三倍的正常傳輸壓力到較大額定壓力之間用氦檢漏，理想的系統應該全部是焊接的。2.潔凈管道的焊接除了要達到常規工業管道對焊縫的要求外，還要求焊接時管內、外表面不受污染，焊縫內、外表面必須與母材光亮度基本一致。3.硅烷特氣管道系統上不允許使用襯墊閥。只能使用無襯墊膈膜閥或波紋管閥。在所有的配送系統上都應安裝流量控制閥或流量開關，以便在流線型破裂的情況下切斷氣流。這個切斷閥應該盡可能接近氣源。4.在硅烷設施中，所有的氣體管道、閥門和功能性組件都要貼上標簽，說明它們的用途。管道上的標簽應當說明氣流方向和氣體類型。特氣管道工程施工注意事項：避免出現管道經常出現問題，影響研究和工作進度。鎮江醫院特氣管道安裝
施工管理和現場施工的注意點：（1）項目管理人員和施工人員都要進行施工安全和施工質量的培訓,了解特種管道的施工作業要求和規范,了解特種氣體的基本知識,從而加深對特種管道施工質量重要性的認識。（2）特氣管道一般采用小管道輸送，為了降低成本，管道采用直接用彎管器煨彎的方式，彎管器一般采用5-10倍的，但不小于5倍。因此對管道施工人員要進行各種角度下的彎管培訓，對焊工也必須進行焊接程序的培訓，熟悉各種焊接參數的調整，然后管工和焊工都必須經過考試，由專門的質量管理人員確認合格后，發給作業許可證后方可施工，這也是QA/QC保證程序的組成部分。也是施工程序中人員培訓的重點。舟山特氣管道安裝服務特氣管道安裝時，在管子對口前應檢查平直度，在距離接口中心200mm處測量。
特氣輸送系統是指：將特種氣體從氣源端、根據工藝設備的工藝需求、通過對流量和壓力等參數的控制，通過管道、無二次污染、穩定的輸送到工藝設備的用氣點。其基本流程是：氣源→控制柜→管道傳輸→VMB→用氣點。分類，特種氣體根據氣體性質不同一般分為：惰性氣體、易燃易爆氣體、有毒氣體和腐蝕性氣體；根據供應包裝的不同分為：特種氣體和大宗特種氣體。常規供氣系統，常規供氣系統主要應用于4-6英寸 大規模集成電路廠，50MW以下的太陽能電池生產線，發光二極管的芯片工序線以及其它用氣量中等規模的電子行業。對氣體純度控制的要求不苛刻，系統配備在滿足安全的前提下盡量簡單，節省投資。
特氣管道安裝流程:1、管道連接時，不得強力對口。2、管口對接應檢查平直度，距接口200mm處測量，允許偏差1mm/m，全長偏差小于10mm，法蘭間連接要平行。3、采用螺紋接頭應用四氟乙烯帶填料，禁止用麻油。4、管道與支架中間應采用無氯離子塑片相隔離;穿墻管道應加套管，套管長度不應小于墻厚，中間空隙應用不燃材料填塞。5、氮氣管道應有防雷及導除靜電的接地裝置。6、埋地管道深度不小于0.7m(管頂距地面)，直接埋地應作防腐處理。人體工程學:集中管道供應系統可以將氣體出口放置在使用點處，這樣的話可以更合理的設計工作場所。焊工施焊時，要求氬弧焊機焊接時電流穩定，焊接速度應保持均勻一致。
特氣管道一般采用小管道輸送，為了降低成本，管道采用直接用彎管器煨彎的方式，彎管器一般采用5-10倍的，但不小于5倍。因此對管道施工人員要進行各種角度下的彎管培訓，對焊工也必須進行焊接程序的培訓，熟悉各種焊接參數的調整，*后管工和焊工都必須經過考試，由專門的質量管理人員確認合格后，發給作業許可證后方可施工，這也是QA/QC保證程序的組成部分。也是施工程序中人員培訓的重點。特氣管道的安裝需要特別小心，以確保安全和可靠的氣體供應。夏季施工預留：5-10mm;冬季施工預留：15-20mm 。蘇州多組分特氣管道安裝施工規范
管道安裝時按不同的管徑和要求設置管卡或吊架,要求位置準確，埋設平整。鎮江醫院特氣管道安裝
按照標準，預制作業需要在潔凈度達到百級的凈化間進行，作業人員也按照百級凈化間的管理著裝。因此對于大宗特氣項目，一般都建有一個標準的預制間。但我們在實際的施工中,大宗特氣項目很少,一般都是簡單系統和常規系統,為了節約成本和資金,在要求不是很高的情況下、一般采用在施工現場找一塊相對潔凈的房間采取一定的防塵措施就地施工,除作業人員和檢察人員外,應禁止無關人員出入。如果業主要求比較嚴格，也采用彩鋼板搭設一個簡單的預制件，房間內鋪上地板革，在屋中用潔凈塑料布封出一塊裝上兩臺層流罩，做一個簡單的凈化空間，進行管道的預制工作。鎮江醫院特氣管道安裝