施工前應將管道內的特種氣體用高純氮氣完全置換，被置換出的氣體應經過尾氣處理裝置處理，達標后排放。施工完畢、測試合格后，應將管道系統內充入0.1MPa(表壓)的高純氮氣。說明：本標準用詞說明1 為便于在執行本標準條文時區別對待，對要求嚴格程度不同的用詞說明如下：1) 表示很嚴格，非這樣做不可的：正面詞采用“必須”，反面詞采用“嚴禁”；2) 表示嚴格，在正常情況下均應這樣做的：正面詞采用“應”，反面詞采用“不應”或“不得”；3) 表示允許稍有選擇，在條件許可時首先應這樣做的：正面詞采用“宜”，反面詞采用“不宜”；4) 表示有選擇，在一定條件下可以這樣做的，采用“可”。2 條文中指明應按其他有關標準執行的寫法為：“應符合….的規定”或“應按……執行”。管道安裝時按不同的管徑和要求設置管卡或吊架,要求位置準確，埋設平整。浙江大口徑特氣管道安裝工程
GMS和GDS系統，氣體監控系統（GMS)通過計算機網絡，實現對氣體輸送系統的實時監控，以確保系統的穩定性。氣體偵測系統（GDS）是全廠生命安全系統（LSS）的重要組成部分。對于偵測器的要求，除了精度高，反應迅速外，還應具備自檢功能。對于這兩個系統在這里只能做一個概念性的介紹。然后、充分了解氣體特性、從而合理配置系統，合理選擇管徑和材料，是我們設計的重點，這樣可明顯降低整個系統的成本。特種氣體管道的施工，特種氣體管道的施工采用全自動軌道焊接，同時制定和實施嚴格的超高純施工和QA/QC保證程序，對施工的質量和程序進行嚴格的監控和管理。然后整個系統還要進行氦檢漏、水分、氧分和顆粒度檢測、以及其他要求做的氣相雜質的測試。其現場基本的施工程序為：施工圖紙會審﹣→施工組織編寫﹣→預制間的搭設﹣→施工機具的準備﹣→施工人員的培訓﹣→預制圖紙的編寫﹣→管道的預制﹣→管道的現場安裝﹣→系統檢測﹣→系統驗收。浙江大口徑特氣管道安裝工程整個系統還要進行氦檢漏、水分、氧分和顆粒度檢測、以及其他要求做的氣相雜質的測試。
特氣管道工程安裝注意事項有哪些？現在市面上的特氣管道供應商非常的多，但是大多數的氣體管道廠商只是提供產品，并不包括安裝這一方面。大多數人是不知道正確安裝的，下面就會為大家具體的來介紹注意事項有哪些。1、 特氣管道安裝的時候，管子對口時應檢查平直度，距離接口中心200mm處測量，當管子公稱直徑小于100mm時，允許偏差為1mm，當管子公稱直徑大于或等于100mm時，允許偏差為2mm，但全長允許偏差均為100mm。2、管道安裝時按不同的管徑和要求設置管卡或吊架,要求位置準確，埋設平整,管卡與管道接觸應緊密，但不得損傷管道表面涂層。
供氣系統的選擇：簡單供氣系統，簡單供氣系統主要針對4英寸及以下半導體芯片廠、半導體材料的科研機構以及一些單臺的工藝設備等。它們的制程簡單，通常不需要連續性供氣，對氣體供應系統的投資預算低。由于氣體流量小，不經常使用，特種氣體氣源多采用普通鋼瓶（<50L）。輸送系統多采用半自動氣瓶柜或氣瓶架加簡單的控制面板；配置繼電器控制，自動切換，手動吹掃，手動放空，有害性氣體配備緊急切斷閥。惰性氣體瓶架則采用全手動系統，有些甚至用單瓶系統。所有氣體共用一個氣體房，甚至沒有氣體房，特氣鋼瓶和輸送系統有時放在回風夾道，或直接放在工藝制造設備旁邊或隔壁。如果沒有特別危險氣體一般共用一個抽風系統。簡單供氣系統通常存在安全隱患。直管段外層管亦采用彈簧圈支墊，確保雙層管夾層空間距離，起到雙層管保護作用。
施工管理和現場施工的注意點：現場的質量管理人員要做好材料的質量檢查記錄和每天的施工質量檢查記錄，包括管工彎管的質量，尺寸是否準確，管道是否有劃傷，彎頭是不是壓得太扁;拆除包裝的管道，預制好的管道，管口是不是封好;(管道封口應套上管帽，再采用EP管完好的內包裝袋割下15-20公分長套在管口折回后用潔凈膠帶纏好;如果沒有管帽，則采用套一層內包裝袋用膠帶封好，然后外面再套一層，也用膠帶封好。)焊工的焊縫是否符合質量要求，每個焊縫都必須仔細檢查，并作好焊接作業者和焊接數量記錄。管道支架制作安裝采用機械切割，臺鉆鉆孔，嚴禁氣割。寧波檢驗科特氣管道安裝
當管子公稱直徑小于100mm時，允許偏差為1mm。浙江大口徑特氣管道安裝工程
硅烷（SiH4）是一種在常溫常壓下為具有惡臭的無色氣體。它還是一種在室溫下能著火、在空氣或鹵素氣體中能爆裂性燃燒和劇毒性的特種氣體。硅烷在高科技行業中應用越來越普遍，這與它的特性有關，同時也與行業的特殊需求有關。硅烷（SiH4）可以通過熱分解或與其它氣體的化學反應制得單晶硅、氮化硅和氧化硅等一系列含硅物質。舉例：半導體行業中，硅烷SiH4是顯示屏制造中較關鍵的氣體之一，與氨氣（NH3）結合使用，形成用于a-Si晶體管的氮化硅層；與氧化亞氮（N2O）結合使用形成MO晶體管的氧化硅層。浙江大口徑特氣管道安裝工程