不同管件產(chǎn)生的壓力損失可以通過折算成等效直管長(zhǎng)度(米)進(jìn)行計(jì)算。除了上述公式外,也可以使用列線圖(見下圖)來匹配較合適的管徑進(jìn)行管網(wǎng)管路總長(zhǎng)的計(jì)算。其中流量、壓力、允許壓降和管道長(zhǎng)度是使用列線圖的必要數(shù)據(jù)。然后為安裝要選擇較接近、較大直徑的標(biāo)準(zhǔn)管道。對(duì)管網(wǎng)中各個(gè)配件和管道組件折算為等效直管長(zhǎng)度,然后將對(duì)應(yīng)的管路損失折算為直管中的壓力損失。將這些“額外”的管道長(zhǎng)度增加到初始直管的長(zhǎng)度中,然后通過管網(wǎng)允許壓損再反算管網(wǎng)所需的管道尺寸。在大型的管網(wǎng)中,管網(wǎng)中各個(gè)區(qū)塊的管道(供氣主管、支管、連接管)應(yīng)該單獨(dú)計(jì)算。氫氣、氧氣管道應(yīng)有導(dǎo)除靜電的接地裝置。浙江氣體管道設(shè)計(jì)服務(wù)商
高純氣體管路設(shè)計(jì)要點(diǎn):01輸送系統(tǒng)“分等級(jí)”,對(duì)高純氣體純度要求不同的用氣設(shè)備,宜采用分等級(jí)高純氣體輸送系統(tǒng);也可采用同等級(jí)輸送系統(tǒng),但是在純度要求高的用氣設(shè)備臨近處設(shè)末端氣體提純裝置。02采樣儀器及“采樣口”,為了檢測(cè)高純氣體的純度和雜質(zhì)含量,輸送系統(tǒng)除了設(shè)置必要的連續(xù)檢測(cè)儀器,如衡量水含量或者氧雜質(zhì)等分析儀外,還應(yīng)設(shè)置定期取樣用的檢測(cè)采樣口,以便按規(guī)定時(shí)間進(jìn)行采樣,分析高純氣體中各種雜質(zhì)的含量。03確保氣體純度,在亞微米級(jí)的集成電路生產(chǎn)中,要求供應(yīng)10-9級(jí)的高純氣體,為了確保末端用氣工藝設(shè)備處的氣體純度,使氣體中的雜質(zhì)含量(包括塵粒)控制在規(guī)定的數(shù)值內(nèi),一般在設(shè)備前設(shè)置末端純化裝置,或末端高精度氣體過濾器。鎮(zhèn)江特種氣體管道設(shè)計(jì)應(yīng)盡量減少?gòu)澢苑乐贡粋鬏數(shù)臍怏w壓力、流量損失過大。
對(duì)于低蒸汽壓氣體(WF6,DCS,BCl3,C5F8,ClF3等),需要考慮鋼瓶加熱,氣體面板加熱,管道伴熱等。為了精確控制流量,在氣源端一般會(huì)考慮配置高精度的壓力變送器、電子秤、溫控器等。在機(jī)臺(tái)用氣點(diǎn)也都配置了質(zhì)量流量計(jì),壓力調(diào)節(jié)閥。對(duì)于劇毒、高反應(yīng)性和自燃?xì)怏w,應(yīng)使用雙套管輸送。同時(shí)管道的設(shè)計(jì)要采用零死區(qū)設(shè)計(jì),即整個(gè)管道系統(tǒng)從氣柜到VMB、從VMB到用氣點(diǎn),要點(diǎn)對(duì)點(diǎn),中間不允許有在氣體置換時(shí)有殘留空氣的死角。因此,整個(gè)管路系統(tǒng)中由VMB完成氣體的分配,中間沒有三通。然后管道還要有良好的接地。
所有減壓器都需要連接一條通出氣體存西藏的排氣管路。易燃、氧化氣體排氣管路不能并在一起。所有設(shè)計(jì)和施工必須符合相關(guān)的規(guī)范和要求,如:《科學(xué)實(shí)驗(yàn)室建筑設(shè)計(jì)規(guī)范》–JGJ 91-93;《氫氣使用安全技術(shù)規(guī)程》-GB 4962-1985;《現(xiàn)場(chǎng)設(shè)備、工業(yè)管道焊接工程施工及驗(yàn)收規(guī)范》-GB50236-1998。(上海圖勃?dú)怏w工程有限公司)所有氣體管路都由高質(zhì)量的、完全退火型、無縫連接的不銹鋼管(BA級(jí))組成。銅管只使用在氣體管路的末端,對(duì)氣體純度要求不是太嚴(yán)格的地方。(比如通風(fēng)柜)。輸送系統(tǒng)“分等級(jí)”,對(duì)高純氣體純度要求不同的用氣設(shè)備,宜采用分等級(jí)高純氣體輸送系統(tǒng)。
氣體管道敷設(shè)要求:1、輸送干燥氣體的管道宜水平安裝,輸送潮濕氣體的管道應(yīng)有不小于0.3%的坡度,坡向冷凝液體收集器。2、氧氣管道與其它氣體管道可同架敷設(shè),其間距不得小于0.25m,氧氣管道應(yīng)處于除氫氣管道外的其它氣體管道之上。3、氫氣管道與其它可燃?xì)怏w管道平行敷設(shè)時(shí),其間距不應(yīng)小于0.50m;交叉敷設(shè)時(shí),其間距不應(yīng)小于0.25m。分層敷設(shè)時(shí),氫氣管道應(yīng)位于上方。4、室內(nèi)氫氣管道不應(yīng)敷設(shè)在地溝內(nèi)或直接埋地,不得穿過不使用氫氣的房間。5、氣體管道不得和電纜、導(dǎo)電線路同架敷設(shè)。?管道與套管之間應(yīng)采用非燃燒材料嚴(yán)密封堵。杭州藥廠氣體管道設(shè)計(jì)解決方案
根據(jù)用氣設(shè)備的分布情況嗎,高純氣體的管網(wǎng)大小長(zhǎng)短應(yīng)適宜,不宜過大或過長(zhǎng)。浙江氣體管道設(shè)計(jì)服務(wù)商
氣體管道設(shè)計(jì)有很多方面,都有不同的要求,氣體管道敷設(shè),氣體管道、閥門和附件,氣體管道連接及安全問題都有要求。氣體管道設(shè)計(jì)規(guī)范:1、穿過實(shí)驗(yàn)室墻體或樓板的氣體管道應(yīng)敷在預(yù)埋套管內(nèi),套管內(nèi)的管段不應(yīng)有焊縫。管道與套管之間應(yīng)采用非燃燒材料嚴(yán)密封堵。2、氫氣、氧氣管道的末端和較高點(diǎn)宜設(shè)放空管。放空管應(yīng)高出層頂2m以上,并應(yīng)設(shè)在防雷保護(hù)區(qū)內(nèi)。氫氣管道上還應(yīng)設(shè)取樣口和吹掃口。放空管、取樣口和吹掃口的位置應(yīng)能滿足管道內(nèi)氣體吹掃置換的要求。3、氫氣、氧氣管道應(yīng)有導(dǎo)除靜電的接地裝置。有接地要求的氣體管道其接地和跨接措施應(yīng)按國(guó)家現(xiàn)行有關(guān)規(guī)定執(zhí)行。浙江氣體管道設(shè)計(jì)服務(wù)商