無塵室是污染控制的基礎。沒有無塵室,污染敏感零件不可能批量生產。那么無塵室是由哪幾個部分組成的呢?無塵室的構成是由下列各項系統所組成(在所組成的系統分子中是缺一不可的),否則將無法構成一完整且品質良好的無塵室:⑴天花板系統包括吊桿、綱梁、天花板格子梁。⑵空調系統包括空氣艙、過濾器系統、風車等。⑶隔墻板包括窗戶、門。⑷地板包括高架地板或防靜電地板、以及環氧自流平及滾涂地面。⑸照明器具包括日光燈、黃色燈管等。⑹無塵室之建筑主體構造,這個一般是用鋼筋或骨水泥,但無論是何種構造,必須滿足如下之條件:A.不會因溫度變化與振動而發生裂痕;B.不易產生微塵粒子,且很難附著粒子;C.吸濕性小;D.為了維持室內之濕度條件,熱絕緣性要高。對無塵室 C/R 而言,較嚴格要求的部分為地板、天花板,以及墻壁的部分。吉安無塵室裝修
無塵室裝修的標準:1、無塵室內墻壁和頂棚的裝修應符合下列要求:(1)無塵室內墻壁和頂棚的表面應平整、光滑、不起塵、避免眩光、便于除塵,并應減少凹凸面。(2)踢腳不應突出墻面。(3)無塵室不宜采用砌筑墻抹灰墻面,當必須采用時宜干燥作業,抹灰應采用高級抹灰標準。墻面抹灰后應刷涂料面層,并應選用難燃、不開裂、耐清洗、表面光滑、不易吸水變質發霉的涂料。2、無塵室地面設計應符合下列要求:(1)無塵室地面應滿足生產工藝要求。(2)無塵室地面應平整,耐磨、易清洗,不易積聚靜電,避免眩光,不開裂等。(3)地面墊層宜配筋,潮濕地區墊層應做防潮構造。3、潔凈廠房技術夾層的墻壁和頂棚表面應平整、光滑,位于地下的技術夾層應采取防水或防潮、防霉措施。4、無塵室(區)外窗設計應符合下列要求:(1)當無塵室(區)和人員凈化用室設置外窗時,應采用雙層玻璃固定窗,并應有良好的氣密性。(2)靠無塵室室內一側窗不宜設窗臺。5、無塵室內的密閉門應朝空氣潔凈度較高的房間開啟,并加設閉門器,無窗無塵室的密閉門上宜設觀察窗。6、無塵室門窗、墻壁、頂棚等的設計應符合下列要求:(1)無塵室門窗、墻壁、頂棚、地(樓)面的構造和施工縫隙,均應采取可靠的密閉措施。。 深圳10000級無塵室安裝進入無塵室嚴禁吸煙,吃(飲)食,外來雜物(如報章,雜志,鉛筆...等)不可攜入,并嚴禁嘻鬧奔跑及團聚談天。
無塵室價格、無塵室工程、無塵室廠家、無塵室裝修無塵室中不論外在之空氣條件如何變化,其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。無塵室主要之作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造,此空間我們稱之為無塵室。按照國際慣例,無塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數量來規定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點灰塵,而是控制在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經是小的微乎其微,但是對于光學構造而言,哪怕是一點點的灰塵都會產生非常大的負面影響,所以在光學構造產品的生產上,無塵是必然的要求。如表所示。
萬級無塵室,亦稱為無塵室或清凈室。在FED-STD-2里面,無塵室被定義為具備空氣過濾、分配、優化、構造材料和裝置的房間,其中特定的規則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度,從而達到適當的微粒潔凈度級別。無塵室是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給予特別設計之房間。世界各國均有自定規格,但普遍依據美國聯邦頒布的標準【FederalStandard(FS)209E,1992】,可將無塵室分為六級。分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級,如果無塵室的等級只用塵粒數目來敘述,則可假設塵粒的尺寸為μm,例如,1級、10級、100級無塵室比較大塵粒數目分別小于或等于1顆、10顆、100顆,如果塵粒尺寸不是μm,無塵室等級應以在一特定塵粒尺寸的級數來表示。無塵室中須全程穿戴密閉式安全帽及佩戴附有filter的排氣用小型fan于腰間。
無塵室工程主要包括無塵室設計、施工和運行管理前后相關的三個環節。質量源于設計,設計是重點。而無塵室工程的施工又區別于一般的建筑工程,包括圍護結構(俗稱“房中房”);空調凈化系統;供電、自控、弱電系統;純水、特氣、物料供應系統;廢氣、廢水處理系統及相關設施。運行管理包括:實時檢測,人員培訓,設備維護,以保證受控的生產科研環境持續符合要求。三個環節涵蓋了空態、靜態、動態三個占有狀態;環境受控又融合了風險評估、生產認證的概念和程序;加之潔凈技術跨行業、跨專業、跨學科的特點:使之無塵室工程的難度和復雜性增加。因此對于無塵室工程行業來說,優化設計、現場施工環境的協調與管控、工程相關技術細節的經驗積累,對客戶需求的理解和實現,以及對設計變更的準備和響應程度等都是衡量無塵室施工團隊能力的重要指標。無塵室分為六級。分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級。深圳10000級無塵室安裝
塵室目前是半導體工業、生物醫藥行業不可或缺的重要設施,其主要的作用是控制產品所接觸空氣環境的潔凈度。吉安無塵室裝修
21世界,產業的發展,加速了產業結構的變革,無塵室設立之必要性也相對地提高。商品日漸的小型化和精密化,塵埃和溫濕的變化對商品的完成度亦造成極大的危害,導致品質低下。伴隨商品的***要求,環境無塵化的需求也日益提高。因此在無塵室中用防塵材料及商品都顯得格外重要。所謂的無塵室是一個人造的環境,里面含有的粒子遠低于一般的環境,隨著集成電路的級數的快速成長,也增加了對制造環境(無塵室)潔凈度要求,在工業上即使使粒子之尺寸想小于。優于納米技術的興起,造成半導體關鍵尺寸持續縮小,集成電路積集度不斷地增加,塵粒更容易使芯片失效或可靠度惡化。例如當金屬塵粒落到金屬導線時,就可能會使金屬導線形成短路。又如果有酸性的離子化合物塵粒掉在金屬導線上,可能將其腐蝕,所以無塵室為集成電路制造不可或缺的要素。吉安無塵室裝修
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