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通常無(wú)塵室的氣流設(shè)計(jì)工藝為單向氣流,無(wú)塵室內(nèi)生產(chǎn)設(shè)備的設(shè)計(jì)和擺放應(yīng)充分考慮到氣流的方向不被阻礙。無(wú)塵室既然是潔凈室,顧名思義它就是為了控制污染源,提高產(chǎn)品潔凈度而設(shè)計(jì)的高潔凈度生產(chǎn)車(chē)間。造成污染源的因素有很多,而人的因素是污染比較大的源頭,所以對(duì)人的行為等控制相對(duì)也會(huì)嚴(yán)格一些,當(dāng)然其它因素也是不容忽視的??偠灾?,它只是比普通環(huán)境更加干凈的工作車(chē)間,并不會(huì)對(duì)人體造成任何威脅,要保證潔凈室的環(huán)境必須進(jìn)行嚴(yán)格控制,單單靠硬件工作是不夠的,外來(lái)的污染源頭也是我們?cè)跓o(wú)塵室環(huán)境污染控制的重中之重!
潔凈室(亦稱(chēng)無(wú)塵室):空氣懸浮粒子濃度受控的房間。四川100級(jí)無(wú)塵室
無(wú)塵室價(jià)格、無(wú)塵室工程、無(wú)塵室廠家、無(wú)塵室裝修無(wú)塵室中不論外在之空氣條件如何變化,其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。無(wú)塵室重要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱(chēng)之為無(wú)塵室。按照國(guó)際慣例,無(wú)塵凈化級(jí)別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來(lái)規(guī)定。也就是說(shuō)所謂無(wú)塵并非100%沒(méi)有一點(diǎn)灰塵,而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。當(dāng)然這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對(duì)于我們常見(jiàn)的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,但是對(duì)于光學(xué)構(gòu)造而言,哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響,所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,無(wú)塵是必然的要求。如表所示,每立方米將小于。湖南10000級(jí)無(wú)塵室咨詢(xún)塵室目前是半導(dǎo)體工業(yè)、生物醫(yī)藥行業(yè)不可或缺的重要設(shè)施,其主要的作用是控制產(chǎn)品所接觸空氣環(huán)境的潔凈度。
無(wú)塵室的等級(jí)是依據(jù)美國(guó)聯(lián)邦頒布的標(biāo)準(zhǔn)【Federal Atandard(FS)209E,1992】,可將無(wú)塵室分為六級(jí)。分別是1級(jí)、10級(jí)、100級(jí)、1000級(jí)、10000級(jí)、100000級(jí),如果無(wú)塵室的等級(jí)只用塵粒數(shù)目來(lái)敘述,則可假設(shè)塵粒的尺寸是0.5um,無(wú)塵室等級(jí)應(yīng)以特定塵粒尺寸的級(jí)數(shù)來(lái)表示。例如:10級(jí)在0.2um(塵粒尺寸在0.2um或更大下,密度不大于75顆/立方英尺),1級(jí)在0.1um(塵粒尺寸在0.1um或更大下,密度不大于35顆/立方英尺)。無(wú)塵室的適用范圍很廣,只要潔凈要求比較高的都會(huì)用到。
無(wú)塵凈化工程的主要工作流程:策劃:了解客戶(hù)的需求,確定合理的方案;初步設(shè)計(jì):根據(jù)客戶(hù)的情況,進(jìn)行項(xiàng)目的設(shè)計(jì);方案交流:與客戶(hù)交流初步設(shè)計(jì)方案并做調(diào)整;商務(wù)洽談:根據(jù)確定的方案,洽商工程造價(jià)及簽訂合同;施工圖設(shè)計(jì):將初步設(shè)計(jì)方案確定為施工圖設(shè)計(jì);如何安裝環(huán)??照{(diào)很重要選擇一臺(tái)好的環(huán)??照{(diào)很重要,同樣如何安裝環(huán)??照{(diào),如何選擇安裝位置同樣也很重要。選擇一個(gè)好的位置安裝在很大程度上提高環(huán)??照{(diào)的工作效率,同樣也能降低安裝成本.環(huán)??照{(diào)機(jī)組都是安裝在室外,整個(gè)系統(tǒng)是全新風(fēng)運(yùn)行的,因此不能采用回風(fēng)的方式運(yùn)行,所以在安裝的時(shí)候盡量選擇通風(fēng)較好的地方。環(huán)保空調(diào)產(chǎn)出的冷風(fēng)都是經(jīng)過(guò)管道輸送的,因此在連接管道的時(shí)候比較好選擇在建筑物得中間位置,這樣可有效的縮短安裝管道。整個(gè)安裝環(huán)境必須要有通暢的新鮮空氣,也就是說(shuō)不能讓環(huán)??照{(diào)在一個(gè)密閉的環(huán)境下工作。如果室內(nèi)的門(mén)窗不夠的話(huà),可以適當(dāng)?shù)陌惭b幾臺(tái)負(fù)壓風(fēng)機(jī),增強(qiáng)室內(nèi)的空調(diào)流暢性。利用一個(gè)支架來(lái)支持環(huán)??照{(diào)可大幅度縮短安裝管道,但一定要保證支架的穩(wěn)定性,而且在制作支架的時(shí)候一定要考慮到維修人員的重量無(wú)塵室中須全程穿戴密閉式安全帽及佩戴附有filter的排氣用小型fan于腰間。
亂流式潔凈室是空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈室內(nèi)之空氣過(guò)濾器(HEPA)進(jìn)入潔凈室,并由潔凈室兩側(cè)隔間墻板或高架地板進(jìn)行回風(fēng)。氣流非直線型運(yùn)動(dòng)而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于潔凈室等級(jí)千級(jí)至-十萬(wàn)級(jí)。 優(yōu)點(diǎn):構(gòu)造簡(jiǎn)單、系統(tǒng)建造成本低,潔凈室擴(kuò)充比較容易; 缺點(diǎn):亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出,易污染制程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運(yùn)轉(zhuǎn)再***,欲需達(dá)到設(shè)定要求之潔凈度,往往須耗時(shí)相當(dāng)長(zhǎng)一段時(shí)間進(jìn)行自?xún)簟?無(wú)塵室的潔凈度往往受到氣流的影響。湖南1000級(jí)無(wú)塵室
無(wú)塵室的設(shè)備都有什么?四川100級(jí)無(wú)塵室
空氣氣流的中斷或正常操作時(shí)的間歇性對(duì)流氣流或人及設(shè)備的移動(dòng)等都會(huì)造成潔凈度的惡化,恢復(fù)到原來(lái)潔凈度的自?xún)魰r(shí)間決定于氣流速度;對(duì)自?xún)魰r(shí)間的控制要求取決于此時(shí)間框架內(nèi)(惡化的潔凈度下),對(duì)產(chǎn)品生產(chǎn)的質(zhì)量及成品率影響的承受能力;(4)末級(jí)過(guò)濾器的效率:在一定的室內(nèi)發(fā)塵量下,可采用較高效率的過(guò)濾器以降低氣流速度;為節(jié)能應(yīng)考慮采用較高效率的過(guò)濾器,并降低氣流速度,或采用較低效率的過(guò)濾器并采用較高的氣流速度,以求流量與阻力的乘積**小;(5)經(jīng)濟(jì)性考慮:過(guò)大的氣流速度造成投資及運(yùn)行費(fèi)用的增加,合適的氣流速度為以上諸因素合理的綜合,過(guò)大往往不必要,亦不一定有效果;(6)對(duì)潔凈度要求低的無(wú)塵室工程,有時(shí)換氣次數(shù)。四川100級(jí)無(wú)塵室
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